真空計コントローラー
IRC081
イオンリファレンスゲージIRG080で新たなスタンダードを築く
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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イオン・リファレンス・ゲージ・コントローラーIRC081とそのユーザー・インターフェースは、標準化されたイオン・リファレンス・ゲージIRG080の操作および表示インターフェースです。IRC081はIRG080ゲージの正確で基準総圧力の測定とローカル制御を行います。読み出しとスイッチのオン/オフ機能は、USBコンピュータ・インターフェースを介して遠隔操作で利用できます。
付属の直感的な「IRC081ユーザー・インターフェース」ソフトウェアにより、選択した設定や圧力測定値をグラフィカルに表示することができます。IRC081操作ユニットには、さまざまな長さのケーブルが用意されています。
メリット
- 正確な真空圧力測定のための操作・表示ソリューション
- 全てのIRG080ゲージ・パラメーターのユーザー・コントロールが可能
- 5つのポテンショメーターによる簡単なマニュアル操作
- USB-BポートからPCへのユーザーインターフェース接続
- LabVIEWTMによるPCソフトウェア
- データログとパラメータログ機能
- ステータス及び真空インターロック用外部ポート
パネル
フロント
バック
A | PC接続用USBポート |
B | カソード・バイアス電圧を設定するBIASノブ |
C | WEHNELT(ウェーネルト)ノブ:ウェーネルト電圧を設定します。 |
D | ケージ(陽極)電圧を設定するCAGEノブ |
E | DEFLECTOR ノブ 偏向電圧を設定します。 |
F | FARADAYノブ ファラデー電圧を設定します。 |
G | USB接続時のSTATUS LED表示 |
H | USB接続時のACTIVE LED表示 |
I | POWER LEDディスプレイ |
J | FILAMENT OK LED表示 |
K | INTERLOCK OK LEDディスプレイ |
L | MEASURE LEDディスプレイ |
A | GAUGE 接続 (イオンコレクタ電流入力) |
B | デフレクター測定ソケット(デフレクター電圧) |
C | WEHNELT測定ソケット(ウェーネルト電圧) |
D | FIL HIGH測定ソケット(バイアス電圧-上限値) |
E | GND測定ソケット |
F | 電源スイッチとヒューズ付き電源 |
G | 内部保護導体の取り付けと接地ネジ |
H | VACUUM INTERLOCK/STATUS 接続 |
I | FIL LOW測定ソケット(バイアス電圧-下限値) |
J | CAGE接続(陽極電圧) |
K | FARADAY接続(ファラデー電圧) |
L | GAUGE接続(センサーへのインターフェース) |
ユーザーインターフェース
IRC081ユーザー・インターフェースによる単一のコントロール・ウィンドウ
- 測定オン/オフ制御
- エミッション電流コントロール
- 圧力値、設定電圧値、測定電流値、透過率をフル表示
- 現在の圧力と電流値のグラフ表示
- イオン電流測定範囲の手動または自動設定
- ガス種補正と感度の表示(設定可能)
- インターロックおよびシステム・ステータス表示
- 警告および指示メッセージエリア
![IRC081 User Interface single control window IRC081 User Interface single control window](/uploads/media/660x/09/8309-IRC081%20User%20Interface%20single%20control%20window.png?v=1-0)
![IRC081 User Interface single control window](/media/8309/download/IRC081%20User%20Interface%20single%20control%20window.png?v=1)
フルゲージ構成
- ガス種
- センサー感度 (mbar-1)
- 最大フィラメントヒーター電流
![IRC081 User Interface Full Gauge Configuration IRC081 User Interface Full Gauge Configuration](/uploads/media/660x/01/8311-IRC081%20User%20Interface%20Full%20Gauge%20Configuration.png?v=1-0)
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データ保存
- ロギング設定メニュー
![IRC081 User Interface Data Storage IRC081 User Interface Data Storage](/uploads/media/660x/00/8310-IRC081%20User%20Interface%20Data%20Storage_.png?v=2-0)
![IRC081 User Interface Data Storage](/media/8310/download/IRC081%20User%20Interface%20Data%20Storage_.png?v=2)
仕様
IRC081
IRC081
測定チャンネル | 1 |
測定レート | 1 s-1 |
ユーザーインターフェース | フロントパネル、PCソフトウェア |
マニュアルコントロール | 5ノブ |
リモートコントロール | USB2.0経由、PCソフトウェア "IRC081ユーザー・インターフェース "付き |
測定範囲 | <1 x 10-8 ... 1 x 10-4 mbar |
測定単位(選択可能) | mbar, Torr, Pa |
コントローラー接続 | |
ゲージイオンコレクタ | バヨネット(BNC) |
ゲージコントロールインターフェース | プッシュプルセルフラッチ、7ピン |
真空インターロック/ステータスポート | 1×D-sub9ピン |
使用可能な入出力信号 | 1×センサーステータス、1×外部真空インターロック |
アナログ測定ソケット | 7 (2xフィラメント、ウェーネルト、陽極、デフレクター、ファラデー、GND) |
インターフェース(デジタル) | USB 2.0 |
電源 | 100 ... 240 V(交流) |
周波数 | 50 ... 60 Hz |
動作温度 | +5 ... +40 °C |
品番
品番
アクセサリー
399-880 | IRC081 イオン・リファレンス・ゲージ・コントローラ、USB 2.0 |
IRG080 用耐熱ゲージヘッドケーブルセット、接点保護付き | |
399-883 | 5m(16.4フィート) |
399-884 | 10m(32フィート) |
399-885 | 15m(49.5フィート) |
耐衝撃測定線、CAT III、1 m | |
399-887 | 黒 |
399-888 | 赤 |
IRG080 | |
399-874 | イオンリファレンスゲージIRG080、DN 63 CF-F |
399-875 | イオンリファレンスゲージIRG080、DN 63 CF-F、ミューメタル中間ピース付き |
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マニュアル
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