1. VGC083
Vacuum Gauge Controller

VGC083

パッシブゲージヘッドBAG05xおよびPGE050用。

VGC083
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Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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バキュームゲージコントローラVGC083 A/B/Cは、大気圧から超高真空までの真空圧監視・制御用の3チャンネルゲージコントローラです。VGC083の工業デザインは、利用可能なパッシブゲージヘッドの豊富なセレクションとの組み合わせにより、広い真空測定範囲を必要とする真空アプリケーションに、柔軟でかつ信頼性が高く、経済的な選択肢を提供します。互換性の拡張により、VGC083は直接ドロップイン交換を必要とする既存のシステムにとって理想的なソリューションです。

VGC083は、イオンゲージ（熱陰極または冷陰極）1台とピラニゲージ2台という2種類のパッシブセンサの中から、最大3台のパッシブゲージヘッドを制御し、読み出すように構成することができます。

  • VGC083Aは、パッシブ熱陰極ベイヤードアルパート BAG050（ヌードゲージ）またはBAG055（コンパクト金属密閉型）ゲージヘッド1個と対流強化ピラニPGE050 2個を使用するように設計されています。
  • VGC083Bは、パッシブ熱陰極ベイヤードアルパート BAG051（ヌードゲージ）またはBAG052/053（ガラス管）ゲージヘッド1台とPGE050 2台を制御できます。
  • VGC083Cは、パッシブ逆マグネトロン冷陰極MAG050/060ゲージヘッド1台とPGE050 2台を制御できます。 

6つの単極セットポイント・リレーは、どのゲージ・ヘッドにも割り当てることができます。内蔵RS232およびRS485制御インターフェースはシステム統合のために提供されます。

利点

  • 大気圧～超高真空まで圧力モニタおよび制御のための柔軟なソリューション
  • 遠くからでも真空圧を読み取れる、非常に明るくクリアなLEDディスプレイ
  • ソフトキーのシンプル操作によるパラメーター設定
  • ユーザー選択可能なフィラメント、またゲージヘッドタイプに応じ、電子衝撃デガスまたはI2R 抵抗加熱デガスによるゲージコンディショニング
  • 3つのアナログ出力、どのゲージにでもユーザーが割り当て可能
  • 自由に割り当て可能な6つの単極双投セットポイントリレー
  • イオンゲージのオーバープレッシャー保護、センサー2または3からセンサー1のオンオフを制御可能
  • リモートデジタルI/Oによるセンサー、エミッションのオンオフ、RS232 / RS485シリアル通信機能
  • Granville-Phillips®ベイヤードアルパート真空計コントローラ307 およびそのアクセサリーと直接交換可能

(Granville-Phillips®およびMini-Convectron®は、MKS Instruments, Andover, MAの登録商標です)

構成

VGC083 Available measurement configurations
VGC083 Available measurement configurations

バックパネルビュー

VGC083 Front
VGC083 Front
VGC083 A / B Backside
VGC083 A / B Backside
VGC083 C Backside
VGC083 C Backside

ゲージ概要

BAG050
BAG051
BAG052
BAG053
BAG055
MAG050
MAG060
PGE050
ゲージ原理ベイヤードアルパート、熱陰極
ゲージの種類電子衝撃（EB）デガス・ヌードゲージ
圧力範囲2.7×10-11 mbar ～ 1.3×10-3 mbar
ゲージ原理ベイヤードアルパート、熱陰極
ゲージの種類抵抗加熱式（I2R）デガス・ガラス管ゲージ
圧力範囲5.3×10-10 mbar ～ 1.3×10-3 mbar
ゲージ原理ベイヤードアルパート、熱陰極
ゲージの種類抵抗加熱式（I2R）デガス・ガラス管ゲージ
圧力範囲 5.3×10-10 mbar ～ 1.3×10-3 mbar
ゲージ原理ベイヤードアルパート、熱陰極
ゲージの種類抵抗加熱式（I2R）デガス・ガラス管ゲージ
圧力範囲5.3×10-10 mbar ～ 1.3×10-3 mbar
ゲージ原理ベイヤードアルパート、熱陰極
ゲージの種類ミニ金属管電離ゲージ
圧力範囲1.3×10-9 mbar ～ 6.7×10-2 mbar
ゲージ原理冷陰極
ゲージの種類逆マグネトロン 
圧力範囲2×10-9 mbar ～ 5×10-3 mbar
ゲージ原理冷陰極
ゲージの種類逆マグネトロン 
圧力範囲1×10-10 mbar ～ 5×10-3 mbar
ゲージ原理ピラニ
ゲージの種類対流強化 
圧力範囲1.3×10-4 mbar ～ 1333 mbar

仕様

VGC083
VGC083
測定チャンネル3
圧力表示 
圧力表示LED - 3つの独立した圧力表示チャンネル
プログラミング＆セットアップ画面OLED
測定範囲1 x 10-11 ... 1333  mbar
測定単位（選択可能）mbar, Torr, Pa
設定リレー6個の単極双投リレー（SPDT）、任意のゲージに割り当て可能
接点定格30 V（DC）で5 A、250 V（AC）で5 A、抵抗負荷
アナログ出力イオンゲージ（BAG、MAG）、イオン ゲージと PGE の組み合わせ、 PGE
インターフェース（デジタル）RS232, RS4851)
電源電圧（外部）+20 ... +28 V (直流)
動作温度+0 ... +40 °C

1) GP307とのコマンドプロトコル互換性

ケーブル

399-58x PGE050 cable, 50 °C
399-58x PGE050 cable, 50 °C
399-52x PGE050 Cable, 150 °C
399-52x PGE050 Cable, 150 °C
399-78x BAG050/051 nude IG cable, 50 °C
399-78x BAG050/051 nude IG cable, 50 °C
399-77x BAG050/051 nude IG bakeable cable, 200 °C
399-77x BAG050/051 nude IG bakeable cable, 200 °C
399-79x BAG 052/053 glass IG cable, 50 °C
399-79x BAG 052/053 glass IG cable, 50 °C
399-81x BAG055 Mini IG cable, 50 °C
399-81x BAG055 Mini IG cable, 50 °C
399-86x BAG055 Mini IG cable, 200 °C
399-86x BAG055 Mini IG cable, 200 °C
399-82x MAG050/060 cable, 50 °C
399-82x MAG050/060 cable, 50 °C
399-83x MAG050/060 bakeable cable, 250 °C
399-83x MAG050/060 bakeable cable, 250 °C

部品番号

部品番号
ゲージ
ケーブル VGC083A
ケーブル VGC083B
ケーブル VGC083C
399-700VGC083A 真空計コントローラー
399-701VGC083B 真空計コントローラー
399-702VGC083C 真空計コントローラー
  
399-710電源 220 W VGC083 (A & B)1)
399-711電源 60 W VGC083 (C)
399-714ラックマウントアダプタ（VGC0803x × 1台用
399-715ラックマウントアダプタ（VGC083x × 2台用
  
1) 399-711 BAG055と併用時 
 BAG050
399-720BA nude EB-degas, DN40CF, dual iridium filament (Ir)
399-721BA nude EB-degas, DN40CF, dual tungsten filament (W)
  
 BAG051
399-725BA nude I2R, DN40CF, single iridium filament (Ir)
399-726BA nude I2R, DN40CF, dual iridium filament (Ir)
399-727BA nude I2R, DN40CF, dual tungsten filament (W)
  
 BAG052
399-740BA glass I2R, ¾’’ Kovar metal inlet port, single iridium filament (Ir)
399-741BA glass I2R, 1’’ Kovar metal inlet port, single iridium filament (Ir)
399-742BA glass I2R, ¾’’ glass inlet port, single iridium filament (Ir)
399-743BA glass I2R, 1’’ glass inlet port, single iridium filament (Ir)
399-744BA glass I2R, DN 25 ISO-KF, single iridium filament (Ir)
399-745BA glass I2R, DN 40 ISO-KF, single iridium filament (Ir)
399-746BA glass I2R, DN 16 ISO-CF, single iridium filament (Ir)
399-747BA glass I2R, DN 40 ISO-CF, single iridium filament (Ir)
  
 BAG053
399-750BA glass I2R, ¾’’ Kovar metal inlet port, dual tungsten filament (W)
399-751BA glass I2R, 1’’ Kovar metal inlet port, dual tungsten filament (W)
399-752BA glass I2R, ¾’’ glass inlet port, dual tungsten filament (W)
399-753BA glass I2R, 1’’ glass inlet port, dual tungsten filament (W)
399-754BA glass I2R, DN 25 ISO-KF, dual tungsten filament (W)
399-755BA glass I2R, DN 40 ISO-KF, dual tungsten filament (W)
399-756BA glass I2R, DN 16 ISO-CF, dual tungsten filament (W)
399-757BA glass I2R, DN 40 ISO-CF, dual tungsten filament (W)
  
 BAG055
399-760BA EB-degas, ¾’’ tube, Yt2O3 coated dual iridium filament (Ir)
399-761BA EB-degas, DN 16 ISO-KF, Yt2O3 coated dual iridium filament (Ir)
399-762BA EB-degas, DN 25 ISO-KF, Yt2O3 coated dual iridium filament (Ir)
399-763BA EB-degas, DN 40 ISO-KF, Yt2O3 coated dual iridium filament (Ir)
399-764BA EB-degas, DN 16 CF-R, Yt2O3 coated dual iridium filament (Ir)
399-765BA EB-degas, DN 40 CF-R, Yt2O3 coated dual iridium filament (Ir)
399-766BA EB-degas, 8 VCR female, Yt2O3 coated dual iridium filament (Ir)
  
 PGE050
352-500Pirani Gauge, DN ISO 16 KF, tungsten filament (W)
352-501Pirani Gauge, DN ISO 25 KF, tungsten filament (W)
352-502Pirani Gauge, DN ISO 40 KF, tungsten filament (W)
352-503Pirani Gauge, DN ISO 16 CF-R, tungsten filament (W)
352-504Pirani Gauge, DN ISO 40 CF-R, tungsten filament (W)
352-505Pirani Gauge, 4 VCR female, tungsten filament (W)
352-506Pirani Gauge, 8 VCR female, tungsten filament (W)
352-507Pirani Gauge, 1/8 NPT, tungsten filament (W)
  
 MAG050
399-840Cold Cathode Gauge, DN 25 ISO-KF, FPM sealed
399-841Cold Cathode Gauge, DN 40 ISO-KF, FPM sealed
399-842Cold Cathode Gauge, DN 40 CF-F, FPM sealed
  
 MAG060
399-845Cold Cathode Gauge, DN 40 ISO-KF, metal sealed
399-846Cold Cathode Gauge, DN 40 CF-F, metal sealed
 BAG050用ケーブル
 50 °C
399-7803 m (9.9 ft)
399-7818 m (25 ft)
399-78215 m (50 ft)
  
 200 °C
399-7703 m (9.9 ft)
399-7718 m (25 ft)
399-77215 m (50 ft)
399-779ケーブル用接触保護カバー 200 °C (BAG050, BAG051)
  
 BAG055用ケーブル
 50 °C
399-8103 m (9.9 ft)
399-8118 m (25 ft)
399-81215 m (50 ft)
  
 200 °C 
399-8603 m (9.9 ft)
399-8618 m (25 ft)
399-86215 m (50 ft)
  
 PGE050用ケーブル
 50 °C
399-5803 m (9.9 ft)
399-5818 m (25 ft)
399-58215 m (50 ft)
  
 150 °C
399-5203 m (9.9 ft)
399-5218 m (25 ft)
399-52215 m (50 ft)
  
399-767ケーブルアダプター MKS / GP® 355 Micro-Ion® - VGC083A
  
 BAG051用ケーブル
 50 °C
399-7803 m (9.9 ft)
399-7818 m (25 ft)
399-78215 m (50 ft)
  
 200 °C
399-7703 m (9.9 ft)
399-7718 m (25 ft)
399-77215 m (50 ft)
399-779ケーブル用接触保護カバー 200 °C (BAG050, BAG051)
  
 BAG052/053用ケーブル
 50 °C
399-7903 m (9.9 ft)
399-7918 m (25 ft)
399-79215 m (50 ft)
  
 PGE050用ケーブル
 50 °C
399-5803 m (9.9 ft)
399-5818 m (25 ft)
399-58215 m (50 ft)
  
 150 °C
399-5203 m (9.9 ft)
399-5218 m (25 ft)
399-52215 m (50 ft)
  
 MAG050/060用ケーブル
 80 °C
399-8203 m (9.9 ft)
399-8218 m (25 ft)
399-82215 m (50 ft)
  
 250 °C
399-8303 m (9.9 ft)
399-8318 m (25 ft)
399-83215 m (50 ft)
  
 PGE050用ケーブル
 50 °C
399-5803 m (9.9 ft)
399-5818 m (25 ft)
399-58215 m (50 ft)
  
 150 °C
399-5203 m (9.9 ft)
399-5218 m (25 ft)
399-52215 m (50 ft)
  
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