IRG080
電離真空計の新基準
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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イオンリファレンスゲージIRG080は、真空システムにおける精密な全圧測定用に開発された世界初の真空センサーです。イオン化真空計の革新的なコンセプト（高温の陰極がファラデーカップに直線経路で移動する電子を放出する）に基づき、IRG080は10-8mbarから10-4mbarの範囲で参照標準として適しています。
IRG080は、1%までの比類のない精度、非常に小さな広がりで予測可能なガス感度、非常に優れた短期再現性と再現性を提供します。このゲージは、計測と校正に理想的なソリューションです。IRG080は、IRC081表示・操作ユニットに接続され、制御されます。
メリット
- 高真空および超高真空領域で高い測定精度が要求される用途向けに開発
- ISO TS 6737に準拠した電極システム構成
- 小さな不確かさで予測可能な相対ガス感度により、すべてのガス種に対して真の圧力が得られます。
- 安定した電子放出とESDやX線による影響の排除
- 再現性が高く、輸送が容易
- 165 °C（耐熱ケーブル使用時）または400 °C（コネクターユニットなし）までベーク可能
- 磁気シールド用にミューメタルの中間ピースを使用可能
オペレーティング・ユニット
- イオンリファレンスゲージコントローラ IRC081
リファレンス・スタンダード
- N2に対して1％以下の精度
- 予測可能なガス感度、スプレッドは非常に小さい（1.5%未満）
- 真の全圧測定
- 非常に優れた短期繰り返し精度（<1%）と再現性（<1）
測定原理
電子はカソード（左側）を出て、アノードで200eVまで加速され、イオンコレクターで集束される。電子経路の長さは十分に特徴づけられているため、ゲージの感度は予測可能である。アノードグリッド内で電子によって生成されたイオンはコレクターに加速され、電流として測定される。アノードグリッドの外側で発生したイオンは、偏向器によって捕捉される。
完全パッケージ
- イオンリファレンスゲージコントローラIRC081による操作と表示インターフェース
- ユーザーはIRG080ゲージのパラメータを制御できます。
- IRC081ユーザーインターフェースソフトウェア(LabVIEWTM)での設定と測定値の表示
- データとパラメータのロギング機能
この製品は以下の市場で使用されている。
