真空計コントローラー

IRC081

イオンリファレンスゲージIRG080で新たなスタンダードを築く

IRC081
ACADEMY

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Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Personal information
Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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イオン・リファレンス・ゲージ・コントローラーIRC081とそのユーザー・インターフェースは、標準化されたイオン・リファレンス・ゲージIRG080の操作および表示インターフェースです。IRC081はIRG080ゲージの正確で基準総圧力の測定とローカル制御を行います。読み出しとスイッチのオン/オフ機能は、USBコンピュータ・インターフェースを介して遠隔操作で利用できます。

付属の直感的な「IRC081ユーザー・インターフェース」ソフトウェアにより、選択した設定や圧力測定値をグラフィカルに表示することができます。IRC081操作ユニットには、さまざまな長さのケーブルが用意されています。

メリット

  • 正確な真空圧力測定のための操作・表示ソリューション
  • 全てのIRG080ゲージ・パラメーターのユーザー・コントロールが可能
  • 5つのポテンショメーターによる簡単なマニュアル操作
  • USB-BポートからPCへのユーザーインターフェース接続
  • LabVIEWTMによるPCソフトウェア
  • データログとパラメータログ機能
  • ステータス及び真空インターロック用外部ポート

パネル

フロント
バック
APC接続用USBポート
Bカソード・バイアス電圧を設定するBIASノブ
CWEHNELT(ウェーネルト)ノブ:ウェーネルト電圧を設定します。
Dケージ(陽極)電圧を設定するCAGEノブ
EDEFLECTOR ノブ 偏向電圧を設定します。
FFARADAYノブ ファラデー電圧を設定します。
GUSB接続時のSTATUS LED表示
HUSB接続時のACTIVE LED表示
IPOWER LEDディスプレイ
JFILAMENT OK LED表示
KINTERLOCK OK LEDディスプレイ
LMEASURE LEDディスプレイ
AGAUGE 接続 (イオンコレクタ電流入力)
Bデフレクター測定ソケット(デフレクター電圧)
CWEHNELT測定ソケット(ウェーネルト電圧)
DFIL HIGH測定ソケット(バイアス電圧-上限値)
EGND測定ソケット
F電源スイッチとヒューズ付き電源
G内部保護導体の取り付けと接地ネジ
HVACUUM INTERLOCK/STATUS 接続
IFIL LOW測定ソケット(バイアス電圧-下限値)
JCAGE接続(陽極電圧)
KFARADAY接続(ファラデー電圧)
LGAUGE接続(センサーへのインターフェース)

ユーザーインターフェース

IRC081ユーザー・インターフェースによる単一のコントロール・ウィンドウ

  • 測定オン/オフ制御
  • エミッション電流コントロール
  • 圧力値、設定電圧値、測定電流値、透過率をフル表示
  • 現在の圧力と電流値のグラフ表示
  • イオン電流測定範囲の手動または自動設定
  • ガス種補正と感度の表示(設定可能)
  • インターロックおよびシステム・ステータス表示
  • 警告および指示メッセージエリア
IRC081 User Interface single control window
IRC081 User Interface single control window

フルゲージ構成

  • ガス種
  • センサー感度 (mbar-1)
  • 最大フィラメントヒーター電流
IRC081 User Interface Full Gauge Configuration
IRC081 User Interface Full Gauge Configuration

データ保存

  • ロギング設定メニュー
IRC081 User Interface Data Storage
IRC081 User Interface Data Storage

仕様

IRC081
IRC081
測定チャンネル1
測定レート1 s-1
ユーザーインターフェースフロントパネル、PCソフトウェア
マニュアルコントロール5ノブ
リモートコントロールUSB2.0経由、PCソフトウェア "IRC081ユーザー・インターフェース "付き
測定範囲<1 x 10-8 ... 1 x 10-4 mbar
測定単位(選択可能)mbar, Torr, Pa
コントローラー接続 
ゲージイオンコレクタバヨネット(BNC)
ゲージコントロールインターフェースプッシュプルセルフラッチ、7ピン
真空インターロック/ステータスポート1×D-sub9ピン
使用可能な入出力信号1×センサーステータス、1×外部真空インターロック
アナログ測定ソケット7 (2xフィラメント、ウェーネルト、陽極、デフレクター、ファラデー、GND)
インターフェース(デジタル)USB 2.0
電源100 ... 240 V(交流)
周波数50 ... 60 Hz
動作温度+5 ... +40 °C
Download full specifications

品番

品番
アクセサリー
399-880IRC081 イオン・リファレンス・ゲージ・コントローラ、USB 2.0
 IRG080 用耐熱ゲージヘッドケーブルセット、接点保護付き
399-8835m(16.4フィート)
399-88410m(32フィート)
399-88515m(49.5フィート)
  
 耐衝撃測定線、CAT III、1 m
399-887
399-888
  
 IRG080
399-874イオンリファレンスゲージIRG080、DN 63 CF-F
399-875イオンリファレンスゲージIRG080、DN 63 CF-F、ミューメタル中間ピース付き
この製品は以下の市場で使用されています
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分析機器

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