BPG402-Sx
超高真空計用のBPG402-SX ATM
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
より高い柔軟性。より良い安定性。
INFICONベイヤードアルパートピラニコンビネーションゲージ、BPG402-Sは1台のコンパクトなユニットで2台の真空計の機能を持ち、5×10-10から大気圧(3.8×10-10 Torrから大気圧まで)までを計測します。テクノロジーを組合せることによってインストール、セットアップ、統合の複雑さを軽減しました。経済的なパッケージ1台で基準気圧計測ができ、手頃に再現性あるプロセスを実現する、2本の酸化イットリウムコーティングのイリジウムフラメントを備えたBPG402-Sをお選びください。センサ部にオンボード校正データが含まれていることにより、交換時の高い再現性が保証されます。
利点
- 5×10-10 mbar~大気圧(3.8×10-10 Torr~大気圧)の非常に広範囲な計測
- 優れた再現性を発揮するプロセス圧力範囲、10-8 … 10-2 mbarで5%
- ピラニインターロック機構により、フィラメントが寿命前に焼き切れるのを防止
- 長寿命の酸化イットリウムでコーティングされた2本のイリジウムフィラメント
- オプションで、グラフィックディスプレイとFieldbusインターフェースもあります
- 自動高真空ピラニ調整により作業者による介入を軽減
- 交換が容易なセンサー部と、オンボード較正データにより高い再現性を保証
- RoHSコンプライアンス
標準的なアプリケーション
- 半導体プロセスと移送チャンバーの圧力計測
- 工業用コーティング
- 一般的な真空計測と低真空から超高真空までの範囲のコントロール
仕様
Measurement range (air, O2, CO, N2) | mbar Torr | 5×10-10 … 1000 3.8×10-10 … 750 |
Accuracy | ||
10-8 … 10-2 mbar | % of reading | ±15 |
Repeatability | ||
10-8 … 10-2 mbar | % of reading | 5 |
Temperature | ||
Operation (ambient) | °C | 0 … +50 |
Storage | °C | -20 … +70 |
Bakeout at flange without electronics BPG402-S | °C | 80 |
Bakeout at flange without electronics BPG402-SL | °C | 150 |
Supply voltage | V (dc) A (dc) | +20 … +28 ≤0.8 |
Materials exposed to vacuum | Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass |
Part Number | Description |
353-570 | BPG402-S DN 25 ISO-KF |
353-571 | BPG402-S DN 40 CF-R |
353-572 | BPG402-S LCD, DN 25 ISO-KF |
353-573 | BPG402-S LCD, DN 40 CF-R |
353-578 | BPG402-SL long tube DN 40 CF-R |
353-574 | BPG402-SP PBus, DN 25 ISO-KF |
353-575 | BPG402-SP PBus, DN 40 CF-R |
353-576 | BPG402-SD DNet, DN 25 ISO-KF |
353-577 | BPG402-SD DNet, DN 40 CF-R |
353-590 | BPG402-SE ECAT, DN 25 ISO-KF |
353-591 | BPG402-SE ECAT, DN 40 CF-R |
353-596 | BPG402-SE ECAT, DN 25 ISO-KF |
353-597 | BPG402-SE ECAT, DN 40 CF-R |
Part Number | Description |
353-511 | Power supply BPG400 24VDC |
353-512 | Baffle for BPG400 |
211-113 | Centering ring with baffle DN 25 KF |
Part Number | Description |
354-494 | Spare sensor head BPG402 DN 25 ISO-KF |
354-495 | Spare sensor head BPG402 DN 40 CF-R |