センサー＆フィードスルー

Cool Drawer デュアルセンサー

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Cool Drawerデュアルセンサは、真空チャンバ内に2つ目の振動子を置くことが望ましい、非常に重要なプロセスのためにデザインされています。水冷却された鋳造ステンレススチールのボディと2つのCool Drawer 振動子ホルダー、空気式シャッターが、丈夫な振動子ヘッドとバックアップ振動子との組み合わせにより、さらなる信頼性を実現します。よりクリーンで信頼性の高いシンクシステムを、チャンバー内に同軸ケーブルなしで取り付けることができます。

機能

デュアル振動子
Cool Drawer振動子ホルダー
内部ケーブルなし
振動子シャッター
CF40フィードスルーおよび2.54 cm (1インチ)ボルトフィードスルーとともに利用可能
溶接済みCF40フランジと一緒に注文すればベーク可能
圧力継手と一緒に注文すれば長さの調整が可能
お客様指定の長さに溶接済みのセンサー/フィードスルーの組合せあり

仕様

冷却水	Minimum water flow of 150 to 200 cm³/min using 1/8 in. O.D. tube, 30°C max. (Do not allow to freeze)

材料	304 stainless steel, ceramic, beryllium nickel

1インチボルトおよび圧縮フィッテイング末端部
温度	Operational environment to 300° C with water cooling or 165° C without

仕様の詳細はこちらからダウンロードできます。

品番

アクセサリー

消耗品

Part Number	Description
750-420-G1	Solenoid Valve, 24V (for use with shuttered and multi-crystal sensors)

Name	Description
Quartz Monitor Crystals	Quartz Monitor Crystals

品番

スペアパーツ

Part Number	Description
123259	Cool Drawer Sensor Crystal Retainer
123261	Cool Drawer sensor Drawer
123260	Cool Drawer Sensor Drawer and Retainer Combo
147206-2	* Bellows with 35 in. tube
147207	Bellows and cover assembly (Includes all parts marked with *)
147401	Shutter
147402	Link
147403	* Actuator
147406	* Bellows support
147407	* Bellows Cover
147408	* Threaded shaft
147411	Spacer
147424	* Bellows tube
082-026	# 2-56 Nut (part of heat shield assembly)
082-064	* Lockwasher
084-205	* #4-40 x 3/16 Phillips screw
800128	#4 Lockwasher
800371	Shoulder Screw
800372	Washer
800416	* 6-32 x 3/16 in. set screw
803313	* Spring
123223-2	Conduit brazed assembly - short pin
803102	O-ring for 5 port adjustable feedthrough
803261	Washer for 5 port adjustable feedthrough