センサー＆フィードスルー

ALDセンサー

ALDアプリケーションにおいて精度とアップタイムを最適化し、メンテナンスは最小限

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INFICONのALDセンサは、原子層蒸着（ALD）において、再現可能で正確、そして耐久性の高い水晶振動子マイクロバランス（QCM）計測を実現します。ALDセンサは最大で摂氏450º度までの使用が可能であり、ALDを実施する苛酷な環境においても動作するよう設計されています。暴露側の振動子の電極は完全に導通されているので、電気干渉について発生しうる問題を効果的に排除します。

ALDに特化した設計

INFICON ALDセンサのユニークな特徴は、振動子の背面をパージするのに使用されるガスチューブと、不活性ガス、通常は窒素で満たされたセンサキャビティです。そうすることで、反応チャンバガスがセンサヘッドに入り込むのを防ぎ、振動子の背面および電気接点に沈着物質が生じないように保てます。この手法によって、標準QCMが適さないシステムにおいてもin situ計測が可能になります。

フィードスルーおよびフィードスルー接続

INFICON ALDセンサは、カスタムの溶接長のものも利用できます。また圧縮フィッティングによって長さも調節できるので、ろう付けや溶接の必要はありません。すべての構成は2 ¾インチ(CF40) ConFlat®フランジフィードスルーを使用します。

より高精度の計測のための高温振動子

INFICONのALDセンサで、高温用途で最高の計測精度を達成し、低周波数ノイズを抑えるには、INFICONの新しい高温水晶振動子とあわせてご使用ください。これらの高温振動子、120、240、285°Cでの使用に最適化されているので、お客様のプロセスに適した水晶をご利用いただけます。その他の温度に最適化された水晶もご利用可能な場合があります。お客様のニーズについて、INFICONにご相談ください。

機能

最大450°Cの処理温度
ガスパージラインは振動子背面を沈着物質が生じないように維持
溶接Conflatフランジ（CF40）オプション
Oリング圧縮継ぎ手オプション
高温対応の振動子が利用可能

利点

大半のALD処理温度との互換性あり
メンテナンスを大幅に削減
システムのアップタイムを最大化
計測精度を最大化
高い処理温度において低ノイズで安定した測定

標準的なアプリケーション

原子層蒸着（ALD）

アクセサリー

消耗品

Part Number	Description
750-1058-G10	120° C optimized crystals, 6 MHz, 14 mm (0.55 in.), gold, pack of 10
750-1059-G10	240° C optimized crystals, 6 MHz, 14 mm (0.55 in.), gold, pack of 10
750-1060-G10	285° C optimized crystals, 6 MHz, 14 mm (0.55 in.), gold, pack of 10

Name	Description
Quartz Monitor Crystals	Quartz Monitor Crystals

スペアパーツ

Part Number	Description
007-007	Retainer spring (for crystal holder)
007-064	Ceramic retainer
007-094	Clamping spring
007-095	Handle
007-098	Female Connector (includes ferrules and nut)
007-099	Bakeable head contact
007-100	Insulator for BNC
007-103	Insulator for bakeable head contact
007-104	BNC Body
007-147	#4-40 X 3/8 screw
007-228	#4-40 X 5/8 screw
007-267-P2	Spreader bar
007-268-P1	Shoulder washer
007-269-P1	Shoulder washer
070-201	#4 Split lockwasher
084-069-P1	#4-40 x 3/16 screw
750-018-P3	Split clamp
750-018-P5	Split clamp
750-218-G1	Cyrstal holder