モニタ
IMM-100
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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高精度な速度・厚みモニタリングで利益を確保し、成長させる
IMM-100は、最高の膜厚精度、最高の測定分解能、最低のレートノイズで再現性と均一性を最大化するためにModeLock技術で構築された蒸着モニターです。
発振器を内蔵したIMM-100は、最小限のハードウェアとフットプリントで、EtherCATシステムに
簡単に組み込むことができます。このパワフルで高精度な測定モニターは、あなたのプロセスに新しいレベルの性能をもたらすに違いありません。
特徴
- INFICONのModeLock技術は最長の振動子寿命を提供し、非常に低いレートでも、最も安定した、最も高い解像度のレートと膜厚計測が可能なようにします
- 可能な限り最高のQCM膜厚計測で歩留まりを最大化
- コストを最小限に抑えるため、不必要な機能を追加しないシングルチャンネルレートと膜厚モニター
- 100 msのサンプルで±0.0035 Hzを実現
- EtherCAT通信によるシームレスな統合
- コンパクトなサイズにより、ツールのスペースを節約し、統合コストを最小化
- 専門家によるアプリケーションサポートで、独自のアプリケーションのニーズを話し合い、競合他社よりも優れたサポートを実現
- RoHS対応"
標準的なアプリケーション
- 有機ELアプリケーション
仕様
| センサー入力 | 1 |
| 測定頻度範囲 | 6.0〜4.5MHz(固定) |
| レートと厚みの分解能 | 0.0042 Å (新結晶); 0.0076 Å (Crystal @ 4.5 MHz)、100 ms サンプル、材料密度 = 1.0, Z-Ratio=1.0。 |
| 通信タイプ | EtherCAT、RJ45ジャック×2、データデイジーチェーンに対応。スイッチによる明示的なデバイスID |
品番
アクセサリー
消耗品
| 品番 | 商品説明 |
| 785-600-G1 | IMM-100 Thin Film Deposition Monitor |
| 品番 | 商品説明 |
| Optional Power Supplies | The power supplies listed below are rated for an input of 100 to 249 V (ac), 2 A, 50 to 60 Hz with an output of 24V (dc), 3.34 A, 80 W maximum. |
| 961-021-G1 | Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2m) US plug |
| 961-021-G2 | Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) US plug w/ 15 ft (4.5m) Extension Cable |
| 961-021-G3 | Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) US plug w/ 30 ft (9m) Extension Cable |
| 961-021-G4 | Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V plug |
| 961-021-G5 | Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V plug w/ 15 ft (4.5m) Extension Cable |
| 961-021-G6 | Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V plug w/ 30 ft (9m) Extension Cable |
| 961-021-G7 | Power Supply Kit IL 240V |
| 961-021-G8 | Power Supply Kit IL 4.5 M Extension |
| 961-021-G9 | Power Supply Kit IL 9.0 M Extension |
| 961-021-G10 | Power Supply Kit UK 240V |
| 961-021-G11 | Power Supply Kit UK 4.5 M Extension |
| 961-021-G12 | Power Supply Kit UK 9.0 M Extension |
| Optional Mounting Bracket | |
| 785-202-G1 | Mounting bracket with four clean room compatible shock absorbing, female-to-female, stainless steel mounting feet |
| 785-201-G1 | Mounting bracket with four shock absorbing, male-to-female, black Neoprene rubber mounting feet |
| Optional Communications Cable | |
| 600-1190-P1 | ETHERNET COMUNICATION CABLE 1 METER |
| 600-1190-P2 | SPEC- ETHERNET COMMUNICATION CABLE .3M |
| 600-1190-P4 | ETHERNET COMUNICATION CABLES 4.3 METER |
| 600-1190-P8 | Ethernet 7m cable |
| 600-1190-P15 | Ethernet 15m cable |
| 名前 | 商品説明 |
| Quartz Monitor Crystals | Quartz Monitor Crystals |
本製品は以下のマーケットで使用されています。
