ホットイオンゲージ
IE414, IE514
IM540用熱陰極電離型パッシブゲージヘッド
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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IE414とIE514は、熱陰極電離効果に基づくハイエンド真空センサーです。IE414はベイヤードアルパートゲージで、IE514はエクストラクターセンシングの原理に基づいています。これらのパッシブゲージはIM540真空計コントローラーで制御されます。
カソードエミッション電流の変調により、IE414の測定範囲は10-2mbarから10-11mbarまで9桁以上に及びます。エクストラクターセンシングの原理により、IE514はX線とイオン脱離の影響を低減し、2×10-12 mbarの測定下限に達します。IE414とIE514のゲージヘッドは、低アウトガス真空システム用に設計されており、極めて高温な（400 °Cまで）ベーキングが可能です。耐熱ゲージヘッドケーブルセットは、200℃（センサーのフランジ部では250℃）を超える高いベークアウト温度にも対応しています。
メリット
- 個別に校正されたセンシングシステムによる高い測定精度
- 交換可能なカソード
- 400 °Cまでの極めて高温なベークアウト
IE414
- ベイヤードアルパートセンシング原理
- 2×10-11mbarまでの測定範囲
- カソードエミッション電流の変調（IM540真空計コントローラーとの組み合わせ）
IE514
- エクストラクターセンシング原理
- 最も低い測定限界、2×10-12 mbarまで
- X線およびイオン脱離の影響を大幅に低減
代表的なアプリケーション
- 超高真空領域での精密な真空測定と高温ベークアウトを必要とする科学および研究開発アプリケーション
オペレーティング・ユニット
- 真空計コントローラ IM540
仕様
IE414
IE514
| 測定原理 | ベイヤードアルパート、熱陰極電離型 |
| 測定範囲 | 2×10-11 ... 1×10-2 mbar (モジュラーエミッション電流) |
| X線リミット | <10-11 mbar |
| フィードスルー | Al2O3 セラミック |
| ベークアウト温度 | ≤400 °C |
| 真空にさらされる材料 | NiFe、AI2O3、ステンレス鋼、Y2O3、Mo、タングステン |
| 特徴 | イリジウムフィラメント、Y2O3コート モリブデン陽極 |
| 測定原理 | エクストラクタ―、熱陰極電離型 |
| 測定範囲 | 2×10-12 ... 1×10-4 mbar |
| X線リミット | <10-12 mbar |
| フィードスルー | Al2O3 セラミック |
| ベークアウト温度 | ≤400 °C |
| 真空にさらされる材料 | NiFe、AI2O3、ステンレス鋼、Y2O3、Mo、タングステン |
| 特徴 | イリジウムフィラメント、Y2O3コート モリブデン陽極 |
品番
品番
アクセサリー
| IE414 | |
| 399-661 | IE414 DN 40 CF-F |
| 399-676 | 交換用カソード IE414 |
| IE514 | |
| 399-663 | IE514 DN 40 CF-F |
| 399-677 | 交換用カソード IE514 |
| IM540用ゲージヘッドケーブル 対IE414/514、80 °C | |
| 399-680 | 3 m |
| 399-681 | 5 m |
| 399-682 | 10 m |
| 399-685 | 50 m |
| IM540用ゲージヘッドケーブル 対IE414/514、200 °C | |
| 399-686 | 3 m |
| 399-687 | 5 m |
| 399-688 | 10 m |
| 399-690 | 50 m |
この製品は以下の市場で使用されている。
