センサー＆フィードスルー

Easy Rate Single Sensor

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Easy Rateシングルセンサは、コストを最小限に抑えながら、生産性を最大化できます。これらのセンサは、センサ寿命を長く、メンテナンスを少なくすることにより可用性を最大化します。初期投資と総所有コストも最小なので、生産コストも最小限に抑えられます。現場で簡単に交換できる部品を使用している、信頼性の高いセンサです。

膜厚監視の最もコスト効率のよいソリューションを提供する、 INFICON Easy Rateシングルセンサは、標準と直角向きのものが利用可能です。また、標準チューブフィッティング付き、またはフィッティング無しのフィードスルーを含めるように構成できます。

注：Easy Rateシングルセンサは外径4.8 mm (3/16 in.) の水冷却チューブを使用します。 Ultra-Torr装備フィードスルーとは互換性がありません。外径 4.8 mm (3/16インチ)水冷却チューブで標準フィードスルーに溶接するためにチュービングアダプターが必要です。

機能

Minimum investment with lowest upfront cost
Lowest total cost of ownership from extended sensor life
Maximum throughput with less maintenance
Easy installation
Available in standard and right angle configurations
Optional shutter available
Sensor / Feedthrough combinations available with or without bored-through tube fittings

仕様

最小水流での最大動作等温環境温度	400° C

振動子交換	Front loading; self-contained package for ease of exchange

Water Tubes	S-304, 4.76 mm (0.188 in) OD x 0.51 mm (0.020 in.) wall thickness seamless stainless steel tubing

Feedthrough Specifications-1 in. Bolt
材料	304 stainless steel, Teflon^®, ceramic, beryllium nickel, VITON^®
温度	Operational environment to 300° C with water cooling or 165° C without
マウンティング	1.015 in. ±0.010 in. diameter aperture

仕様の詳細はこちらからダウンロードできます。

アクセサリー

消耗品

スペアパーツ

Name	Description
Easy Rate Sensor Feedthroughs	Easy Rate Sensor Feedthroughs

Name	Description
Quartz Monitor Crystals	Quartz Monitor Crystals

Part Number	Description
784-205-G1	Crystal Retainer Assembly
784-204-G1	Crystal Holder Assembly
784-403-P1	Crystal Finger Spring
784-404-P1	Retaining Ring
784-300-P1	Crystal Holder
784-405-P1	Holder Finger Spring
750-174-P2	Female coax
080-011-P3	SCREW 0-80 x .125 LG SLOT PAN HD SS GP
080-013	#0-80 Split washer
784-209-G1	Shutter Kit, Single (Unassembled Parts)
784-305-P1	Easy Rate Single Sensor Shutter
784-206-G1	Easy Rate Sensor Actuator Assembly
784-306-P1	Easy Rate Sensor Actuator Clamp
084-054S	Split Washer #4 Stainless Steel Spare
084-027	Socket Screw
783-500-023	In-vacuum cable, 25.4 cm (10 in.)
783-500-024	In-vacuum cable, 76.2 cm (30 in.)