Vacuum Gauge Controller
IM540
IM540
多目的熱陰極電離パッシブゲージコントローラ
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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バキュームゲージコントローラIM540は、10-12mbarと大気圧の間の範囲で完全な真空測定と制御を提供する多用途のイオン化ゲージコントローラです。 アプリケーションやユーザーのニーズに応じて、IM540はピラニ、静電容量式ダイアフラム、ベイヤードアルパート、エクストラクターの4つの異なる真空測定原理を組み合わせることができるため、ワンソリューションとなります。このコントローラにより、複雑なプロセス制御システムに信頼性の高い完全な統合が可能になります。
メリット
- IE414（Bayard-Alpert）およびIE514（Extractor）熱陰極イオン化ゲージの操作に対応
- PSG5xx（ピラニ）、PCG55x（ピラニ-キャパシタンスダイアフラム）、CDG（キャパシタンスダイアフラム）アクティブゲージラインから2つのアクティブゲージを接続して操作可能
- パラメータ、センサー、一般設定のメニュー表示による簡単操作
- RS232通信インターフェース内蔵、プロフィバスDPインターフェースボード（IF 540 P）オプション
- ヒステリシス調整可能な2つの設定ポイント（オプションで7ポイント
- 高分解能16ビットA/Dコンバータ
- 2つのプログラム可能な0～10 Vチャートレコーダ出力
この製品は以下の市場で使用されています
