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IMM-200
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
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Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
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Electrical connection
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高精度な速度・厚みモニタリングで利益を確保し、成長させる
IMM-200は、最高の膜厚精度、最高の測定分解能、最低のレートノイズで再現性と均一性を最大化するためにModeLock技術で構築された蒸着モニターです。
発振器を内蔵したIMM-200は、最小限のハードウェアとフットプリントで、イーサネットシステムに簡単に組み込むことができます。このパワフルで正確な測定モニターは、あなたのプロセスに新しいレベルのパフォーマンスをもたらすことでしょう。
特徴
- INFICONのModeLock技術は最長の振動子寿命を提供し、非常に低いレートでも、最も安定した、最も高い解像度のレートと膜厚計測が可能であることを保証します。
- 可能な限り最高のQCM膜厚計測で歩留まりを最大化
- コストを最小限に抑えるため、不必要な機能を追加していないシングルチャンネルのレートと膜厚モニター
- 100 msのサンプルで±0.0035 Hzを実現
- イーサネット通信によるシームレスな統合
- コンパクトなサイズにより、装置のスペースを節約し、統合コストを最小化
- 専門家によるアプリケーションサポート：独自のアプリケーションニーズについて議論し、競合他社よりも優れたサポートを提供することが可能
- RoHS対応
標準的なアプリケーション
- 半導体製造
- 有機EL応用
仕様
| センサー入力 | 1 |
| 測定頻度範囲 | 6.0〜4.5MHz(固定) |
| レートと厚みの分解能 | 0.0042 Å (新結晶); 0.0076 Å (Crystal @ 4.5 MHz)、100 ms サンプル、材料密度 = 1.0, Z-Ratio=1.0。 |
| 通信タイプ | EtherCAT、RJ45ジャック×2、データデイジーチェーンに対応。スイッチによる明示的なデバイスID |
品番
アクセサリー
消耗品
| 品番 | 商品説明 |
| 785-602-G1 | IMM-200 Thin Film Deposition Monitor |
| 品番 | 商品説明 |
| Optional Power Supplies | The power supplies listed below are rated for an input of 100 to 249 V (ac), 2 A, 50 to 60 Hz with an output of 24V (dc), 3.34 A, 80 W maximum. |
| 961-021-G1 | Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2m) US plug |
| 961-021-G2 | Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) US plug w/ 15 ft (4.5m) Extension Cable |
| 961-021-G3 | Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) US plug w/ 30 ft (9m) Extension Cable |
| 961-021-G4 | Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V plug |
| 961-021-G5 | Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V plug w/ 15 ft (4.5m) Extension Cable |
| 961-021-G6 | Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V plug w/ 30 ft (9m) Extension Cable |
| 961-021-G7 | Power Supply Kit IL 240V |
| 961-021-G8 | Power Supply Kit IL 4.5 M Extension |
| 961-021-G9 | Power Supply Kit IL 9.0 M Extension |
| 961-021-G10 | Power Supply Kit UK 240V |
| 961-021-G11 | Power Supply Kit UK 4.5 M Extension |
| 961-021-G12 | Power Supply Kit UK 9.0 M Extension |
| Optional Mounting Bracket | |
| 785-202-G1 | Mounting bracket with four clean room compatible shock absorbing, female-to-female, stainless steel mounting feet |
| 785-201-G1 | Mounting bracket with four shock absorbing, male-to-female, black Neoprene rubber mounting feet |
| Optional Communications Cable | |
| 600-1190-P1 | ETHERNET COMUNICATION CABLE 1 METER |
| 600-1190-P2 | SPEC- ETHERNET COMMUNICATION CABLE .3M |
| 600-1190-P4 | ETHERNET COMUNICATION CABLES 4.3 METER |
| 600-1190-P8 | Ethernet 7m cable |
| 600-1190-P15 | Ethernet 15m cable |
| 名前 | 商品説明 |
| Quartz Monitor Crystals | Quartz Monitor Crystals |
本製品は以下のマーケットで使用されています。
