キャパシタンスマノメーター

Stripe® CDG045Dhs

45℃温度制御、フルスケール 0.01 ... 1000 Torr / mbar

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INFICON Stripe高速キャパシタンスダイアフラムゲージは、現在最も高速の高精度真空計です。2ms未満の反応時間、およびEtherCATフィールドバスインターフェースによって、完全に新しい分野の用途を切り開きます。実績のある、温度制御、耐食性、超高純度のセラミックセンサは、数年にわたる長期間の安定性と、最先端の零点安定性を実現します。ストライプには、INFICONで、計器を望ましくないプロセスの副産物から保護する特許を受けた独自のセンサシールドが同梱されています。INFICON Stripeは革新的な加熱技術を使用することで接触面を冷却し、独自の高速性能によって生産性を前例のない水準まで向上させる、この分野で最先端の真空計です。

Stripe CDG045Dhsは栄誉のある2014 R&D 100 Awardを受賞しました。

利点

高い生産性 – 応答時間が2分以上速い (FS > 50m Torr)
柔軟な統合 – EtherCAT Fieldbus
長寿命 – 実績のあるセラミックセンサー
再較正が不要 – フルスケール範囲に基づいた安定性（90ppm/年）

標準的なアプリケーション

原子層堆積法
高速プロセスコントロール
PVD、CVD、エッチング
一般的な高温真空用途

仕様

1000 Torr / 1100 mbar ... 0.05 Torr / mbar

0.02 ... 0.01 Torr / mbar

精度	% of reading	0.15

精度	% of reading	-

分解能	percent FS	0.003

出力信号 (アナログ)	V (dc)	0 … +10

応答時間	ms	2 ... 20

接ガス材料		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L)

精度	% of reading	-

精度	% of reading	0.2

分解能	percent FS	0.003

出力信号 (アナログ)	V (dc)	0 … +10

応答時間	ms	2 ... 20

接ガス材料		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L)

仕様の詳細はこちらからダウンロードできます。

ダウンロード

パンフレット

Stripe® Brochure

pdf • 3,3 MB • 英語版 • パンフレット

Vacuum Instrumentation with EtherCAT Brochure

pdf • 3,3 MB • 英語版 • パンフレット

データシート

Stripe CDG045Dhs 0.01 ... 1000Torr / mbar, neu 10mTorr DE

pdf • 611,0 KB • ドイツ語 • データシート

Stripe® CDG045Dhs Datasheet

pdf • 130,9 KB • 英語版 • データシート

Stripe CDG045Dhs 0.01 ... 1000Torr / mbar, new 10mTorr

pdf • 648,5 KB • スペイン語 • データシート

Stripe CDG045Dhs 0.01 ... 1000Torr / mbar, new 10mTorr KO

pdf • 654,1 KB • 韓国語 • データシート

Stripe CDG045Dhs 0.01 ... 1000乇 / 毫巴, 新 10毫乇 ZH

pdf • 744,5 KB • 中国語 • データシート

Stripe CDG045Dhs 0.01 ... 1000Torr / mbar, new 10mTorr JA

pdf • 763,3 KB • 日本語 • データシート

寸法図

CDGxxxDhs dimension drawing

png • 226,3 KB • ドイツ語, 日本語, 韓国語, スペイン語, 中国語, 英語版 • 寸法図

取扱説明書

Gebrauchsanleitung STRIPE CDG045Dhs

pdf • 1,3 MB • ドイツ語 • 取扱説明書

Stripe® CDG045Dhs Operating Manual

pdf • 1,2 MB • 英語版 • 取扱説明書

SKY®, Stripe® Communication Protocol Diagnostic Port

pdf • 243,3 KB • 英語版 • 取扱説明書

SKY®, Edge®, Stripe® CDG EtherCAT New Generation Communication Protocol

pdf • 2,1 MB • 英語版 • 取扱説明書

Manual CDG045Dhs ZH

pdf • 678,1 KB • 中国語 • 取扱説明書

Communication protocol EtherCAT

pdf • 972,1 KB • 英語版 • 取扱説明書

3D Step Files

Stripe® CDG045Dhs 3D 4-VCR-m E-CAT

zip • 1,5 MB • 3Dファイル

Stripe® CDG045Dhs 3D 4-VCR-f E-CAT

zip • 1,4 MB • 3Dファイル

Stripe CDG045Dhs 16CF

zip • 336,2 KB • 3Dファイル

Stripe CDG045Dhs 16KF

zip • 328,6 KB • 3Dファイル

Stripe CDG045Dhs 8-VCR-f

zip • 339,8 KB • 3Dファイル

Stripe CDG045Dhs tube

zip • 325,4 KB • 3Dファイル

その他

Stripe® CDGhs EtherCAT New Generation ESI V2

zip • 10,5 KB • 英語版

Stripe® CDGhs EtherCAT ESI V1.2

xml • 789,9 KB • 英語版

本製品は以下のマーケットで使用されています。

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分析機器市場は、高度に洗練されたツールで、幅広い用途と市場のユーザーをサポートしています。

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ディスプレイ

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