モニター
前駆体モニタリング用SemiQCM™ CRセンサー
優れたプロセスを繰返し可能にする
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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高精度な膜厚レートモニターで半導体プロセスの収益性の向上に貢献します
SemiQCM™ CRセンサは化学的に不活性なセンサであり、最も過酷なCVDまたはALDチャンバに設置することが可能です。SemiQCM CRはプリカーサモニタリングシステムの1つで、他のコンポーネントはIMM-200とFabGuard（バージョン19.12.00-aまたはそれ以上）です。
SEMIプロセスモニタリングは半導体アプリケーションにおいて、フォアラインやチャンバー排気中のプリカーサーの量をモニタリングすることにより、エンドポイントの検出や故障の除去に使用することができます。in situ QCMを使用することで、安価にプロセスモニタリングを実現し、半導体プロセスの収益性を向上させることができます。
プリカーサをウェハに供給できない不具合は、限りなく無駄なウェハを出すことなく検出することが可能です。
特徴
- 10HzでモニターされるQCMデータ
- FabGuardはQCMデータをツール状態とプロセスステップに相関させます。
- デポジションまたはエッチ速度の精密な測定
- サブモノレイヤー厚さ測定のための感度と精度
利点
- リアルタイム、in situプロセスモニタリング
- オーバーエッチングの防止、チャンバークリーニングエンドポイントの特定
- 装置またはプロセス状態の不具合の特定
標準的なアプリケーション
- 半導体製造
仕様
| 最高温度 | 200°C |
| センサーヘッドサイズ（最大外形） | 15 mm O.D. x 39.2 mm (0.59 in. O.D. x 1.54 in.) |
| 素材 | |
| SemiQCM CR本体とホルダー | 6061アルミニウム |
| SemiQCM CRスプリング | ベリリウムニッケル |
| SemiQCM CRナットと導体チューブ | インコネル625 |
| SemiQCM CR その他の機構部品 | ニッケル200、アルミニウム、またはインコネル625 |
| 絶縁体 | 真空中で>99%Al2O3: Teflon®を他の場所で使用。 |
| ワイヤー | 1.Ni（真空中） 2. NiメッキCu（その他） 3. |
消耗品
| 品番 | 商品説明 |
| 750-7053-G1S | 8 mm CR Crystal Holder Assembly with Alloy Crystal Installed |
| 750-7053-G2S | 8 mm CR Crystal Holder Assembly with Alumina Crystal Installed |
| 750-7053-G3S | 8 mm CR Crystal Holder Assembly with Yttria Crystal Installed |
| 750-7055-G1S | Crystal Holder, Finger Spring, and Retainer Spring Spare Assembly |
| 750-1089-G10 | SENSOR CRYSALS, 6 MHZ, ALLOY, 8 mm, 10 crystals |
| 750-1127-G5 | SENSOR CRYSTALS, 6 MHz, ALUMINA, 8 mm, 5 crystals |
| 750-1128-G5 | SENSOR CRYSALS, 6 MHZ, YTTRIA, 8 mm, 5 crystals |
スペアパーツ
| 品番 | 商品説明 |
| 750-7055-G1S | Crystal Holder, Finger Spring, and Retainer Spring Spare Assembly |
本製品は以下のマーケットで使用されています。
