ホットイオンゲージ

PBR 260

ATMから超高真空熱陰極計へ

この製品は日本国内でお取扱いしておりません

ACADEMY

関連製品について無料のウェビナーにご興味ありますか。

INFICON PBR 260は、1つのコンパクトなユニットで2つのゲージとして動作するコンビネーションゲージです。主要な計測原理はベイヤードアルパート原理による熱陰極ゲージで、ピラニ熱伝導計測原理によって完成されサポートされます。PBR 260ピラニ/ベイヤード-アルパート熱陰極コンビネーションゲージは、UHVレンジ（5×10^-10）mbarから大気レンジ（1000mbar）まで測定できます。PBR 260の主な利点の1つは、技術の組み合わせ、等しいアナログ出力信号と使用される電気インターフェースのおかげで、他のメーカーのPBR 260ゲージとの互換性を低下させることです。その結果、設置、設定、プロセス統合がよりシンプルになります。PBR 260 Pirani/Bayard-Alpert熱陰極コンビネーションゲージは、手頃な価格で信頼性の高いベース圧力測定ができる、市場で最も経済的なソリューションを提供します。

利点

PBR 260 Pirani/Bayard-Alpert熱陰極コンビネーションゲージは、低真空から超高真空までの一般的な真空測定と制御を、たった一つのコンパクトな測定装置で実現します。
フランジサイズ DN 25 ISO-KF、DN 40 CF-R、DN 40 ISO-KF
最大圧力は、不活性ガスおよび55℃以下の温度に適用されます。
プロセス範囲10-8 ... 10-2 mbarで高精度、優れた再現性
ピラニセンサーでON/OFFを自動制御するベイヤード・アルパートセンサーを採用
長寿命の酸化イットリウムコート・イリジウムフィラメントを採用
RoHS指令対応

他社製PBR 260ピラニ/ベイヤードアルパート熱陰極ゲージとのドロップイン互換性あり

品番IGG27000はPT R27000に適合します。
品番IGG27001はPT R27001と一致します。
品番IGG27002はPT R27002に適合します。

標準的なアプリケーション

半導体・分析プロセス環境での圧力測定全般
光学、その他工業用コーティングプロセス

仕様

測定範囲 max. 測定範囲（最小	mbar mbar	1000 5·10^-10

ベークアウト温度	°C	150 (削除された電子機器)

精度：10^-8～10^-2mbar	読書率	15

繰り返し精度：10^-8～10^-2mbar	読書率	5

フィラメント(カソード)		イットリウムオキサイドコートイリジウム

真空にさらされる材料		Cu,W, Glass, NiFe, Mo, St. steel, NiCr

最大圧力	bar	2

仕様の詳細はこちらからダウンロードできます。

品番

スペアパーツ

品番	商品説明
IGG27000	PBR 260 DN 25 ISO-KF
IGG27001	PBR 260 DN 40 ISO-KF
IGG27002	PBR 260 DN 40 CF-R

品番	商品説明
IN846517-T	Spare sensor head PBR 260, DN 25 ISO-KF
IN846518-T	Spare sensor head PBR 260, DN 40 ISO-KF
IN846519-T	Spare sensor head PBR 260, DN 40 CF-R