バキュームスイッチ
VSA100A
設定値 周囲温度より3mbar低い
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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INFICON真空スイッチVSA100Aは、真空システムでの安全なスイッチとして使用できます。例えば、6mbar以下の空気圧のパージガスが入った真空システムをベントする際に、ガス供給を自動で停止させます。差圧が6 mbarになると、大気圧以下3 mbarの切り替え圧力モードに戻り、弾力性のあるダイアフラムが、切り替え接点をアクティブにします。これは補助装置に直接切り替えるために使用できます。
利点
- リーズナブルで信頼性の高い真空スイッチ
- 長寿命
- 堅牢な設計
- 統合が簡単
- IP 44保護
標準的なアプリケーション
- ロードロックチャンバーのコントロール
- 真空システムの安全な停止
仕様
| 切り替え圧力 | mbar | 6 ±2 (below atmosphere) |
| バックスイッチング | mbar | 3 ±2 (below atmosphere) |
| 動作圧力 (絶対圧) | bar | <2 |
| 保護タイプ | IP 44 | |
| 接ガス材料 | stainless steel 1.4305, EPDM, PTFE (Teflon)
| |
| 技術ノート: ダイアフラムで使用されている材質(EPDM)のため、真空スイッチVSA100Aは、プロセスガスが大量のヘリウムを含んでいるような用途には適していません。ヘリウムのダイアフラム漏出率は-6 mbar l/sです。 | ||
品番
| Part Number | Description |
| 399-001 | VSA100A Vacuum Switch DN16KF, 3m Cable |
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取扱説明書
3D Step File
本製品は以下のマーケットで使用されています。
