コントローラ

Guardian™ EIES ントローラー

8種類までの材料を同時に蒸着

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CIGS薄膜に理想的

Guardianは蒸着率を0.1から10,000 Å/sまでコントロールすることができます。1基または2基のセンサの操作、光入力x8まで、および蒸着ソースx8のコントロールを行い、最高8種類までの材料の同時蒸着を可能にします。

INFICON Guardianは光電池モジュール、OLED、光電池、超電導薄膜、およびMBEの製造といった利用分野に理想的です。

Guardian同時蒸着システムは、電子衝突放出スペクトロスコピー(EIES)をベースにしています。蒸着されている材料は熱電子放出によって励起される結果として、光子が生成されます。発生した光は光学フィルターから、通過する波長の発光強度を測る光電子倍増管（PMT）に通されます。次にINFICON Guardianコントローラは材料のソースをコントロールするための信号を発生させます。複数の材料に対応させる場合には、追加のディテクタを適切な光学フィルタとともに使用します。

完全なGuardianシステムは、少なくとも1基のセンサ、1基のPMTディテクタ、光学フィルタ、Guardianコントローラユニット、GuardianソフトウェアをインストールしたPC (ユーザ側で用意) から構成されます。EIESは全般的に複数の材料の蒸着をコントロールするのに使われるので、ほとんどのEIESシステムは追加のセンサ、ディテクタ、ビームスプリッターなどの光学部品、および校正またはいくつかの材料の蒸着率をコントロールするためのQCMを含みます。典型的なシステムの詳細については、下の[Downloads]タブで入手できる、『Guardian Configuration Guide』を参照してください。

Guardian同時蒸着システムを構成する際には、次の点について考慮してください。

蒸着材料の主要な放射波長と二次的な放射波長は?

異なる原材料のピークがかなり近い場合には、より信号強度が低い第二の波長を監視する必要があります。

蒸着プロセスにおいて、真空チャンバにはどのような背景ガスが存在しているか、またそれらのガスの放射波長は?

背景ガスからの放射が蒸着材料の放射と干渉する場合には、ガス補償センサの使用をお勧めします。

EIESは、原子種のスペクトル構成が他のスペクトルとはっきり異なっている場合に、最も効果的です。不安定または広帯域の発光スペクトルを発生する分子種は正確に測れません。EIESは有機材料には不適切です。これらと他の要素は、各特定作業につき最善のEIESシステム構成を確定します。

機能

8種類までの材料の蒸着を監視およびコントロール
蒸着速度0.1～10,000Å/秒
EIESとQCM薄膜プロセスコントロールを統合
リレー出力12とデジタル入力12
セットアップと操作はWindowsベースのソフトウェアで行える
INFICON Sentinel^®センサーと互換

仕様

動作圧力	<5x10^-4 Torr

温度	450° C maximum during operation and/or bakeout

コントロール出力	Eight source control outputs, 0 to ±10 VDC programmable

ユーザーが用意するコンピューター:	Any PC with Windows^® Vista/XP/2000/7/8/10 operating system, and Ethernet or RS-232 interface

品番

Part Number	Description
782-900-031	Guardian Controller for one sensor (standard or gas compensating)
782-900-050	Guardian Controller for two sensors (standard or gas compensating)

アクセサリー

Spare Parts

Part Number	Description
EIES Sensors
016-600-G22	Guardian Standard Single Sensor and Feedthrough Assembly, 22 in. (539 mm), CF40 Flange
016-601-G22	Guardian Gas Compensating Sensor and Feedthrough Assembly, 22 in. (539 mm), CF40 Flange
Beam Splitters	Fiber Optic Beam Splitters split the beam of light from the sensor to allow measurement of multiple materials per EIES sensor.
782-900-034	Guardian Fiber Optic Beam Splitter (1:3) - 400 mm length
782-900-034-x-yyy	Guardian Fiber Optic Beam Spliter (1:x) - yyy mm length
Filament Cables	Connects the EIES sensor to the Guardian controller
600-1406-P10	Guardian Single Filament cable, 10 ft. (3 m) - For standard EIES sensor
600-1406-P40	Guardian Single Filament cable, 40 ft. (12 m) - For standard EIES sensor
600-1407-P10	Guardian Dual Filament cable, 10 ft. (3m) - For gas compensating EIES sensor
600-1407-P40	Guardian Dual Filament cable, 40 ft. (12 m) - For gas compensating EIES sensor
PMT Detector
782-900-030	Guardian PMT Detector
PMT Detector Cables	Connects the PMT Detector to the Guardian controller
782-505-065	Guardian Detector cable 10 ft. (3 m)
782-505-065-40	Guardian Detector cable, 40 ft. (12 m)
Optical Filters	Select the wavelength appropriate for your material
782-900-035-202	Optical filter - 202nm, BP10nm (Zn)
782-900-035-241	Optical Filter - 241nm, BP10nm (Co, Au)
782-900-035-252	Optical Filter - 252nm, BP10nm, (Si)
782-900-035-265	Optical Filter - 265nm, BP10nm, (Ge, Pt, Ta, Ir)
782-900-035-267	Optical Filter, 267 nm, Guardian
782-900-035-294	Optical Filter 294nm, BP2nm, (Hf) (Ga [when using a gas compensating sensor])
782-900-035-304	Optical Filter 304nm, BP2nm (Ba, In [when using a gas compensation sensor])
782-900-035-325	Optical Filter - 325nm, BP10nm (Cu, Cd)
782-900-035-358	Optical Filter - 358nm, BP10nm, (Nb, U, Cr)
782-900-035-364	Optical Filter - 364nm, BP10nm (Ti, Pb)
782-900-035-396	Optical Filter - 396nm, BP10nm, (Al)
782-900-035-417	Optical Filter - 417nm, BP2nm, (Ga)
782-900-035-451	Optical Filter - 451nm, BP5nm, (In)

Part Number	Description
016-201-G1	Emitter assembly for all 016-400-Gx sensors used in 016-600-Gxx and -601-Gxx
782-900-038	Guardian Photomultiplier Tube Replacement
016-509-G22	Guardian Sensor EIES In-vacuum Cable, 22 in. (559 mm), other lengths available
782-530-015	Guardian Sensor Filament Replacement (for discontinued 782-900-029 and -052 sensors)