冷陰極ゲージ
MAG470
倒立型マグネトロンゲージ
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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倒立型マグネトロン真空計MAG470は、あらゆる超高真空アプリケーションに対応します。測定範囲は5x10-11mbarから1x10-2mbarです。
利点
- フィラメントの焼損なし
- 拡張バージョン、センサーベークアウト250℃まで
- 優れた着火性
- 洗浄が容易
- 金属密封フィードスルー
- 高電圧用LEDインジケーター
- 対数アナログ出力信号
標準的なアプリケーション
- 超高真空圧力監視
- 蒸着・スパッタリング装置用基準圧力
- 中高真空領域における一般的な真空計測・制御
