コントローラ

XTC/3

シングルまたはマルチレイヤー用の高度で低価格のコントロール

ACADEMY

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シングルまたはマルチレイヤープロセス用薄膜蒸着コントローラにおいて必要なすべての機能を入手できます。特許取得済みのModeLock機能を含むXTC/3 は、実証されたモードホップ防止により安定した品質を実現します。XTC/3薄膜蒸着コントローラは、高精度な蒸着速度と膜厚のコントロール、実質的に無制限のないレイヤー枚数、簡単な取り付け、非常に高い信頼性を実現しており、生産性を高めます。

薄膜蒸着コントロールの世界的なリーダーであるINFICONは、前例のない高い価値を、注目に値する低所有コストでお届けします。

コントロールの目的が生産であれ研究開発であれ、INFICON XTC/3はお客様の用途に適合できる製品です。

世界的なINFICONのサポート

世界のどの地域であっても、お客様に迅速な応答と懇切丁寧なサービスを提供し、最高の稼働率を実現することができます。世界中に支店を持つINFICONは、世界中で地元でのサービスと技術サポートを提供できる、唯一の薄膜蒸着コントローラーメーカーです。

機能

シングルレイヤー対応モデルとマルチレイヤー対応モデルが利用可能
特許取得のModeLock技術が、モードホッッピングに由来する膜厚誤差を防止
INFICONのCrystal 12^®、Crystal Six^®、およびデュアルセンサー自動振動子スイッチをサポートし生産力を最大化
XTC/3Mマルチレイヤーモデルは、99までのプロセス、999までのレイヤー、32枚までのフィルム、2基までのセンサーと2種類までのソースをサポートします
XTC/3Sのシングルレイヤーモデルは9枚までのフィルム、2基までのセンサー、2種類までのソースをサポート
見やすいTFT LCDグラフィックディスプレイ
フィルムとプロセスには、固有の、内容を表す名前を割り当てることができ、簡単に取り出せる
イーサーネット接続可能
スタンドアロン動作 (コンピュータ不要) が可能。オプションとしてPCから操作するためのWindows^®ソフトウェア
INFICON XTC/2コントローラーをプラグ＆プレイ方式で置き換え可能 (XTC/2の機能とコマンドセットに限定されます)

標準的なアプリケーション

ハイエンドのオプティカルコーティング

仕様

XTC3/S

XTC3/M

測定頻度範囲	6.0 to 5.0 MHz (fixed)

膜厚・蒸着レートの分解能/測定値 (1)	±0.034 Å

センサー入力数	2

ソース出力数	2

(1) Tooling/density = 100/1、基本周波数 = 6 MHz

測定頻度範囲	6.0 to 5.0 MHz (fixed)

膜厚・蒸着レートの分解能/測定値 (1)	±0.034 Å

センサー入力数	2

ソース出力数	2

(1) Tooling/density = 100/1、基本周波数 = 6 MHz

品番

XTC3 Part Number

pdf • 1,8 MB

アクセサリー

アクセサリー & スペアパーツ

消耗品

Name	Description
Front Load Single Sensor	Front Load Single Sensor
Front Load Dual Sensor	Front Load Dual Sensor
Cool Drawer Single Sensor	Cool Drawer Single Sensor
Cool Drawer Dual Sensor	Cool Drawer Dual Sensor
Easy Rate Single Sensor	Easy Rate Single Sensor
Easy Rate Dual Sensor	Easy Rate Dual Sensor
ALD Sensor	UHV Bakeable Sensor
UHV Bakeable Sensor	Sputtering Sensor
Sputtering Sensor	CrystalSix® Sensor
CrystalSix® Sensor	Crystal 12® Sensor
Crystal 12® Sensor	RSH-600 Rotary Sensor

Part Number	Description
755-262-G1	Handheld Power Controller (for manual power control)
780-702-G1	One unit rack mount kit - Provides all required materials to mount one XTC/3 unit in a standard 19 in. rack
780-702-G2	Two unit rack mount kit - Provides all required materials to mount two XTC/3 units side by side in a standard 19 in. rack
780-032-G1	Editor Software, XTC/3
779-220-G1	CrystalTwo® Switch, 15.2 cm (6 in.) BNC Cables
779-220-G2	CrystalTwo® Switch, 50.8 cm (20 in.) BNC Cables
Oscillator kits	(Includes oscillator and cables)
780-611-G15	XIU PKG with 15 ft. (4.6 m) cable - Fore use with XTC/3
780-611-G30	XIU PKG with 30 ft. (9.1 m) cable - For use with XTC/3
780-611-G50	XIU PKG with 50 ft. (15.2 m) cable - For use with XTC/3
780-611-G100	XIU PKG with 100 ft. (30.5 m) cable - For use with XTC/3
780-612-G15	4m XIU PKG with 15 ft. (4.6 m) XIU cable - Includes 4 m in-vacuum cable and 6 in. BNC (XIU to feedthrough) cable - For use with XTC/3
780-612-G30	4m XIU PKG with 30 ft. (9.1 m) XIU cable - Includes 4 m in-vacuum cable and 6 in. BNC (XIU to feedthrough) cable - For use with XTC/3
780-612-G50	4m XIU PKG with 50 ft. (15.2 m) XIU cable - Includes 4 m in-vacuum cable and 6 in. BNC (XIU to feedthrough) cable - For use with XTC/3
780-612-G100	4m XIU PKG with 100 ft. (30.5 m) XIU cable - Includes 4 m in-vacuum cable and 6 in. BNC (XIU to feedthrough) cable - For use with XTC/3
780-613-G15	4m XIU PKG with 15 ft. (4.6 m) XIU cable - Includes 3.5 m in-vacuum cable and 20 in. BNC (XIU to feedthrough) cable - For use with XTC/3
780-613-G30	4m XIU PKG with 30 ft. (9.1 m) XIU cable - Includes 3.5 m in-vacuum cable and 20 in. BNC (XIU to feedthrough) cable - For use with XTC/3
780-613-G50	4m XIU PKG with 50 ft. (15.2 m) XIU cable - Includes 3.5 m in-vacuum cable and 20 in. BNC (XIU to feedthrough) cable - For use with XTC/3
780-613-G100	4m XIU PKG with 100 ft. (30.5 m) XIU cable - Includes 3.5 m in-vacuum cable and 20 in. BNC (XIU to feedthrough) cable - For use with XTC/3
Oscillator Only	(No cables included)
780-600-G1	XTC/3 XIU (oscillator) - For XIU to sensor head cable lengths of 6 in. to 72 in. (15 cm to 183 cm)
780-600-G2	XTC/3 XIU (oscillator) - For XIU to sensor head cable lengths of 118 in. to 157 in. (3 m to 4 m)
Cables
755-257-G6	15.2 cm (6 in.) BNC cable, XIU to vacuum feedthrough
600-1261-P15	4.6 m (15 ft.) cable, Cgynus 2, IC6 or XTC/3 controller to XIU
600-1261-P30	9.1 m (30 ft.) cable, Cygnus 2, IC6 or XTC/3 controller to XIU
600-1261-P50	15.2 m (50 ft.) cable, Cygnus 2, IC6 or XTC/3 controller to XIU
600-1261-P100	30.5 (100 ft.) cable, Cygnus 2, IC6 or XTC/3 controller to XIU