ホットイオンゲージ
PBR 260
ATMから超高真空熱陰極計へ
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INFICON PBR 260は、1つのコンパクトなユニットで2つのゲージとして動作するコンビネーションゲージです。主要な計測原理はベイヤードアルパート原理による熱陰極ゲージで、ピラニ熱伝導計測原理によって完成されサポートされます。PBR 260ピラニ/ベイヤード-アルパート熱陰極コンビネーションゲージは、UHVレンジ（5×10-10）mbarから大気レンジ（1000mbar）まで測定できます。PBR 260の主な利点の1つは、技術の組み合わせ、等しいアナログ出力信号と使用される電気インターフェースのおかげで、他のメーカーのPBR 260ゲージとの互換性を低下させることです。その結果、設置、設定、プロセス統合がよりシンプルになります。PBR 260 Pirani/Bayard-Alpert熱陰極コンビネーションゲージは、手頃な価格で信頼性の高いベース圧力測定ができる、市場で最も経済的なソリューションを提供します。
利点
- PBR 260 Pirani/Bayard-Alpert熱陰極コンビネーションゲージは、低真空から超高真空までの一般的な真空測定と制御を、たった一つのコンパクトな測定装置で実現します。
- フランジサイズ DN 25 ISO-KF、DN 40 CF-R、DN 40 ISO-KF
- 最大圧力は、不活性ガスおよび55℃以下の温度に適用されます。
- プロセス範囲10-8 ... 10-2 mbarで高精度、優れた再現性
- ピラニセンサーでON/OFFを自動制御するベイヤード・アルパートセンサーを採用
- 長寿命の酸化イットリウムコート・イリジウムフィラメントを採用
- RoHS指令対応
他社製PBR 260ピラニ/ベイヤードアルパート熱陰極ゲージとのドロップイン互換性あり
- 品番IGG27000はPT R27000に適合します。
- 品番IGG27001はPT R27001と一致します。
- 品番IGG27002はPT R27002に適合します。
標準的なアプリケーション
- 半導体・分析プロセス環境での圧力測定全般
- 光学、その他工業用コーティングプロセス
仕様
| 測定範囲 max. 測定範囲（最小 | mbar mbar | 1000 5·10-10 |
| ベークアウト温度 | °C | 150 (削除された電子機器) |
| 精度：10-8～10-2mbar | 読書率 | 15 |
| 繰り返し精度：10-8～10-2mbar | 読書率 | 5 |
| フィラメント(カソード) | イットリウムオキサイドコートイリジウム | |
| 真空にさらされる材料 | Cu,W, Glass, NiFe, Mo, St. steel, NiCr | |
| 最大圧力 | bar | 2 |
品番
スペアパーツ
| 品番 | 商品説明 |
| IGG27000 | PBR 260 DN 25 ISO-KF |
| IGG27001 | PBR 260 DN 40 ISO-KF |
| IGG27002 | PBR 260 DN 40 CF-R |
| 品番 | 商品説明 |
| IN846517-T | Spare sensor head PBR 260, DN 25 ISO-KF |
| IN846518-T | Spare sensor head PBR 260, DN 40 ISO-KF |
| IN846519-T | Spare sensor head PBR 260, DN 40 CF-R |
本製品は以下のマーケットで使用されています。
