冷陰極ゲージ
MAG084
VGC094用耐磁場冷陰極パッシブゲージヘッド
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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ゲージヘッドMAG084は、バキュームゲージコントローラVGC094で動作するように設計されたユニークな耐磁界反転マグネトロン冷陰極ゲージです。二重イオン化室の原理を取り入れた特別な設計により、強い外部磁場が存在する場合でも、1×10-8～5×10-3mbarの圧力範囲での真空測定が可能です。
オールメタル設計、NdFeB希土類磁石、最適化された密閉磁気回路、磁気シールド筐体により、MAG084は、磁場耐性など最高の性能を必要とするあらゆる特殊な核融合と研究開発用途に対応します。
MAG084のベークアウト温度は230℃まで、電離放射線耐性は107Gyまでです。ゲージヘッドには、陽極に点火補助装置が取り付けられており（低圧での冷陰極点火時間を短縮）、簡単に分解洗浄できるため、ダウンタイムを最小限に抑えて長期間の使用が可能です。
メリット
- 強力な外部磁場下でも動作を維持できるよう開発
- 逆マグネトロン原理に基づく、信頼性と実績のあるゲージヘッド設計
- 革新的な二重イオン化室原理
- 230 °Cまでベーク可能
- 優れた点火特性
- セラミックフィードスルーによる耐食性
- 1×107Gyまでの耐放射線設計
- メンテナンスが容易で、所有コストが低い
特徴
- 革新的な二重イオン化室の原理
- NdFeB希土類磁石
- 最適化された密閉磁気回路
- 磁気シールド筐体
代表的なアプリケーション
- 強力な外部磁場を呈する特殊な核融合と研究開発用途
オペレーティング・ユニット
- バキュームゲージコントローラ VGC094
磁場性能
- 230 °C（どの向きでも）、600 mT までの短時間の外部磁界曝露からの完全な耐性と可逆的な回復。
- 最大動作許容外部磁界（3dBマージン）および相対誘導誤差：
| 外部磁場 | 測定偏差 | |
| アキシアル方向 | ラジアル方向 | |
| ≤180 mT | ≤150 mT | ≤10% |
| ≤280 mT | ≤180 mT | ≤factor 2 |
仕様
MAG084
MAG084
| 測定原理 | 逆マグネトロン冷陰極管 |
| 測定範囲 | 1×10-8 ... 5×10-3 mbar |
| 精度 (N2) | 読み値の30% |
| 繰り返し精度 (N2) | 読み値の5% |
| フィードスルー｜内海 | AI2O3 セラミック｜メタル |
| ベークアウト温度 | ≤230 °C |
| 最大動作距離 | ≤100 m |
| 電離放射線耐性 | 107 Gy |
| 磁場耐性 | 磁場性能を参照 |
| 真空にさらされる材料 | ステンレススチール, AI2O3, Ag, Mo |
| 特徴 | 二重イオン化室原理 同軸接続 |
品番
アクセサリー
| MAG084 | |
| 399-849 | DN 40 ISO-KF |
| 399-850 | DN 40 CF-F |
| VGC094 へのケーブル | |
| 対 MAG084 80°C | |
| BG548406-T | 3 m (9.9 ft) |
| BG548407-T | 6 m (19.8 ft) |
| BG548419-T | 10 m (33 ft) |
| BG548483-T | 15 m (49 ft) |
| 対 MAG084 250°C | |
| BG548542-T | 3 m (9.9 ft) |
| BG548543-T | 6 m (19.8 ft) |
| BG448045-T | 10 m (33 ft) |
| BG548989-T | 15 m (49 ft) |
