1. IMM-200
モニター

IMM-200

優れた製品を繰り返し使えるようにする

IMM-200
ACADEMY

関連製品について無料のウェビナーにご興味ありますか。

ウェビナー参加はこちらから

高精度な速度・厚みモニタリングで利益を確保し、成長させる

IMM-200は、最高の膜厚精度、最高の測定分解能、最低のレートノイズで再現性と均一性を最大化するためにModeLock技術で構築された蒸着モニターです。 

発振器を内蔵したIMM-200は、最小限のハードウェアとフットプリントで、イーサネットシステムに簡単に組み込むことができます。このパワフルで正確な測定モニターは、あなたのプロセスに新しいレベルのパフォーマンスをもたらすことでしょう。

特徴

  • INFICONのModeLock技術は最長の振動子寿命を提供し、非常に低いレートでも、最も安定した、最も高い解像度のレートと膜厚計測が可能であることを保証します。
  • 可能な限り最高のQCM膜厚計測で歩留まりを最大化
  • コストを最小限に抑えるため、不必要な機能を追加していないシングルチャンネルのレートと膜厚モニター
  • 100 msのサンプルで±0.0035 Hzを実現
  • イーサネット通信によるシームレスな統合
  • コンパクトなサイズにより、装置のスペースを節約し、統合コストを最小化
  • 専門家によるアプリケーションサポート：独自のアプリケーションニーズについて議論し、競合他社よりも優れたサポートを提供することが可能
  • RoHS対応

標準的なアプリケーション

  • 半導体製造 
  • 有機EL応用

仕様

センサー入力1
測定頻度範囲6.0〜4.5MHz(固定)
レートと厚みの分解能0.0042 Å (新結晶); 0.0076 Å (Crystal @ 4.5 MHz)、100 ms サンプル、材料密度 = 1.0, Z-Ratio=1.0。
通信タイプEtherCAT、RJ45ジャック×2、データデイジーチェーンに対応。スイッチによる明示的なデバイスID
仕様の詳細はこちらからダウンロードできます。
品番
アクセサリー
消耗品
品番商品説明
785-602-G1IMM-200 Thin Film Deposition Monitor
品番商品説明
Optional Power SuppliesThe power supplies listed below are rated for an input of 100 to 249 V (ac), 2 A, 50 to 60 Hz with an output of 24V (dc), 3.34 A, 80 W maximum.
961-021-G1Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2m) US plug
961-021-G2Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) US plug w/ 15 ft (4.5m) Extension Cable
961-021-G3Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) US plug w/ 30 ft (9m) Extension Cable
961-021-G4Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V plug
961-021-G5Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V plug w/ 15 ft (4.5m) Extension Cable
961-021-G6Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V plug w/ 30 ft (9m) Extension Cable
961-021-G7Power Supply Kit IL 240V
961-021-G8Power Supply Kit IL 4.5 M Extension
961-021-G9Power Supply Kit IL 9.0 M Extension
961-021-G10Power Supply Kit UK 240V
961-021-G11Power Supply Kit UK 4.5 M Extension
961-021-G12Power Supply Kit UK 9.0 M Extension
Optional Mounting Bracket 
785-202-G1Mounting bracket with four clean room compatible shock absorbing, female-to-female, stainless steel mounting feet
785-201-G1Mounting bracket with four shock absorbing, male-to-female, black Neoprene rubber mounting feet
Optional Communications Cable 
600-1190-P1ETHERNET COMUNICATION CABLE 1 METER
600-1190-P2SPEC- ETHERNET COMMUNICATION CABLE .3M
600-1190-P4ETHERNET COMUNICATION CABLES 4.3 METER
600-1190-P8Ethernet 7m cable
600-1190-P15Ethernet 15m cable
名前商品説明
Quartz Monitor CrystalsQuartz Monitor Crystals
本製品は以下のマーケットで使用されています。
Display-Navi
ディスプレイ

INFICONは最先端の技術をサポートし、最高品質のディスプレイ製品を実現します。

詳細はこちら
Semiconductur-IDM-and-Foundry-Navi
半導体IDM＆ファウンドリ

幅広いアプリケーションをサポートするために作られたセンサは、製品の安全性、歩留まりの向上、そして最大の生産性を保証します。

詳細はこちら
ビデオコンテンツの許可が必要です
詳細情報