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前駆体モニター用SemiQCM™ SRセンサー

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高精度な速度・厚みモニタリングで利益を確保し、成長させる

高精度なレートと膜厚のモニタリングで利益を保護し成長させる
SemiQCM™ SRセンサはプリカーサモニタリングシステムの1つで、他のコンポーネントはIMM-200とFabGuard（バージョン19.12.00-aまたはそれ以上）です。

セミプロセスモニタリングは半導体アプリケーションにおいて、フォアラインやチャンバー排気
中の前駆体量をモニタリングすることでエンドポイント検出や故障除去に使用することができます。in situ QCMを使用することで、安価にプロセスモニタリングを実現し、半導体プロセスの収益性を向上させることができます。

プリカーサをウェハに供給できない不具合は、わずか1枚のウェハで検出することが可能です。

特徴

10HzでモニターされるQCMデータ
FabGuardはQCMデータをツール状態とプロセスステップに相関させます。
蒸着またはエッチ速度の精密な測定
サブモノレイヤー厚さ測定のための感度と精度

利点

リアルタイム、in situプロセスモニタリング
オーバーエッチングの防止、チャンバークリーニングエンドポイントの特定
装置またはプロセス状態の不具合の特定

標準的なアプリケーション

半导体制造

仕様

最高温度	200°C

センサーヘッドサイズ（最大外形）	23.87 mm O.D. x 29.19 mm (0.94 in. O.D. x 1.15 in.)

素材
本体・ホルダー	304ステンレス鋼
スプリングス	金メッキBeCu
同軸線	外径5mm ステンレス製
その他機械部品	18-8または304ステンレス鋼、Hastelloy® c276
絶縁体	真空中で>99%Al2O3: Teflon®を他の場所で使用。
ワイヤー	1.Ni（真空中） 2. NiメッキCu（その他） 3.
ブレイズ	真空プロセス高温用NiCr合金
クリスタル	直径13.97mm（0.550インチ）。

仕様の詳細はこちらからダウンロードできます。

品番

消耗品

スペアパーツ

品番	商品説明
750-7000-G5	SEMI QCM SENSOR ASSY 50MM
750-7000-G6	Semi QCM Sensor Assy 60mm
750-7000-G7	Semi QCM Sensor Assy 70mm
750-7000-G8	Semi QCM Sensor Assy 80mm
750-7000-G9	Semi QCM Sensor Assy 90mm
750-7000-G10	Semi QCM Sensor Assy 100mm
750-7000-G11	Semi QCM Sensor Assy 110mm
750-7000-G12	Semi QCM Sensor Assy 120mm
750-7000-G13	Semi QCM Sensor Assy 130mm
750-7000-G14	Semi QCM Sensor Assy 140mm
750-7000-G15	Semi QCM Sensor Assy 150mm