コントローラ

IQM-233

PCI EXPRESSカードによる低コストの蒸着コントロール

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IQM-233 PCI Expressカードを使えば、PCを薄膜蒸着コントローラーにすることができます。これはINFICONの設計製造による製品で、システムOEMにとっての、または薄膜蒸着コントローラを既存のPCまたはPLCコントロールシステムに組み込む場合の、理想的な選択です。取り付けは簡単で、使用していないPCI Expressスロットに装着するだけです。IQM-233は標準または小型フォームファクタのタワーPCで利用できます。

比類のない機能

IQM-233では、カードごとに、3つのQCMセンサ入力と3つのソース出力があります。1台のPCには2枚までIQM-233カードを取り付けることができるので、（オプションのIQS-233ソフトウェアが必要）、最大6つのセンサ入力と6つのソース出力を扱えます。PCに完全統合されたQCMコントローラでこのレベルの柔軟性を提供しているのは、INFICONだけです。

IQM-233はINFICONの発振器IPN 782-900-010と互換性があるので、SQM-242カードと交換する場合でも新しい発振器は必要ありません。また、INFICONのすべてのシングルおよびデュアルセンサヘッドとも互換性があります。

適切なソフトウェアソリューションを選択する

IQM-233カードには、1枚のIQM-233カードをセットアップし、シンプルなシーケンシャルまたは共蒸着プロセスをコントロールするための、基本的なWindows®ソフトウェアが含まれています。オプションのIQS-233共蒸着Windows®ソフトウェアを使えば、さらに複雑なプロセスのセットアップが可能です。これには、マルチレイヤーの共蒸着、グラフ化、およびイベント選択可能なリレー/入力機能とのPLC統合が含まれています。IQS-233ソフトウェアでは、2枚までのIQM-233カードを使用できます。

IQM-233には、独自のソフトウェアを作成することを希望されるお客様向けに、LabVIEW™サンプルプログラムが含まれています。これは、基本的な機能を提供し、プログラミングテクニックの例を示すためのものです。

機能

PCI Express
3センサー入力、3コントロール出力
複数のカードをPCに取り付け
複数ソースの共蒸着
I/O機能を追加するためのPLC統合が容易
使いやすい
価値ある価格

仕様

PCインターフェース	PCIe x1 - PCE Express Slot (Std or SFF)

センサー入力	3

測定頻度範囲	Adjustable: 4.0 MHz minimum 6.1 MHz maximum

厚さおよび速度分解能/測定（1）	±0.12 Å

ソース出力	3

(1) Tooling/density = 100/1、基本周波数 = 6 MHz、測定間隔 0.25 秒

品番

品番	商品説明
782-IQM-233-G1	IQM-233 QCM controller card for standard PCI Express slot
782-IQM-233-G2	IQM-233 QCM controller card for Small Form Factor (SFF) PCI Express slot
782-IQS-233	IQS-233 Codeposition software

アクセサリー

アクセサリー & スペアパーツ

消耗品

名称	商品説明
Front Load Single Sensor	Front Load Single Sensor
Front Load Dual Sensor	Front Load Dual Sensor
Cool Drawer Single Sensor	Cool Drawer Single Sensor
Cool Drawer Dual Sensor	Cool Drawer Dual Sensor
Easy Rate Single Sensor	Easy Rate Single Sensor
Easy Rate Dual Sensor	Easy Rate Dual Sensor
UHV Bakeable Sensor	UHV Bakeable Sensor
Sputtering Sensor	Sputtering Sensor

品番	商品説明
783-500-109-10	3 m (10 ft.) Oscillator Kit - includes OSC-100 oscillator, 15.2 cm (6 in.) BNC cable, and 3 m (10 ft.) BNC cable
783-500-109-25	7.6 m (25 ft.) Oscillator Kit - includes OSC-100 oscillator, 15.2 cm (6 in.) BNC cable, and 7.6 m (25 ft.) BNC cable
783-500-109-50	15.2 m (50 ft.) Oscillator Kit - includes OSC-100 oscillator, 15.2 cm (6 in.) BNC cable, and 15.2 m (50 ft.) BNC cable
783-500-109-75	22.8 m (75 ft.) Oscillator Kit - includes OSC-100 oscillator, 15.2 cm (6 in.) BNC cable, and 22.8 m (75 ft.) BNC cable
Oscillator Only	(No cables included)
783-500-013-G1	OSC-100 oscillator only (no cables)
Cables
600-1441-P1	SMA to BNC adapter for IQM-233 sensor inputs
782-902-011	15.2 cm (6 in.) BNC cable, male/female
782-902-012-10	3 m (10 ft.) BNC cable, male/male
782-902-012-25	7.6 m (25 ft.) BNC cable, male/male
782-902-012-50	15.2 m (50 ft.) BNC cable, male/male
782-902-012-75	22.8 m (75 ft.) BNC cable, male/male