センサー＆フィードスルー
前面搭載デュアルセンサー
ACADEMY
関連製品について無料のウェビナーにご興味ありますか。
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Request
Your configuration has been successfully sent!
INFICONの前面搭載型デュアル振動子センサは、実証済みの信頼性と耐久性を提供しており、市場のあらゆるセンサヘッドの中で最高の温度安定性を誇ります。デュアルセンサは振動子のバックアップを提供します。これは真空チャンバ内に2個目の振動子があることが望ましい、重要なプロセスには不可欠です。
前面搭載デザインにより、横からの挿入のスペースが十分でない用途においても、振動子ホルダの挿入が容易です。ハンダ付けではなく機械的に組み立てられているため、必要なら現場で容易に部品を交換することができます。センサーは単品で注文するか、溶接または圧力継手によって組み立てられたセンサー/フィードスルーの組合せとして注文できます。
機能
- デュアル振動子
- 振動子シャッター
- 前面搭載振動子ホルダー
- 取り付けが容易
- 2.54 cm (1インチ)ボルトフィードスルーおよびCF40フィードスルーとともに利用可能
- 圧力継手と一緒に注文すれば長さの調整が可能
- 圧力継手または溶接で組み合わせたフィードスルーと共に注文すればろう付けが不要
- お客様指定の長さに溶接済みのセンサー/フィードスルーの組合せあり
仕様
| 最小水流での最大動作等温環境温度 | 400 ° C |
| 振動子交換 | Front-loading, self-contained package for ease of exchange. Shutter flips up to ease access to the holders. |
| 水チューブ | S-304, 0.125 in. (3.175 mm) OD x 0.015 in. (0.381 mm) Wall thickness seamless stainless steel tubing |
| フィードスルー仕様1インチボルトとUltra-Torr (圧力継手) 端末部: | |
| 材料 | 304 stainless steel, Teflon, ceramic, beryllium nickel, VITON® |
| 温度 | Operational environment to 300ºC with water cooling or 165° C without |
| マウンティング | 1.015 in. ±0.010 in. diameter aperture |
アクセサリー
消耗品
| Name | Description |
| QCM Sensor Feedthroughs | QCM Sensor Feedthroughs |
| Name | Description |
| Quartz Monitor Crystals | Quartz Monitor Crystals |
スペアパーツ
| Part Number | Description |
| 007-007 | Retainer spring (for crystal holder) |
| 007-023 | Ceramic Retainer |
| 080-018 | Set screw (for female coax) |
| 082-044 | Teflon screw (for leaf spring) |
| 750-115-P4 | Coupling (installs onto bellows assembly) |
| 750-169-P2 | Bellows assembly (coupling not included) |
| 750-171-P1 | Finger spring contact |
| 750-172-G1 | Crystal holder (includes retainer spring) |
| 750-174-P2 | Female coax |
| 750-175-P1 | Insulator (underneath leaf spring) |
| 008-007 | CRYSTAL SNATCHER |
| 750-188-P3 | Leaf Spring |
| 750-210-G1 | Shutter module (bellows assembly, shaft assembly, and shutter assembly) |
| 750-215-G1 | Shaft assembly (part of shutter module) |
| 750-216-G1 | Shutter assembly (part of shutter module) |
| In-vacuum cables | |
| 321-039-G12 | In-vacuum cable, 15.2 cm (6 in.) |
| 007-252 | In-vacuum cable, 30.5 cm (12 in.) |
| 321-039-G11 | In-vacuum cable, 61.0 cm (24 in.) |
| 007-044 | In-vacuum cable, 78.1 cm (30.75 in.) |
| 007-059 | In-vacuum cable, 91.4 cm (36 in.) |
| 007-061 | In-vacuum cable, 121.9 cm (48 in.) - Requires ModeLock controller |
| 321-039-G13 | In-Vacuum Cable, 154.2 cm (60 in.) - Requires ModeLock controller |
| 321-039-G14 | In-vacuum cable, 182.9 cm (72 in.) - Requires ModeLock controller |
| 321-039-G15 | In-vacuum cable, 3.5 m (137.8 in.) - Requires ModeLock controller and 4 m XIU |
| 321-039-G16 | In-vacuum cable, 4 m (157.5 in.) - Requires ModeLock controller and 4 m XIU |
ダウンロード
取扱説明書
