バキュームスイッチ

VSC150A

セットポイント範囲 0.5 ~ 2000 mbar

VSC150A
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Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
Request
Personal information
Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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INFICONのVSC150真空スイッチは0.5から2000 mbarの調整可能な電気切り替え接点を備えた、絶対圧スイッチです。機械設計により、±0.1 mbarのスイッチ精度を損なうことなく、短期間の3000 mbarの過負荷に耐えることができます。INFICONは、圧力スイッチを、お客様の必要に合わせて調整します。

機能

  • リファレンスチャンバーのスイッチングコンタクト(通常は閉じた状態)がプロセス媒体から保護
  • スイッチングアンプ使用時のスイッチング能力が向上
  • スイッチングアンプ使用時のスイッチング能力が向上

利点

  • スイッチの高い精度 (± 0.1 mbar)
  • 安定した長期オペレーション特性
  • 頑丈で耐腐食性に優れたデザイン

標準的なアプリケーション

  • バルブ、ポンプ、電源を制御するための圧力スイッチまたは差動圧力スイッチ
  • ロードロックチャンバー
  • プロセスチャンバー

仕様

切り替え範囲mbar0.5 … 2000
媒体との接触材料  
検知可能質量検知可能質量Stainless steel 1.4301, 1.4401, 1.4310, 1.3541, FPM75
基準容量基準容量Stainless steel 1.4301, 1.4401, 1.3541, glass, gold
限界過負荷mbar3000
切替えヒステリシスmbar0.5
保護カテゴリ IP 65
仕様の詳細はこちらからダウンロードできます。
品番
アクセサリー
品番商品説明
399-005VSC150 Vacuum Switch
品番商品説明
399-008Switching Amplifer for VSC150
399-006Setpoint-adjustment for VSC150
399-007Differentialpressure-Adapter for VSC150

外形寸法図

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本製品は以下のマーケットで使用されています。
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