バキュームスイッチ
VSC150A
セットポイント範囲 0.5 ～ 2000 mbar
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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INFICONのVSC150真空スイッチは0.5から2000 mbarの調整可能な電気切り替え接点を備えた、絶対圧スイッチです。機械設計により、±0.1 mbarのスイッチ精度を損なうことなく、短期間の3000 mbarの過負荷に耐えることができます。INFICONは、圧力スイッチを、お客様の必要に合わせて調整します。
機能
- リファレンスチャンバーのスイッチングコンタクト（通常は閉じた状態）がプロセス媒体から保護
- スイッチングアンプ使用時のスイッチング能力が向上
- スイッチングアンプ使用時のスイッチング能力が向上
利点
- スイッチの高い精度 (± 0.1 mbar)
- 安定した長期オペレーション特性
- 頑丈で耐腐食性に優れたデザイン
標準的なアプリケーション
- バルブ、ポンプ、電源を制御するための圧力スイッチまたは差動圧力スイッチ
- ロードロックチャンバー
- プロセスチャンバー
仕様
| 切り替え範囲 | mbar | 0.5 … 2000 |
| 媒体との接触材料 | ||
| 検知可能質量 | 検知可能質量 | Stainless steel 1.4301, 1.4401, 1.4310, 1.3541, FPM75 |
| 基準容量 | 基準容量 | Stainless steel 1.4301, 1.4401, 1.3541, glass, gold |
| 限界過負荷 | mbar | 3000 |
| 切替えヒステリシス | mbar | 0.5 |
| 保護カテゴリ | IP 65 |
品番
アクセサリー
| 品番 | 商品説明 |
| 399-005 | VSC150 Vacuum Switch |
| 品番 | 商品説明 |
| 399-008 | Switching Amplifer for VSC150 |
| 399-006 | Setpoint-adjustment for VSC150 |
| 399-007 | Differentialpressure-Adapter for VSC150 |
外形寸法図
ダウンロード
データシート
VSC150A absolute switch, passiv DE
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329,4 KB
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ドイツ語
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データシート
VSC150A Absolute Switch (passiv) Datasheet
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99,8 KB
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英語版
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データシート
VSC150A absolute switch, passiv ES
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328,7 KB
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スペイン語
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VSC150A absolute switch, passiv KO
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韓国語
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VSC150A absolute switch, passiv ZH
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VSC150A absolute switch, passiv JA
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日本語
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データシート
寸法図
取扱説明書
3D Step Files
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