センサー＆フィードスルー
CrystalSix® センサー
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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INFICONのCrystalSixセンサは、連続定格コントロールを要する長いプロセスに不可欠です。OLED、MBE、太陽電力、長いオプティカルコーティングやその他の、チャンバーベント間に長い時間が開くプロセスであっても、CrystalSixセンサーは、6つの水晶モニター振動子がひとつのセンサーヘッドにまとめられており、安全です。INFICONの薄膜コントローラーと一緒に使用した場合、CrystalSixセンサーは、使用中の振動子が故障したり、不安定になったりしても、自動的に新しい振動子を位置に回転させます。振動子はプロセスを中断させることなく自動的に交換されるため、継続して蒸着速度を監視できます。
振動子インデクシングは圧空式操作によって実行されます。この空気式モーターは、真空内に置かれ、熱を発生する高価な電気モーターを使用する競合ユニットよりも、振動子の熱安定性が優っています。8分の1インチの水冷却チュ―ブが、センサーヘッドの熱安定性を保ち、センサーの配置をより柔軟にします。
特定のINFICONの薄膜コントローラーとともに使えば、センサーは、どの位置でどの材料が使えるかについての、蒸着フィードバックを送ることができます。
機能
- 6基の振動子を装着し、安定した自動切り替えによりプロセスアップタイムを最大化
- 振動子の切り替えは圧空で操作されるため、振動子の温度が安定(他社製品は発熱するモーターを使用)
- 1/8インチチューブが熱安定性を維持し、柔軟なセンサー交換を可能にする
- オプションで振動シャッターもあり
仕様
| 水なしでの最高ベークアウト温度 | 130°C |
| 最小水流での最大動作等温環境温度 | 400° C |
| 振動子交換 | Front-loading, extraction tool required (supplied with unit) |
| 水および空気チューブ | S-304, 0.125 in. (0.32 cm) O.D. x 0.016 in. (0.04 cm) Wall Thickness 30 in. Long (76 cm) seamless stainless steel tubing |
品番
| Part Number | Description |
| 750-446-G1 | CrystalSix sensor (sensor only, no feedthrough included) |
アクセサリー
消耗品
スペアパーツ
| Name | Description |
| QCM Sensor Feedthroughs | QCM Sensor Feedthroughs |
| Name | Description |
| Quartz Monitor Crystals | Quartz Monitor Crystals |
| Part Number | Description |
| 007-007 | Retainer spring (for crystal holder) |
| 007-023 | Ceramic Retainer |
| 070-0170 | #2 Lockwasher (part of heat shield assembly) |
| 070-0398 | Retaining ring (secures bearing located next to pawl and actuator stem) |
| 070-0777 | Compression spring (on carousel shaft) |
| 070-0778 | Ball bearing (underneath carousel) |
| 070-0779 | Ball bearing |
| 070-0870 | Teflon washer (on carousel shaft) |
| 070-0877 | Shim spacer (part of heat shield assembly) |
| 070-0879 | Bearing (at center of top plate weld assembly) |
| 073-114 | Wire .022 in. x 1.06 in (clamps heat shield retaining pin) |
| 082-026 | # 2-56 Nut (part of heat shield assembly) |
| 750-048-P1 | Retainer spring for 007-048 and 751-619-G1 sputtering head bodies |
| 750-175-P1 | Insulator (underneath leaf spring) |
| 750-188-P3 | Leaf Spring |
| 750-249-P2 | Retaining pin (part of heat shield assembly) |
| 750-250-G1 | Deposition Shield, CrystalSix Sensor |
| 750-256-P2 | Extension spring |
| 750-257-P3 | Corrugated spring 4.40 in. (11.2 cm) |
| 750-261-G1 | Carousel assembly (includes resistor network and electrical contacts) |
| 750-262-G1 | Crystal holder |
| 750-265-G1 | Top plate weld assembly |
| 750-276-P2 | Actuator cover |
| 750-278-P2 | Water line |
| 750-286-P2 | Pneumatic actuator |
| 750-290-P3 | Carousel electrical contacts (set of eight) |
| 750-901-G1 | Crystal 6 Kit |
| 750-293-P2 | Ratchet |
| 750-294-P2 | Stop ratchet |
| 750-295-G1 | Pawl and actuator |
| 750-336-G1 | Resistor network assembly |
| 750-338-P1 | Contact insulator (underneath carousel electrical contacts) |
| In-vacuum cables | |
| 321-039-G12 | In-vacuum cable, 15.2 cm (6 in.) |
| 007-252 | In-vacuum cable, 30.5 cm (12 in.) |
| 321-039-G11 | In-vacuum cable, 61.0 cm (24 in.) |
| 007-044 | In-vacuum cable, 78.1 cm (30.75 in.) |
| 007-059 | In-vacuum cable, 91.4 cm (36 in.) |
| 007-061 | In-vacuum cable, 121.9 cm (48 in.) - Requires ModeLock controller |
| 321-039-G13 | In-Vacuum Cable, 154.2 cm (60 in.) - Requires ModeLock controller |
| 321-039-G14 | In-vacuum cable, 182.9 cm (72 in.) - Requires ModeLock controller |
| 321-039-G15 | In-vacuum cable, 3.5 m (137.8 in.) - Requires ModeLock controller and 4 m XIU |
| 321-039-G16 | In-vacuum cable, 4 m (157.5 in.) - Requires ModeLock controller and 4 m XIU |
本製品は以下のマーケットで使用されています。
