ピラニゲージ

PSG50x & PSG51x

ATM To Medium Vacuum Gauge

Pirani-PSG5XX
ACADEMY

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Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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INFICONのピラニ標準ゲージ PSG500、PSG502-S、 PSG510-S、 PSG512-Sは、市場において最も進んだデジタルピラニ技術を採用しています。ステンレス製の堅牢なセンサセルやコンパクト設計により、半導体システムでの使用や、補助真空側配管などの一般用途に最適です。

利点

  • 操作が簡単な押しボタン式ATMおよびHV調整
  • コンパクトで堅牢な設計
  • アルミハウジング
  • 取付け方向が自在
  • 金属封止型のステンレス製測定セル
  • 対数出力信号により統合が容易
  • 絶対圧10 bar超過用ねじ接続
  • 250 °Cでのベーキングが可能なバージョン
  • 耐腐食性ニッケルフィラメントをオプションで選択可能
  • 腐食性のある作業にはセラミックフィードスルー(PSG510と PSG512)
  • オプションのセットポイント
  • RoHSコンプライアンス

標準的なアプリケーション

  • 高真空電離真空計の制御
  • 真空圧力のモニタリング
  • 真空システム内の安全回路
  • 一般的な真空計測と高真空から低真空までの真空範囲のコントロール

仕様

PSG500 tungsten
PSG500-S tungsten, setpoints
PSG502-S nickel, setpoints
PSG510-S tungsten, setpoints, ceramic feedthroughs
PSG512-S nickel, setpoints, ceramic feedthroughs
Measurement rangeV+1.9 … +10.0
Accuracy(N2)  
1 x 10-3 … 100 mbar% of reading±15%
5 x 10-4 … 1 x 10-3 mbar% of reading±50%
100 … 1000 mbar% of reading±50%
Repeatability (air)  
1 x 10-3 … 100 mbar% of reading2%
Admissible temperature  
Operation°C+5 … +60
Vacuum connection (1)°C80 / 250 (2)
Storage°C-20 … +65
Supply voltage  
At gaugeV (dc)+14 …+30
RippleV (p-p)≤1
Power consumptionW≤1
Setpoint  
Number of setpointsNumber of setpointsnone
Setting rangembar
Hysteresis% of reading
Relay contact 
Relay contact: Switching timems
Materials exposed to vacuum glass, Ni, NiFe, DIN 1.4301 / 1.4305 / 1.4435
Measurement rangeV+1.9 … +10.0
Accuracy(N2)  
1 x 10-3 … 100 mbar% of reading 
5 x 10-4 … 1 x 10-3 mbar% of reading 
100 … 1000 mbar% of reading 
Repeatability (air)  
1 x 10-3 … 100 mbar% of reading2%
Admissible temperature  
Operation°C+5 … +60
Vacuum connection (1)°C80 / 250 (2)
Storage°C-20 … +65
Supply voltage  
At gaugeV (dc)+14 …+30
RippleV (p-p)≤1
Power consumptionW≤1
Setpoint  
Number of setpointsNumber of setpoints2
Setting rangembar2 x 10-3 … 500
Hysteresis% of reading10% above lower threshold
Relay contact 30
Relay contact: Switching timems<20
Materials exposed to vacuum glass, Ni, NiFe, DIN 1.4301 / 1.4305 / 1.4435
Measurement rangeV+1.9 … +10.0
Accuracy(N2)  
1 x 10-3 … 100 mbar% of reading 
5 x 10-4 … 1 x 10-3 mbar% of reading 
100 … 1000 mbar% of reading 
Repeatability (air)  
1 x 10-3 … 100 mbar% of reading2%
Admissible temperature  
Operation°C+5 … +60
Vacuum connection (1)°C80 / 250 (2)
Storage°C-20 … +65
Supply voltage  
At gaugeV (dc)+14 …+30
RippleV (p-p)≤1
Power consumptionW≤1
Setpoint  
Number of setpointsNumber of setpoints2
Setting rangembar2 x 10-3 … 500
Hysteresis% of reading10% above lower threshold
Relay contact 30
Relay contact: Switching timems<20
Materials exposed to vacuum glass, Ni, NiFe, DIN 1.4301 / 1.4305 / 1.4435
Measurement rangeV+1.9 … +10.0
Accuracy(N2)  
1 x 10-3 … 100 mbar% of reading 
5 x 10-4 … 1 x 10-3 mbar% of reading 
100 … 1000 mbar% of reading 
Repeatability (air)  
1 x 10-3 … 100 mbar% of reading2%
Admissible temperature  
Operation°C+5 … +60
Vacuum connection (1)°C80 / 250 (2)
Storage°C-20 … +65
Supply voltage  
At gaugeV (dc)+14 …+30
RippleV (p-p)≤1
Power consumptionW≤1
Setpoint  
Number of setpointsNumber of setpoints2
Setting rangembar2 x 10-3 … 500
Hysteresis% of reading10% above lower threshold
Relay contact 30
Relay contact: Switching timems<20
Materials exposed to vacuum AI2O3, Ni, DIN 1.3981 / 1.4305 / 1.4435
Measurement rangeV+1.9 … +10.0
Accuracy(N2)  
1 x 10-3 … 100 mbar% of reading 
5 x 10-4 … 1 x 10-3 mbar% of reading 
100 … 1000 mbar% of reading 
Repeatability (air)  
1 x 10-3 … 100 mbar% of reading2%
Admissible temperature  
Operation°C+5 … +60
Vacuum connection (1)°C80 / 250 (2)
Storage°C-20 … +65
Supply voltage  
At gaugeV (dc)+14 …+30
RippleV (p-p)≤1
Power consumptionW≤1
Setpoint  
Number of setpointsNumber of setpoints2
Setting rangembar2 x 10-3 … 500
Hysteresis% of reading10% above lower threshold
Relay contact 30
Relay contact: Switching timems<20
Materials exposed to vacuum AI2O3, Ni, DIN 1.3981 / 1.4305 / 1.4435
仕様の詳細はこちらからダウンロードできます。
品番
アクセサリー
スペアパーツ
PSG500 tungsten 
350-060PSG500 DN 16 ISO-KF.
350-061PSG500 1/8" NPT
350-062PSG500 DN 16 CF-R
350-063PSG500 1/2" Tube
350-064PSG500 8-VCR (1/2")
350-065PSG500 4-VCR (1/4")
350-066PSG500 7/16-20 UNF
350-067PSG500 DN 16 ISO-KF, ext. body
350-068PSG500 DN 16 CF-R, ext. body
  
PSG500-S tungsten, setpoints 
350-080PSG500-S DN 16 ISO-KF
350-081PSG500-S 1/8" NPT
350-082PSG500-S DN 16 CF-R
350-083PSG500-S 1/2" Tube
350-084PSG500-S 8-VCR (1/2")
350-085PSG500-S 4-VCR (1/4")
350-086PSG500-S 7/16-20 UNF
350-087PSG500-S DN 16 ISO-KF, ext. body
350-088PSG500-S DN 16 CF-R, ext. body
  
PSG502-S nickel, setpoints 
350-140PSG502-S DN 16 ISO-KF
350-141PSG502-S 1/8" NPT
350-142PSG502-S DN 16 CF-R
350-143PSG502-S 1/2" Tube
350-144PSG502-S 8-VCR (1/2")
350-145PSG502-S 4-VCR (1/4")
350-146PSG502-S 7/16-20 UNF
350-147PSG502-S DN 16 ISO-KF, ext. body
350-148PSG502-S DN 16 CF-R, ext. body
  
PSG510-S tungsten, setpoints, ceramic feedthroughs 
350-200PSG510-S DN 16 ISO-KF
  
PSG512-S nickel, setpoints, ceramic feedthroughs 
350-300PSG512-S DN 16 ISO-KF
PSG500 tungsten 
211-001Clamping ring DN 10-16 ISO-KF
350-050Power Supply, PxG5xx,G-Cable FCC,1.8m
  
PSG500-S tungsten, setpoints 
211-001Clamping ring DN 10-16 ISO-KF
350-050Power Supply, PxG5xx,G-Cable FCC,1.8m
  
PSG502-S nickel, setpoints 
211-001Clamping ring DN 10-16 ISO-KF
350-050Power Supply, PxG5xx,G-Cable FCC,1.8m
  
PSG510-S tungsten, setpoints, ceramic feedthroughs 
211-001Clamping ring DN 10-16 ISO-KF
350-050Power Supply, PxG5xx,G-Cable FCC,1.8m
  
PSG512-S nickel, setpoints, ceramic feedthroughs 
211-001Clamping ring DN 10-16 ISO-KF
350-050Power Supply, PxG5xx,G-Cable FCC,1.8m
PSG500 tungsten 
350-920PSG500 Spare Sensor DN 16 KF
350-921PSG500 Spare Sensor 1/8" NPT
350-922PSG500 Spare Sensor DN 16 CF-R
350-923PSG500 Spare Sensor 1/2" Tube
350-924PSG500 Spare Sensor 8-VCR (1/2")
350-925PSG500 Spare Sensor 7/16-20 UNF
350-926PSG500 Spare Sensor 4-VCR (1/4")
350-927PSG500 Spare Sensor DN 16 KF,ext.body
350-928PSG500 Spare Sensor DN 16 CF-R,ext.body
  
PSG500-S tungsten, setpoints 
350-920PSG500 Spare Sensor DN 16 KF
350-921PSG500 Spare Sensor 1/8" NPT
350-922PSG500 Spare Sensor DN 16 CF-R
350-923PSG500 Spare Sensor 1/2" Tube
350-924PSG500 Spare Sensor 8-VCR (1/2")
350-925PSG500 Spare Sensor 7/16-20 UNF
350-926PSG500 Spare Sensor 4-VCR (1/4")
350-927PSG500 Spare Sensor DN 16 KF,ext.body
350-928PSG500 Spare Sensor DN 16 CF-R,ext.body
  
PSG502-S nickel, setpoints 
350-900PSG502 Spare Sensor DN 16 KF
350-901PSG502 Spare Sensor 1/8" NPT
350-902PSG502 Spare Sensor DN 16 CF-R
350-903PSG502 Spare Sensor 1/2" Tube
350-904PSG502 Spare Sensor 8-VCR (1/2")
350-905PSG502 Spare Sensor 7/16-20 UNF
350-906PSG502 Spare Sensor 4-VCR (1/4")
350-907PSG502 Spare Sensor DN 16 KF,ext.body
350-908PSG502 Spare Sensor DN 16 CF-R,ext.body
  
PSG510-S tungsten, setpoints, ceramic feedthroughs 
350-930PSG510 Spare Sensor DN 16 KF
  
PSG512-S nickel, setpoints, ceramic feedthroughs 
350-940PSG512 Spare Sensor DN 16 KF
本製品は以下のマーケットで使用されています。
Analytical-Instrumentation-Navi
分析機器

分析機器市場は、高度に洗練されたツールで、幅広い用途と市場のユーザーをサポートしています。

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Battery-Market-Navi
バッテリー

電極の生産からエンドオブラインテストまで

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Display-Navi
ディスプレイ

INFICONは最先端の技術をサポートし、最高品質のディスプレイ製品を実現します。

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energy-market-navi
エネルギー

従来の石油・ガス生産は、過去数十年の間に需要が増加し、人口増加、都市化、発展途上国の消費者中間層によって推進されています。

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HVACR-Navi
冷凍空調

冷凍空調技術は、間違いなく21世紀の重要なテーマの一つです。使用効率、エネルギー効率、そして何よりも最適な温度や気候(民間および商業部門において)が重要な役割を果たします。

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Industrial-Manufacturing-Navi-2
産業用製造業

クリーンな環境を保証するため真空技術は頻繁に使用され、様々なプロセスでは不可欠な要素とされています。

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Mobility_and_Automotive-Navi
モビリティ&オートモーティブ

進化する業界において信頼性の高いリークテストを実現 自動車業界の変化に伴い、リークテストがますます重要になってきています。

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Pharma_and_Medical-Navi
製薬・メディカル

生産性を向上させ、製薬会社のコンプライアンス標準と品質要件を満たすお手伝いをします

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半導体IDM&ファウンドリ

幅広いアプリケーションをサポートするために作られたセンサは、製品の安全性、歩留まりの向上、そして最大の生産性を保証します。

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Vacuum_Coating-Navi
真空成膜

真空コーティングの市場は、光学だけでなく、わずか10年前にはほとんど想像もできなかった分野、産業、フィルム層へと急速に拡大しています。

詳細はこちら

ダウンロード

3Dファイル
350-060 PSG500 DN 16 ISO-KF
zip 195,3 KB 3Dファイル
350-061 PSG500 1/8" NPT
zip 271,2 KB 3Dファイル
350-062 PSG500 DN 16 CF-R
zip 284,1 KB 3Dファイル
350-063 PSG500 1/2" tube
zip 265,9 KB 3Dファイル
350-064 PSG500 8 VCR®
zip 279,6 KB 3Dファイル
350-065 PSG500 4 VCR®
zip 278,4 KB 3Dファイル
350-066 PSG500 7/16-20 UNF
zip 277,9 KB 3Dファイル
350-067 PSG500 DN 16 ISO-KF long tube
zip 281,0 KB 3Dファイル
350-068 PSG500 DN 16 CF-R long tube
zip 295,4 KB 3Dファイル
350-072 PSG500 G1/8"
stp 2,2 MB 3Dファイル
350-080 PSG500-S DN 16 ISO-KF
zip 319,0 KB 3Dファイル
350-081 PSG500-S 1/8" NPT
zip 342,8 KB 3Dファイル
350-082 PSG500-S DN 16 CF-R
zip 355,3 KB 3Dファイル
350-083 PSG500-S 1/2" tube
zip 337,7 KB 3Dファイル
350-084 PSG500-S 8 VCR®
zip 351,4 KB 3Dファイル
350-085 PSG500-S 4 VCR®
zip 350,3 KB 3Dファイル
350-086 PSG500-S 7/16-20 UNF
zip 349,7 KB 3Dファイル
350-087 PSG500-S DN 16 ISO-KF long tube
zip 281,0 KB 3Dファイル
350-088 PSG500-S DN 16 CF-R long tube
zip 367,1 KB 3Dファイル
350-140 PSG502-S DN 16 ISO-KF
zip 295,4 KB 3Dファイル
350-141 PSG502-S 1/8" NPT
zip 342,8 KB 3Dファイル
350-142 PSG502-S DN 16 CF-R
zip 355,3 KB 3Dファイル
350-143 PSG502-S 1/2" tube
zip 337,7 KB 3Dファイル
350-144 PSG502-S 8 VCR®
zip 351,4 KB 3Dファイル
350-145 PSG502-S 4 VCR®
zip 350,3 KB 3Dファイル
350-146 PSG502-S 7/16-20 UNF
zip 349,7 KB 3Dファイル
350-147 PSG502-S DN 16 ISO-KF long tube
zip 281,0 KB 3Dファイル
350-148 PSG502-S DN 16 CF-R long tube
zip 367,1 KB 3Dファイル
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