センサー＆フィードスルー
Easy Rate Sensor Feedthroughs
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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INFICONは、多様な水晶振動子モニタ（QCM）センサフィードスルーを提供しており、Easy Rate Sensorに対応します。CF40 (2.75インチConFlat®)および 2.54 cm (1インチ)ボルトスタイルフィードスルーは、電気接続、水冷、空気チューブの多様な組み合わせで利用できます。
Easy Rate Sensorsに特に合わせて設計されたINFICONのフィードスルーは、標準のチューブフィッティングにも取り付けることができます。ユーザがカスタマイズした長さのセンサを容易に取り付けることができます。
記載のない限り、通常のフィードスルーの電気接続は大気側の同軸BNCコネクタと真空側のMicrodot®コネクタから構成されます。真空内ケーブルとともに使用するためのこのタイプの電気接続は、Easy Rate Sensorとともに、または追加として注文できます。
注：標準チューブフィッティング付きのフィードスルーには、外径4.8 mm (3/16インチ)の水および空気チューブが備わっています。
注：標準チューブフィッティングのないフィードスルーには、外径4.8 mm (3/16インチ)の空気チューブと、外径4.8 mm (3/16インチ)の水チューブ用のパススルーが備わっています。
下の表は、センサタイプに基づいてフィードスルーの要件と部品番号を示したクイックリファレンスです。
機能
- 2.54 cm (1 in.) bolt or CF40 (2.75 in. ConFlat®) styles available
- Available with bored-through tube fittings
