センサー＆フィードスルー
Easy Rate Dual Sensor
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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Easy Rateデュアルセンサにより、1つの振動子だけでは不十分なQCM用途に、シンプルで安価なソリューションを提供します。プロセスを完了するために必要になるまで、シャッターが第2振動子を覆います。Easy Rateデュアルセンサは、現場での交換が容易なように、2本の真空内ケーブルを使用しています。
Easy Rateデュアルセンサのコンパクトな設計に必要なクリアランスは32.5 mm (1.3インチ) だけなので、センサとシャッタアセンブリは標準CF40ニップルを通過できます。
Easy Rateデュアルセンサは標準と直角向きのものが利用可能です。また、標準チューブフィッティング付き、またはフィッティング無しのフィードスルーを含めるように構成できます。
注：Easy Rateデュアルセンサは外径4.8 mm (3/16 in.) の水冷却チューブを使用します。 Ultra-Torr装備フィードスルーとは互換性がありません。外径 4.8 mm (3/16インチ)水冷却チューブで標準フィードスルーに溶接するためにチュービングアダプターが必要です。
機能
- デュアル振動子
- 廉価
- 前面搭載の振動子ホルダー
- 振動子シャッター付属
- 取り付けが容易
- CF40フィードスルーに溶接済みのベーク可能構成
- お客様指定の長さに溶接済みのセンサー/フィードスルーの組合せあり
仕様
| 水なしでの最高ベークアウト温度 | 130° C |
| 最小水流での最大動作等温環境温度 | 400° C |
| Crystal Exchange | Front loading; shutter moves to the side for easy access to the holders |
| Feedthrough | 2 pass water and 1 pass air 4.76 mm (0.188 in) OD with 2 microdot coaxial connections |
| Water Tubes | S-304, 4.76 mm (0.188 in) OD x 0.51 mm (0.020 in.) wall thickness seamless stainless steel tubing |
| Feedthrough Specifications-CF40 (2-3/4 in. ConFlat) | |
| 材料 | 304 stainless steel, Teflon, ceramic, beryllium nickel |
| 温度 | Operational environment to 450° C with water cooling or 165° C without |
| マウンティング | Mates with 2 ¾ in. ConFlat type flanges with 1.375 in. I.D. min. |
アクセサリー
消耗品
| Name | Description |
| Easy Rate Sensor Feedthroughs | Easy Rate Sensor Feedthroughs |
| Name | Description |
| Quartz Monitor Crystals | Quartz Monitor Crystals |
スペアパーツ
| Part Number | Description |
| 784-205-G1 | Crystal Retainer Assembly |
| 784-403-P1 | Crystal Finger Spring |
| 784-204-G1 | Crystal Holder Assembly |
| 784-404-P1 | Retaining Ring |
| 784-300-P1 | Crystal Holder |
| 784-405-P1 | Holder Finger Spring |
| 750-174-P2 | Female coax |
| 080-011-P3 | SCREW 0-80 x .125 LG SLOT PAN HD SS GP |
| 080-013 | #0-80 Split washer |
| 784-206-G1 | Easy Rate Sensor Actuator Assembly |
| 784-203-G1 | Easy Rate Right Angle Dual Sensor Head |
| 784-306-P1 | Easy Rate Sensor Actuator Clamp |
| 084-054S | Split Washer #4 Stainless Steel Spare |
| 084-027 | Socket Screw |
| 784-307-P1 | Easy Rate Dual Sensor Shutter |
| 783-500-023 | In-vacuum cable, 25.4 cm (10 in.) |
| 783-500-024 | In-vacuum cable, 76.2 cm (30 in.) |
ダウンロード
データシート
