センサー＆フィードスルー
スパッタリングセンサー
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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INFICONのスパッタリングセンサはあらゆるスパッタリングプロセスで使用できるように特別に設計されています。センサー本体と冷却チューブは金メッキのベリリウム銅で、スパッタリング環境において最高の冷却効果を発揮します。センサーヘッドに組み込まれた磁石が、スパッタリングシステムで発生する高エネルギーの自由電子を外部磁場でそらせることにより、過熱を防ぎます。後方搭載の振動子ホルダー設計により、システムからセンサーヘッドを取り外さなくても、振動子の交換を簡単に行えます。
機能
- 金メッキされたベリリウム銅センサー本体と冷却チューブが冷却効果を最大化
- 磁石により自由電子をモニター振動子からそらす
- 水チューブは曲げられて取り付けが簡単、センサー交換も柔軟に行える
- 振動子挿入は背面から行うので、取り替えが簡単
仕様
| 水なしでの最高ベークアウト温度 | 105°C |
| 最小水流での最大動作等温環境温度 | 400° C |
| 振動子交換 | Rear-loading |
| 磁石 | ALNICO 5 Alloy |
品番
| Part Number | Description |
| 750-618-G1 | Sputtering Sensor (sensor only, feedthrough not included) |
アクセサリー
消耗品
スペアパーツ
| Name | Description |
| QCM Sensor Feedthroughs | QCM Sensor Feedthroughs
|
| Sputtering Sensor | |
| Part Number | Description |
| 750-420-G1 | Solenoid Valve, 24V (for use with shuttered and multi-crystal sensors) |
| Name | Description |
|---|---|
| Quartz Monitor Crystals | Quartz Monitor Crystals |
| Sputtering Sensor | |
| Part Number | Description |
| 007-023 | Ceramic Retainer |
| 007-049 | Crystal Holder, Sputtering Sensor |
| 007-007 | Retainer spring (for crystal holder) |
| 007-047 | Sputtering head cover with water lines |
| 007-009 | Magnet for sputtering head cover |
| 070-0440 | Retaining ring (installs onto shaft of shutter assembly) |
| 070-0442 | Retaining ring (installs onto shaft of shutter assembly) |
| 070-0441 | Spacer (installs onto shaft of shutter assembly) |
| 082-044 | Teflon screw (for leaf spring) |
| 082-029-P1 | 2-56 x 1/8 in. set screw for 750-619-G1 sputtering head body |
| 750-009-P2 | Pivot cover (installs onto shaft of shutter assembly) |
| 750-046-G2 | Shutter assembly for pneumatic shutter assembly |
| 750-048-P1 | Retainer spring for 007-048 and 751-619-G1 sputtering head bodies |
| 750-115-P4 | Coupling (installs onto bellows assembly) |
| 750-169-P4 | Bellows assembly for pneumatic shutter assembly |
| 750-174-P2 | Female coax |
| 750-175-P1 | Insulator (underneath leaf spring) |
| 008-007 | CRYSTAL SNATCHER |
| 750-188-P3 | Leaf Spring |
| 750-619-G1 | Sputtering head body with coax connector |
| 750-626-P1 | Spring for sputtering head cover
|
| In-vacuum cables | |
| 321-039-G12 | In-vacuum cable, 15.2 cm (6 in.) |
| 007-252 | In-vacuum cable, 30.5 cm (12 in.) |
| 321-039-G11 | In-vacuum cable, 61.0 cm (24 in.) |
| 007-044 | In-vacuum cable, 78.1 cm (30.75 in.) |
| 007-059 | In-vacuum cable, 91.4 cm (36 in.) |
| 007-061 | In-vacuum cable, 121.9 cm (48 in.) - Requires ModeLock controller |
| 321-039-G13 | In-Vacuum Cable, 154.2 cm (60 in.) - Requires ModeLock controller |
| 321-039-G14 | In-vacuum cable, 182.9 cm (72 in.) - Requires ModeLock controller |
| 321-039-G15 | In-vacuum cable, 3.5 m (137.8 in.) - Requires ModeLock controller and 4 m XIU |
| 321-039-G16 | In-vacuum cable, 4 m (157.5 in.) - Requires ModeLock controller and 4 m XIU |
