コントローラ

IC6

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IC6薄膜蒸着コントローラーは、INFICONの薄膜コントローラーの証明された性能と、蒸着プロセスから最大限の成果を得るためにデザインされたユニークな機能を組み合わせることで、非常に優れた価値を提供します。IC6は当社のModeLock周波数計測システムを使って、業界をリードする1/10秒ごとに0.00433Å/sの速度分解能で、安定した高分解能の速度と膜厚計測を提供します。IC6の性能、品質、機能を備えた他の水晶振動子コントローラはなく、卓越した再現性を実現することができます。

特徴

INFICONのModeLock技術は、非常に低いレートでも、最も安定した、最も高い解像度のレートと厚みの計測を可能にします
自動Zは、材料が蒸着されるときに自動的にZ比率を決定することによって、厚みの正確さを向上させる
最大6つのソースを同時にコード化することが可能
カラーTFT LCDディスプレイにより、プロセスの状況を容易に確認可能
100msのサンプルで+/-0.0035 Hzを実現
スクリーンショット、レシピ保存、データロギング用のUSBデータストレージ
強力なI/Oにより、シンプルなシステムにも複雑なシステムにも柔軟に対応（拡張可能な入力（28）と出力（24リレー、14TTL出力）、および論理関数（100論理文）の使用）。
6つのDAC出力を標準装備、ソースコントロール、レート、膜厚モニター用に6つの出力をオプションで追加可能
200層×50プロセス、最大10,000層までプロセス連結可能
最大8個のセンサーを使用した複数センサーのアベレージングが可能
4mのXIUオプションにより、大型システム用の長い真空内センサケーブルを使用可能
オプションのEthernet通信
オプションのIC6 Configuration Editor Software (パーツ番号 781-620-G1) - LabVIEW® ベースのWindows® ソフトウェア。
IC5設定ファイルをIC6フォーマットに変換します。
RoHS対応

標準的なアプリケーション

ハイエンド光学コーティング

仕様

測定性能
厚さおよび速度分解能/測定（1）	±0.00433 Å
測定頻度範囲	6.0 to 4.5 MHz (fixed)

プロセス処方・データ管理
材料プログラム	32
プロセスレイヤー (プロセスごと)	200
プロセス	50（プロセス連動可能）

ソース数 (2)	最大6

(1) 工具密度＝100/1、基本周波数＝6MHz (2) IC6 は標準で 6 つの DAC 出力を持ち、オプションでさらに 6 つ追加することが可能です。このうち12点はソースコントロール電圧またはレコーダー出力として構成できますが、同時に制御できるソース数は6点です。

品番

アクセサリー

消耗品

名前	商品説明
Front Load Single Sensor	Front Load Single Sensor
Front Load Dual Sensor	Front Load Dual Sensor
Cool Drawer Single Sensor	Cool Drawer Single Sensor
Cool Drawer Dual Sensor	Cool Drawer Dual Sensor
Easy Rate Single Sensor	Easy Rate Single Sensor
Easy Rate Dual Sensor	Easy Rate Dual Sensor
UHV Bakeable Sensor	UHV Bakeable Sensor
ALD Sensor	ALD Sensor
Sputtering Sensor	Sputtering Sensor
CrystalSix® Sensor	CrystalSix® Sensor
Crystal 12® Sensor	Crystal 12® Sensor
Accessories and Replacement Parts
品番	商品説明
779-220-G1	CrystalTwo® Switch, 15.2 cm (6 in.) BNC Cables
779-220-G2	CrystalTwo® Switch, 50.8 cm (20 in.) BNC Cables
Oscillator kits	(Includes oscillator and cables)
781-611-G15	XIU PKG with 4.6 m (15 ft.) cable - For use with Cygnus 2, IC6, or XTC/3
781-611-G30	XIU PKG with 9.1 m (30 ft.) cable - For use with Cygnus 2, IC6, or XTC/3
781-611-G50	XIU PKG with 15.2 m (50 ft.) cable - For use with Cygnus 2, IC6, or XTC/3
781-611-G100	XIU PKG with 30.5 m (100 ft.) cable - For use with Cygnus 2, IC6, or XTC/3
781-612-G15	4m XIU PKG with 4.6 m (15 ft.) XIU cable - Includes 4 m in-vacuum cable and 6 in. BNC (XIU to feedthrough) cable - For use with Cygnus 2, IC6, or XTC/3
781-612-G30	4m XIU PKG with 9.1 m (30 ft.) XIU cable - Includes 4 m in-vacuum cable and 6 in. BNC (XIU to feedthrough) cable - For use with Cygnus 2, IC6, or XTC/3
781-612-G50	4 m XIU PKG with 15.2 m (50 ft.) XIU cable - Includes 4 m in-vacuum cable and 6 in. BNC (XIU to feedthrough) cable - For use with Cygnus 2, IC6, or XTC/3
781-612-G100	4m XIU with 30.5 m (100 ft.) XIU cable - Includes 4 m in-vacuum cable and 6 in. BNC (XIU to feedthrough) cable - For use with Cygnus 2, IC6, or XTC/3
781-613-G15	4m XIU PKG with 4.6 m (15 ft.) XIU cable - Includes 3.5 m in-vacuum cable and 20 in. BNC (XIU to feedthrough) cable - For use with Cygnus 2, IC6, or XTC/3
781-613-G30	4m XIU PKG with 9.1 m (30 ft.) XIU cable - Includes 3.5 m in-vacuum cable and 20 in. BNC (XIU to feedthough) cable - For use with Cygnus 2, IC6, or XTC/3
781-613-G50	4m XIU PKG with 15.2 m (50 ft.) XIU cable - Includes 3.5 m in-vacuum cable and 20 in. BNC (XIU to feedthrough) cable - For use with Cygnus 2, IC6, or XTC/3
781-613-G100	4m XIU PKG with 30.5 m (100 ft.) XIU cable - Includes 3.5 m in-vacuum cable and 20 in. BNC (XIU to feedthrough) cable - For use with Cygnus 2, IC6, or XTC/3
Oscillator Only	(No cables included)
781-600-G1	XIU (oscillator) - For XIU to sensor head cable lengths of 15 to 183 cm (6 to 72 in.) - For use with Cygnus 2, IC6, or XTC/3
781-600-G2	XIU (oscillator) - for XIU to sensor head cable lengths of 3 to 4 m (118 to 157 in.) - For use with Cygnus 2 or IC6
Cables
600-1261-P100	30.5 (100 ft.) cable, Cygnus 2, IC6 or XTC/3 controller to XIU
600-1261-P15	4.6 m (15 ft.) cable, Cgynus 2, IC6 or XTC/3 controller to XIU
600-1261-P30	9.1 m (30 ft.) cable, Cygnus 2, IC6 or XTC/3 controller to XIU
600-1261-P50	15.2 m (50 ft.) cable, Cygnus 2, IC6 or XTC/3 controller to XIU
755-257-G6	15.2 cm (6 in.) BNC cable, XIU to vacuum feedthrough
Configuration Editor Software
781-620-G1	IC6 Configuration Editor Software - LabVIEW® based Windows® software that allows for offline creation and editing of IC6 configuration files and converts IC/5 configuration files to IC6 format.