Zevision® IMC300
最高品質のリピータビリティとクリスタルの優れた効率性を
実現する精密コントロール
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
インフィコン IMC300はZevision膜厚計シリーズの1種であり、最新の光学薄膜形成装置に適し、特許取得済みの新技術を備えた次世代の膜厚計コントローラです。
モードロック測定システム
Zevision IMC300ではインフィコンの特許取得技術ModeLock™測定システムが使用されています。このシステムは、膜厚精度と測定分解能が向上すると共に、レートノイズが低下することで優れた膜厚の再現性と均一性を実現します。 また非Modelock™品と比較した際にModeLock™測定システムではクリスタルの使用可能寿命を延ばし、稼働時間と処理量を最大化する事が期待されます。
スムーズなシステム統合
インフィコン Zevision IMC300は下位互換性、およびロジック機能を持ち、1台のコントローラで多元同時蒸着が可能となります。これらの機能により、スムーズなシステム統合を実現します。Zevision IMC300にはタッチスクリーン式フロントパネルが備えられており、メニュー操作が分かりやすく、直観的なレシピ作成ができます。すべてのコマンドと応答にASCII印字可能文字のみを使用することで非常に簡単にソフトウェアを作成することができます。また新しいシリアル通信プロトコルには、マニュアルを参照することなく、利用可能なコマンドを確認できるヘルプコマンドが存在します。
増設およびアフターケアプラン
ファームウェアの更新およびハードウェアの増設は今ではすべて、実装しやすいオプションカードと、フロントパネルにあるUSBポート経由のファームウェア更新により、現地で行うことができます。
オプションのI/O基板と2センサー2ソース測定用基板も、追加ツールを使うことなく現地で実装できます。
インフィコン Zevision IMC300は何十年も使用できるように作られていますが、オプションのアフターケアプラン期間内は修理が無料のため、安心していただけます。
インフィコン Zevision IMC300の修理が必要になった場合に備えて、標準の2年保証をさらに2年または4年延長するアフターケアプラン（オプション）をご用意しております。IMC300のアフターケアプランに加入している場合、装置の寿命期間中にアフターケアが必要になった時は代替機を貸し出しいたします。
メリット
- ModeLock測定システムの使用によって膜厚精度が良くなり、測定分解能が高くなり、レートノイズが低くなることで、再現性と均一性が極めて良くなります。
- ModeLock機能により、クリスタル消耗品コストを下げながら可能なラン数を最大化します。（クリスタルの最長使用可能寿命）
- 後方互換性およびロジック処理、1つのコントローラで1プロセス中に多元同時蒸着が可能なオプション機能により、統合コストを最小限に抑え、統合スピードを最大限高速化します。
- 専門家による世界規模のアプリケーションサポートを通じて、開発リスクを最小化し、システム性能を最適化します。
仕様
| 測定 | |
| 水晶振動子の周波数範囲 | 6.0 to 4.5 MHz |
| 周波数分解能 | ±0.00656 Hz @ 6 MHz |
| 周波数精度 | ±2.5 ppm 0 to 50°C |
| 測定率 | 10 Hz |
| 厚みとレート分解能 | ±0.008 Å and ±0.08 Å/s |
| 厚み精度 | 0.5% |
| レート精度 | 0.1% |
スペアパーツ
| 品番 | 説明 |
| 051-1509S | Power Supply AC Input Spare |
| 051-1510S | Fuse Drawer Spare |
| 062-0128S | Fuse Spare |
| 786-021-G1S | Hardware Spare Kit |
| 786-210-G1S | Front Panel Assembly IMC300 Spare |
| 786-211-G1S | Chassis Weld Assembly Spare |
| 786-303-P1S | Bottom Cover Spare |
| 786-304-P1S | Top Cover Spare |
| 786-310-P1S | Card Guide Top Spare |
| 786-311-P1S | Partition Spare |
| 786-350-P1S | Controller Card Faceplate Spare |
| 786-351-P1S | Faceplate Blank Spare |
品番
