ホットイオンゲージ
Trigon™ BPG552
大気圧～超高真空対応デュアルゲージ
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
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Ionization chamber
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Flange connection to vacuum chamber
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超高真空(5x10-10 mbar)から大気圧(1000mbar)までの測定レンジを必要とするアプリケーションのために、Trigon™ファミリーはデュアルテクノロジーBPG552ゲージを用意しています。BPG552は、ベイヤードアルパートホットイオンセンサエレメントと従来の堅牢で信頼性の高いピラニセンサエレメントで構成されています。サポートされるベイヤードアルパートデュアルフィラメントは、優れた精度、再現性、長寿命を提供します。
VacXplor™ Software
VacXplorは当社のモジュール式ユーザーソフトウェアで、INFICON Trigonゲージでの経験を向上させるためにデザインされています。VacXplorは統一されたインターフェース、ダイナミックなデータ視覚化、高度なカスタマイズオプションを提供し、インストールに管理者権限を必要としません。
利点
- デュアルゲージ（2つの検出素子）により、広い測定範囲、コスト削減、省スペース化を実現
- ベイヤードアルパートシステム用2フィラメント
- フィラメントの早期焼損を防ぐピラニインターロック保護機能
- ピラニセンサーの高真空側自動調整機能により、オペレーターの介入を低減
- ガルバニック絶縁エレクトロニクスで迷走電流を回避
- エミッションストリーム切り替え時の圧力ジャンプやフリーズを防ぐスライディングエミッションモード
- 取り外し可能な校正データチップによるベーク可能時間の延長
- セットポイントリレー
- ユーザーインターフェースを備えた明るく大きなOLEDディスプレイ（90°回転可能）
- アナログ出力、RS232Cシリアルインターフェース、EtherCAT®対応
- VGC50xコントローラシリーズと併用可能
- BPG402との下位互換性
- RoHS対応
標準的なアプリケーション
- 半導体プロセスにおける圧力測定
- 工業用コーティング
- 低真空から超高真空までのシステムにおける一般的な真空測定と制御
品番
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パンフレット
取扱説明書
3Dファイル
Trigon 15DSUB,2SP,OLED,25KF
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1,8 MB
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Trigon 15DSUB,2SP,OLED,40CF-R
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Trigon 15DSUB,2SP,25KF
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Trigon 15DSUB,2SP,40CF-R
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Trigon 15DSUB,2SP,OLED,E-CAT,25KF
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Trigon 15DSUB,2SP,OLED,E-CAT,40CF-R
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Trigon 15DSUB,2SP,E-CAT,40CF-R
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Trigon 15DSUB,2SP,E-CAT,25KF
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