冷陰極ゲージ
測定範囲（mbar）
1 E-9 … 1 E-3
1 E-9 … atm
1 E-11 … 1 E-3
デジタルインターフェース
EtherCAT
PROFINET
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光学式ガス分析計 kljsfdl
Augent® OPG550
INFICONのAugent®光学プラズマゲージは、真空監視のためのコンパクトでインテリジェントなソリューションです。
Augent® OPG550
- 高速リーク検出によるチャンバーリークテスト
- 生産性と歩留まりの向上
- 長寿命、フィラメント焼けなし、エアインラッシュ保護
- 耐プロセス化学性
冷陰極ゲージ
Gemini® MxG5xx
INFICON Gemini® 逆マグネトロン真空計は、すべての真空計測用途向けの主力製品です（特許申請中）。
Gemini® MxG5xx
- Long lifetime in harsh environments
- 厳しい環境下でも長寿命を実現
- 磁気漂遊フィールドは発生しない
- メンテナンスフリー - 交換可能なインサート
冷陰極ゲージ
MAG470
倒立型マグネトロン真空計MAG470は、あらゆる超高真空アプリケーションに対応します。測定範囲は5x10-11mbarから1x10-2mbarです。
MAG470
- フィラメントの焼損なし
- 拡張バージョン、センサーベークアウト250℃まで
- 優れた着火性
- 洗浄が容易
冷陰極ゲージ
MPG40X
INFICONの逆マグネトロンピラニゲージMPG400 とMPG401は、5 x 10-9 mbarから大気圧(3.8 x 10-9 Torrから大気圧)までを計測します。
MPG40X
- 逆マグネトロンとピラニの組み合わせゲージ
- 5 x 10-9から大気圧という広い計測範囲
- バーンアウトするフィラメントがない
- 優れた点火特性
冷陰極ゲージ
MAG084
ゲージヘッドMAG084は、真空計コントローラーVGC094で動作するように設計されたユニークな耐磁性倒立マグネトロン冷陰極ゲージです。
MAG084
- 強力な外部磁場下でも動作を維持できるよう開発
- 逆マグネトロン原理に基づく、信頼性と実績のあるゲージヘッド設計
- 革新的な二重イオン化チャンバー原理
- 230 °Cまでベーク可能