センサー＆フィードスルー

UHVベーク可能センサー

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INFICONのUHVベーク可能振動子センサーは実証済みの信頼性と耐久性を提供しており、市場のあらゆるセンサーヘッドの中で最高の温度安定性を誇ります。304ステンレススチール、モリブデン、インコネル、ニッケル、アルミ素材で製作されたUHVベーク可能センサは、450° Cまでの連続ベークアウト温度に耐えられるようにデザインされています（ベークアウトのみ、実際の蒸着監視には流水が必要）。前面搭載デザインにより、横からの挿入のスペースが十分でない作業においても、振動子ホルダーの挿入が容易です。

機能

高温ろう付けおよび溶接構造
ベークアウト温度は450° Cまで
振動子シャッター (オプション)
前面搭載振動子ホルダー
取り付けが容易
CF40 フィードスルー
フィードスルーへのろう付けまたは溶接は不要
お客様指定の長さに溶接したセンサー/フィードスルーの組合せを提供

仕様

Bakeable Sensor w/ Shutter

Bakeable Sensor w/out Shutter

最高温度	400° C continuous (for bake only; water flow recommended for actual deposition monitoring)

振動子交換	Front loading, self-contained package for ease of exchange. Cam-type locking handle allows easy removal and good thermal contact. Pneumatically operated shutter flips up for easy crystal exchange.

水、空気および同軸ライン	0.125 in. (3 mm) O.D. water and air x 0.015 in. (0.4 mm) wall thickness seamless 304 stainless steel; 0.188 in. (5 mm) O.D. coax

最高温度	450°C continuous (for bake only; water flow recommended for actual deposition monitoring)

振動子交換	Front loading, self-contained package for ease of exchange. Cam-type locking handle allows easy removal and good thermal contact.

水、空気および同軸ライン	0.125 in. (3 mm) O.D. water x 0.015 in. (0.4 mm) wall thickness seamless 304 stainless steel; 0.188 in. (5 mm) O.D. coax

仕様の詳細はこちらからダウンロードできます。

アクセサリー

消耗品

Part Number	Description
750-420-G1	Solenoid Valve, 24V (for use with shuttered and multi-crystal sensors)

Name	Description
Quartz Monitor Crystals	Quartz Monitor Crystals

スペアパーツ

Part Number	Description
007-007	Retainer spring (for crystal holder)
007-064	Ceramic retainer
007-094	Clamping spring
007-095	Handle
007-098	Female Connector (includes ferrules and nut)
007-099	Bakeable head contact
007-100	Insulator for BNC
007-103	Insulator for bakeable head contact
007-104	BNC Body
007-147	#4-40 X 3/8 screw
007-155	Braze assy - 12 in. (30.5 cm)
007-156	Braze assy - 20 in (50.8 cm)
007-157	Braze assy - 30 in. (76.2 cm)
007-228	#4-40 X 5/8 screw
007-267-P2	Spreader bar
007-268-P1	Shoulder washer
007-269-P1	Shoulder washer
008-007	CRYSTAL SNATCHER
059-0084	VCR gasket
070-201	#4 Split lockwasher
084-069-P1	#4-40 x 3/16 screw
750-018-P3	Split clamp
750-018-P5	Split clamp
750-022-G5	Bellows assembly - 12 in. (30.5 cm)
750-022-G6	Bellows assembly - 20 in. (50.8 cm)
750-022-G7	Bellows assembly - 30 in. (76.2 cm)
750-028-G5	Braze assy with air line - 12 in. (30.5 cm)
750-028-G6	Braze assy with air line - 20 in. (50.8 cm)
750-028-G7	Braze assy with air line - 30 in. (76.2 cm)
750-115-P4	Coupling (installs onto bellows assembly)
750-118-P4	Actuator support
750-120-G3	Shaft assembly
750-216-G1	Shutter assembly (part of shutter module)
750-218-G1	Cyrstal holder