蒸着モニター

SQM-160

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SQM-160は、実績あるINFICONの水晶振動子センサ技術を使って、薄膜蒸着プロセスにおける蒸着速度と膜厚を計測します。2個のセンサー入力を標準装備し、さらにオプションで4個センサー入力を追加できます。2系統のレコーダ出力で、アナログの速度と膜厚信号を取り出すことができます。

センサ入力は異なる材料に対して割り当てることができ、大規模システムでは蒸着を正確に制御するため平均化されます。またデュアルセンサ用に構成することもできます。速度サンプリングモードでは、シャッター付きのセンサーにより、高速度プロセスでのセンサーの寿命を延ばします。速度表示は 0.1/sまたは 0.01/sを選択できます。さらに、周波数や質量表示も選択することができます。SQM-160は、4個のリレー出力によって、ソースまたはセンサーシャッター、信号時間、膜厚のセットポイント、そして信号振動子の故障を制御します。デジタル入力は、スタート /ストップ、ゼロリセット用の外部入力信号を受け取ります。

機能

標準構成で2つの計測チャンネル、オプションで4つ追加可能
蒸着速度/膜厚のアナログ信号出力
高分解能オプション：毎秒10回読み取りで0.03Hz
RS-232 標準、USB またはイーサーネットオプション

仕様

SQM-160 Standard Resolution

SQM-160 High Resolution

QCMセンサー入力	Standard: 2; optional: 4

測定周波数範囲	Adjustable: 1.0 MHz minimum 6.5 MHz maximum

厚さおよび速度分解能/測定（1）	± 0.37 Å

保存フィルム	99

デジタル入力/出力	Four inputs, four relay outputs

(1) Tooling/density = 100/1、基本周波数 = 6 MHz、測定間隔 0.10 秒

QCMセンサー入力	Standard: 2; optional: 4

測定周波数範囲	Adjustable: 1.0 MHz minimum 6.5 MHz maximum

厚さおよび速度分解能/測定（1）	± 0.037 Å

保存フィルム	99

デジタル入力/出力	Four inputs, four relay outputs

(1) Tooling/density = 100/1、基本周波数 = 6 MHz、測定間隔 0.10 秒

零件编号

sqm160

png • 127,0 KB

アクセサリー

アクセサリー & スペアパーツ

消耗品

Front Load Single Sensor	Front Load Single Sensor
Front Load Dual Sensor	Front Load Dual Sensor
Cool Drawer Single Sensor	Cool Drawer Single Sensor
Cool Drawer Dual Sensor	Cool Drawer Dual Sensor
Easy Rate Single Sensor	Easy Rate Single Sensor
Easy Rate Dual Sensor	Easy Rate Dual Sensor
UHV Bakeable Sensor	UHV Bakeable Sensor
Sputtering Sensor	Sputtering Sensor

Part Number	Description
782-900-014	19 in. Rack Mount Kit for two SQM-160 or CI-100 instruments
782-502-096-G1	USB option card
782-502-097-G1	Ethernet option card
Oscillator kits	(Includes oscillator and cables)
783-500-109-10	3 m (10 ft.) Oscillator Kit - includes OSC-100 oscillator, 15.2 cm (6 in.) BNC cable, and 3 m (10 ft.) BNC cable
783-500-109-25	7.6 m (25 ft.) Oscillator Kit - includes OSC-100 oscillator, 15.2 cm (6 in.) BNC cable, and 7.6 m (25 ft.) BNC cable
783-500-109-50	15.2 m (50 ft.) Oscillator Kit - includes OSC-100 oscillator, 15.2 cm (6 in.) BNC cable, and 15.2 m (50 ft.) BNC cable
783-500-109-75	22.8 m (75 ft.) Oscillator Kit - includes OSC-100 oscillator, 15.2 cm (6 in.) BNC cable, and 22.8 m (75 ft.) BNC cable
Oscillator Only	(No cables included)
783-500-013-G1	OSC-100 oscillator only (no cables)
Cables
782-902-011	15.2 cm (6 in.) BNC cable, male/female
782-902-012-10	3 m (10 ft.) BNC cable, male/male
782-902-012-25	7.6 m (25 ft.) BNC cable, male/male
782-902-012-50	15.2 m (50 ft.) BNC cable, male/male
782-902-012-75	22.8 m (75 ft.) BNC cable, male/male