バキュームスイッチ
VSA100A
設定値 周囲温度より3mbar低い
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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INFICON真空スイッチVSA100Aは、真空システムでの安全なスイッチとして使用できます。例えば、6mbar以下の空気圧のパージガスが入った真空システムをベントする際に、ガス供給を自動で停止させます。差圧が6 mbarになると、大気圧以下3 mbarの切り替え圧力モードに戻り、弾力性のあるダイアフラムが、切り替え接点をアクティブにします。これは補助装置に直接切り替えるために使用できます。
利点
- リーズナブルで信頼性の高い真空スイッチ
- 長寿命
- 堅牢な設計
- 統合が簡単
- IP 44保護
標準的なアプリケーション
- ロードロックチャンバーのコントロール
- 真空システムの安全な停止
ダウンロード
データシート
VSA100A differential to ambient DE
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268,6 KB
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ドイツ語
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データシート
VSA100A Vacuum Switch Datasheet
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87,4 KB
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英語版
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データシート
VSA100A differential to ambient ES
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267,1 KB
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スペイン語
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データシート
VSA100A differential to ambient KO
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308,9 KB
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韓国語
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データシート
VSA100A differential to ambient ZH
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中国語
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データシート
VSA100A differential to ambient JA
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376,3 KB
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日本語
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データシート
取扱説明書
3D Step File
本製品は以下のマーケットで使用されています。
