ホットイオンゲージ

BPG400

ATM to Ultra High Vacuum Gauge

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INFICONベイヤードアルパートピラニコンビネーションゲージ、BPG400は、1台のコンパクトなユニットで2台の真空計の機能を持ち、5×10^-10 mbarから大気圧(3.8×10^-10 Torrから大気圧まで)までを計測します。テクノロジーを組合せることによってインストール、セットアップ、統合の複雑さを軽減しました。1台の経済的なパッケージで基準気圧計測ができ、再現性あるプロセスが実現できる、入手しやすいBPG400をお選びください。

利点

5×10^-10 mbar～大気圧(3.8×10^-10 Torr～大気圧)の非常に広範囲な計測
優れた再現性を発揮するプロセス圧力範囲、10^-8 … 10^-2 mbarで5%
ピラニインターロック機構により、Bayard-Alpertシステムを、フィラメントが寿命前に焼き切れることや、高圧でのオペレーションで過剰に汚染されることから守ります。
長寿命の酸化イットリウムでコーティングされたイリジウムフィラメント
オプションで、グラフィックディスプレイとFieldbusインターフェースもあります
自動高真空ピラニ調整により作業者による介入を軽減
RoHSコンプライアンス
一般的な真空計測と低真空から超高真空までの範囲のコントロール

標準的なアプリケーション

半導体プロセスと移送チャンバーの圧力計測
工業用コーティング
一般的な真空計測と低真空から超高真空までの範囲のコントロール

ダウンロード

パンフレット

Hot Ion Gauge Brochure

pdf • 2,5 MB • 英語版 • パンフレット

データシート

pdf • 229,4 KB • ドイツ語 • データシート

BPG400 Datasheet

pdf • 169,8 KB • 英語版 • データシート

pdf • 229,9 KB • スペイン語 • データシート

pdf • 280,7 KB • 韓国語 • データシート

pdf • 357,6 KB • 中国語 • データシート

pdf • 359,9 KB • 日本語 • データシート

取扱説明書

TIMA03D1 BPG400xx Gebrauchsanleitung kurz

pdf • 319,1 KB • ドイツ語 • 取扱説明書

TINA03D1 BPG400-xx Gebrauchsanleitung_lang.Web

pdf • 1,1 MB • ドイツ語 • 取扱説明書

BPG400xx Operating Manual (short version)

pdf • 314,5 KB • 英語版 • 取扱説明書

TIMA03D1 BPG400xx Gebrauchsanleitung kurz

pdf • 319,1 KB • 英語版 • 取扱説明書

TIMA36E1_BPG400xx operating manual-supplement

pdf • 326,7 KB • 英語版 • 取扱説明書

TINA03E1_BPG400-xx operating manual_long

pdf • 1,1 MB • 英語版 • 取扱説明書

TIRA03E1 DeviceNet BPG400x Communication Protocol

pdf • 319,3 KB • 英語版 • 取扱説明書

TIRA36E1 PROFIBUS BPG400x Communication Protocol

pdf • 399,9 KB • 英語版 • 取扱説明書

3D Step Files

352-501 BPG400 with LCD, DN 25 ISO-KF

zip • 456,8 KB • 3Dファイル

353-500 BPG400 without LCD, DN 25 ISO-KF

zip • 449,5 KB • 3Dファイル

353-502 BPG400 without LCD, DN 40 CF-R

zip • 427,5 KB • 3Dファイル

353-503 BPG400 with LCD, DN 40 CF-R

zip • 468,1 KB • 3Dファイル

353-505 BPG400-SP with PROFIBUS DP, DN 25 ISO-KF

zip • 468,2 KB • 3Dファイル

353-506 BPG400-SP with PROFIBUS DP, DN 40 CF-R

zip • 468,2 KB • 3Dファイル

353-507 BPG400-SD with DeviceNet™, DN 25 ISO-KF

zip • 457,3 KB • 3Dファイル

353-508 BPG400-SD with DeviceNet™, DN 40 CF-R

zip • 462,3 KB • 3Dファイル

354-490 BPG400 Replacement sensor DN 25 ISO-KF

zip • 48,5 KB • 3Dファイル

354-491 BPG400 Replacement sensor DN 40 CF-R

zip • 69,2 KB • 3Dファイル

その他

BPG400_06A9.GSD

GSD • 2,5 KB • 英語版

BPG400-float.eds

eds • 35,1 KB • 英語版

eds • 31,4 KB • 英語版

Inficon_400_SP_STEP7

zip • 856,6 KB • 英語版

本製品は以下のマーケットで使用されています。

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分析機器市場は、高度に洗練されたツールで、幅広い用途と市場のユーザーをサポートしています。

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エネルギー

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