コントローラ

Cygnus® 2

OLEDアプリケーション向けの最高の測定精度

ACADEMY

関連製品について無料のウェビナーにご興味ありますか。

Cygnus 2薄膜蒸着コントローラーは、実証済みのINFICONの薄膜コントローラーの性能と、OLEDプロセスを最大限に活用できるように設計された、ユニークな機能を組み合わせることにより、ひときわ優れた価値を提供します。Cygnus 2は、市場をリードする当社のModeLock周波数計測システムを使用して、1/10秒毎に0.00433 Å/sという分解能を持つ、安定した高分解能の蒸着速度および膜厚計測を実現します。Cygnus 2と同等の優れた再現性を可能にする性能、品質、機能は、他のどの水晶振動子コントローラーにもありません。

機能

INFICONのModeLock技術は最も安定であり、非常に低い蒸着速度であっても最高の分解能と膜厚計測を可能にします。
自動Zは、材料の蒸着が進むとともにZ比率を自動的に決定し、膜厚の精度を向上させる
6つのソースまで同時にコントロールできるので、単独で、または1台のCygnus 2と組み合わせることにより、2台または3台のコントローラーが必要とされる箇所に対応
カラーTFT LCDディスプレイがプロセスで何が起きているかを見やすく表示
10 Hzの測定
100msサンプルで±0.0035 Hz
スクリーンショット、処方の保存、データログ用のUSBデータストレージ
複数ソースの膜厚を合計
低濃度で超低蒸着速度の材料の計測レートを平均化 (超低蒸着速度のOLEDドーパント材料蒸着において、安定したソースで最長30秒間)
0.001Åまでの蒸着速度分解能で表示
4メートルのXIUオプションは、大規模システム用に、長い真空内センサーケーブルの使用を可能にする
非蒸着コントロールによって、基盤が蒸着チャンバーを繰り返し通過する際に、継続的なソースコントロールを行える
標準で6基のDAC出力(オプションで6基追加)により、ソースコントロール、蒸着速度、または膜厚監視を行える
オプションのイーサーネット通信機能
RoHS対応

仕様

測定性能
厚さおよび速度分解能/測定（1）	±0.00433 Å
測定頻度範囲	6.0 to 4.5 MHz (fixed)

プロセス処方・データ管理
材料プログラム	6 independent materials

ソース数 (2)	up to 6

(1) Tooling/density = 100/1、基本周波数 = 6 MHz (2) Cygnus 2には、6系統のDAC出力基準があり、オプションとしてさらに6系統を追加できます。 12のうちいずれもソース制御電圧または

パーツ番号

アクセサリー

アクセサリー & スペアパーツ

消耗品

Name	Description
Front Load Single Sensor	Front Load Single Sensor
Front Load Dual Sensor	Front Load Dual Sensor
Cool Drawer Single Sensor	Cool Drawer Single Sensor
Cool Drawer Dual Sensor	Cool Drawer Dual Sensor
Easy Rate Single Sensor	Easy Rate Single Sensor
Easy Rate Dual Sensor	Easy Rate Dual Sensor
ALD Sensor	ALD Sensor
UHV Bakeable Sensor	UHV Bakeable Sensor
Sputtering Sensor	Sputtering Sensor
CrystalSix® Sensor	CrystalSix® Sensor
Crystal 12® Sensor	Crystal 12® Sensor
RSH-600 Rotary Sensor	RSH-600 Rotary Sensor

Part Number	Description
779-220-G1	CrystalTwo® Switch, 15.2 cm (6 in.) BNC Cables
779-220-G2	CrystalTwo® Switch, 50.8 cm (20 in.) BNC Cables
Oscillator kits	(Includes oscillator and cables)
781-611-G15	XIU PKG with 4.6 m (15 ft.) cable - For use with Cygnus 2, IC6, or XTC/3
781-611-G30	XIU PKG with 9.1 m (30 ft.) cable - For use with Cygnus 2, IC6, or XTC/3
781-611-G50	XIU PKG with 15.2 m (50 ft.) cable - For use with Cygnus 2, IC6, or XTC/3
781-611-G100	XIU PKG with 30.5 m (100 ft.) cable - For use with Cygnus 2, IC6, or XTC/3
781-612-G15	4m XIU PKG with 4.6 m (15 ft.) XIU cable - Includes 4 m in-vacuum cable and 6 in. BNC (XIU to feedthrough) cable - For use with Cygnus 2, IC6, or XTC/3
781-612-G30	4m XIU PKG with 9.1 m (30 ft.) XIU cable - Includes 4 m in-vacuum cable and 6 in. BNC (XIU to feedthrough) cable - For use with Cygnus 2, IC6, or XTC/3
781-612-G50	4 m XIU PKG with 15.2 m (50 ft.) XIU cable - Includes 4 m in-vacuum cable and 6 in. BNC (XIU to feedthrough) cable - For use with Cygnus 2, IC6, or XTC/3
781-612-G100	4m XIU with 30.5 m (100 ft.) XIU cable - Includes 4 m in-vacuum cable and 6 in. BNC (XIU to feedthrough) cable - For use with Cygnus 2, IC6, or XTC/3
781-613-G15	4m XIU PKG with 4.6 m (15 ft.) XIU cable - Includes 3.5 m in-vacuum cable and 20 in. BNC (XIU to feedthrough) cable - For use with Cygnus 2, IC6, or XTC/3
781-613-G30	4m XIU PKG with 9.1 m (30 ft.) XIU cable - Includes 3.5 m in-vacuum cable and 20 in. BNC (XIU to feedthough) cable - For use with Cygnus 2, IC6, or XTC/3
781-613-G50	4m XIU PKG with 15.2 m (50 ft.) XIU cable - Includes 3.5 m in-vacuum cable and 20 in. BNC (XIU to feedthrough) cable - For use with Cygnus 2, IC6, or XTC/3
781-613-G100	4m XIU PKG with 30.5 m (100 ft.) XIU cable - Includes 3.5 m in-vacuum cable and 20 in. BNC (XIU to feedthrough) cable - For use with Cygnus 2, IC6, or XTC/3
Oscillator Only	(No cables included)
781-600-G1	XIU (oscillator) - For XIU to sensor head cable lengths of 15 to 183 cm (6 to 72 in.) - For use with Cygnus 2, IC6, or XTC/3
781-600-G2	XIU (oscillator) - for XIU to sensor head cable lengths of 3 to 4 m (118 to 157 in.) - For use with Cygnus 2 or IC6
Cables
755-257-G6	15.2 cm (6 in.) BNC cable, XIU to vacuum feedthrough
600-1261-P15	4.6 m (15 ft.) cable, Cgynus 2, IC6 or XTC/3 controller to XIU
600-1261-P30	9.1 m (30 ft.) cable, Cygnus 2, IC6 or XTC/3 controller to XIU
600-1261-P50	15.2 m (50 ft.) cable, Cygnus 2, IC6 or XTC/3 controller to XIU
600-1261-P100	30.5 (100 ft.) cable, Cygnus 2, IC6 or XTC/3 controller to XIU