Vacuum Gauge Controller
VGC50X 真空計コントローラ
VGC50X 真空計コントローラ
加工測定、コントロール、データログ用持続可能ソリューション
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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広範囲のINFICONアクティブゲージとの互換性がある、新しいVGC50xシリーズのアクティブゲージコントローラは、10⁻¹⁰~1500 mbar (10⁻¹⁰~1125 Torr)の全圧力範囲とセットポイントのステータスをモニタし、データのログを取ることができます。
利点
- パラメーター、センサーまたは一般設定には、ドットマトリックスメニューで指示される表示部があり、シンプルな操作が可能
- 長距離からの計器読み出し用の、非常に明るくクリアなディスプレイ
- セットポイント表示、またはプレッシャー vs 時間の表示がついた、棒グラフの表示部
- USBポート (背面) とUSBスティック (前面) 付きのデータログとパラメーターログ機能
- イーサネットインターフェース
- オンラインまたはUSBスティックからファームウェアの更新が可能
- チャネルごとに調整可能なヒステリシス付き、定義自由なセットポイントが 2 つ
- 高分解能、16ビットのA/Dコンバータ
- INFICONのアクティブゲージを自動識別
- 単一のゲージまたはゲージの組合せ (VGC502およびVGC503のみ) にはプログラム可能な0~10ボルトのチャートレコーダー対数出力/直線特性
仕様
VGC501
VGC502
VGC503
記事番号 | 398-481 | |
タイプ | VGC501 | |
測定チャンネル | 1 | |
表示 | LCD, LED backlight | |
レート | 1/s | 10 |
接続可能なゲージと表示範囲 | ||
CDG (A/D) | Torr | 1×10-3×F.S. …1×F.S. |
PCG | mbarTorr | 5×10-4…1500 |
PSG | mbarTorr | 5×10-4…1000 |
MPG | mbarTorr | 1×10-9…1000 |
PEG | mbarTorr | 1×10-9…1×10-2 |
MAG | mbarTorr | 1×10-9…1×10-2 |
BCG | mbarTorr | 5×10-10…1500 |
BPG | mbarTorr | 5×10-10…1000 |
HPG | mbarTorr | 2×10-6…1000 |
測定単位(選択可能) | mbar, Torr, Pa, hPa, Micron, V | |
セットポイント | ||
設定値リレー | 2 | |
チャンネル割り当て | 1 | |
調整範囲 | sensor dependent | |
ヒステリシス | adjustable | |
リレー接点 | floating changeover contact | |
接点定格 | V (ac) • AV (dc) • A | 30 / 1 |
コネクタ | D-sub, 15-pin, male | |
アナログ出力 | ||
レンジ | V | 0 ... 10.3, sensor analog output signal |
アナログ出力 | 1 | |
プログラマブルアナログ出力 | - | |
コネクタ | D-Sub, 15-pin, male | |
インターフェース(デジタル) | ||
コネクタ | USB slave, master and Ethernet, USB Typ A (stick), USB Type B, FCC68/RJ45 | |
パワー | ||
供給 | V (ac) | 100 ... 240 |
周波数 | Hz | 50 ... 60 |
消費電力 | W | ≤45 |
動作温度(周囲温度) | °C | +5 ... +50 |
記事番号 | 398-482 | |
タイプ | VGC502 | |
測定チャンネル | 2 | |
表示 | LCD, LED backlight | |
レート | 1/s | 10 |
接続可能なゲージと表示範囲 | ||
CDG (A/D) | Torr | 1×10-3×F.S. …1×F.S. |
PCG | mbarTorr | 5×10-4…1500 |
PSG | mbarTorr | 5×10-4…1000 |
MPG | mbarTorr | 1×10-9…1000 |
PEG | mbarTorr | 1×10-9…1×10-2 |
MAG | mbarTorr | 1×10-9…1×10-2 |
BCG | mbarTorr | 5×10-10…1500 |
BPG | mbarTorr | 5×10-10…1000 |
HPG | mbarTorr | 2×10-6…1000 |
測定単位(選択可能) | mbar, Torr, Pa, hPa, Micron, V | |
セットポイント | ||
設定値リレー | 4 | |
チャンネル割り当て | 1 or 2 | |
調整範囲 | sensor dependent | |
ヒステリシス | adjustable | |
リレー接点 | floating changeover contact | |
接点定格 | V (ac) • AV (dc) • A | 30 / 1 |
コネクタ | D-sub, 25-pin, female | |
アナログ出力 | ||
レンジ | V | 0 ... 10.3, sensor analog output signal |
アナログ出力 | ||
プログラマブルアナログ出力 | 1 | |
コネクタ | D-Sub, 9-pin, male | |
インターフェース(デジタル) | ||
コネクタ | USB slave, master and Ethernet, USB Typ A (stick), USB Type B, FCC68/RJ45 | |
パワー | ||
供給 | V (ac) | 100 ... 240 |
周波数 | Hz | 50 ... 60 |
消費電力 | W | ≤65 |
動作温度(周囲温度) | °C | +5 ... +50 |
記事番号 | 398-483 | |
タイプ | VGC503 | |
測定チャンネル | 3 | |
表示 | LCD, LED backlight | |
レート | 1/s | 10 |
接続可能なゲージと表示範囲 | ||
CDG (A/D) | Torr | 1×10-3×F.S. …1×F.S. |
PCG | mbarTorr | 5×10-4…1500 |
PSG | mbarTorr | 5×10-4…1000 |
MPG | mbarTorr | 1×10-9…1000 |
PEG | mbarTorr | 1×10-9…1×10-2 |
MAG | mbarTorr | 1×10-9…1×10-2 |
BCG | mbarTorr | 5×10-10…1500 |
BPG | mbarTorr | 5×10-10…1000 |
HPG | mbarTorr | 2×10-6…1000 |
測定単位(選択可能) | mbar, Torr, Pa, hPa, Micron, V | |
セットポイント | ||
設定値リレー | 6 | |
チャンネル割り当て | 1, 2 or 3 | |
調整範囲 | sensor dependent | |
ヒステリシス | adjustable | |
リレー接点 | floating changeover contact | |
接点定格 | V (ac) • AV (dc) • A | 30 / 1 |
コネクタ | D-sub, 25-pin, female | |
アナログ出力 | ||
レンジ | V | 0 ... 10.3, sensor analog output signal |
アナログ出力 | ||
プログラマブルアナログ出力 | 1 | |
コネクタ | D-Sub, 9-pin, male | |
インターフェース(デジタル) | ||
コネクタ | USB slave, master and Ethernet, USB Typ A (stick), USB Type B, FCC68/RJ45 | |
パワー | ||
供給 | V (ac) | 100 ... 240 |
周波数 | Hz | 50 ... 60 |
消費電力 | W | ≤90 |
動作温度(周囲温度) | °C | +5 ... +50 |
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