水晶モニター水晶

水晶モニター振動子

INFICON の振動子は正確さと信頼度を100%テストされています

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Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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水晶振動子をお試しください

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振動子の質と寿命は蒸着速度や膜厚計測の正確性だけでなく、コントロールプロセスを上手く完成させることにも影響します。INFICONの水晶振動子には証明済みの品質と、幅広い原材料、作業、工場において何百万回とプロセスを成功させてきた信頼の実績があります。

当社の6MHz振動子はINFICONコントローラとモニターすべての機種にお使えいただけます。当社の5MHz振動子は他社製を含む5MHz機器のみに使えまえ、いくつかのINFICONの機器と互換性がありません。6MHzと5MHZの振動子は、ゴールド、シルバーまたは合金の電極を揃え、ニーズに応じてさまざまな種類のセットをご用意します。

NFICONのクリーンルーム水晶振動子パッケージは、パッケージから振動子を直接、小分けにすることが可能で、作業者の手間と汚染リスクを最小化します。振動子パッケージをさらにクリーンルーム用に適応させ、紙やフォームの梱包材を排除し、簡単にパッケージを積み上げ保管できるようにしました。

高頻度で振動子を使用する顧客向けの50個入りの新しいパックもございますのでお問い合わせください!

機能

  • 5および6 MHz
  • 金、銀(高温ロードでのプロセス用)、そしてストレス減のアルミ合金(誘電材料と半導体プロセスでのオプティカルコーティング用)
  • 3つの便利なパッケージオプション: クリーンルーム適応ディスペンサー、フラットパックディスペンサーとコンパクトボックス
  • あなた仕様のサイズと周波数に製造されるカスタマイズ振動子
品番
品番
INFICON クリスタル 
6 MHz INFICON水晶振動子直径0.550インチ(14mm)、10個入りパッケージ
008-010-G106 MHz Gold, クリーンルーム対応ディスペンサー入り
008-009-G106 MHz Silver, クリーンルーム対応ディスペンサー入り
750-679-G16 MHz Alloy, クリーンルーム対応ディスペンサー入り
750-1000-G106 MHz Gold, フラットパック・カルーセル・ディスペンサー入り
750-1001-G106 MHz Silver, フラットパック・カルーセル・ディスペンサー入り
750-1002-G106 MHz Alloy, フラットパック・カルーセル・ディスペンサー入り
SPC-1093-G106 MHz Gold, コンパクトボックス入り
750-1014-G106 MHz Silver, コンパクトボックス入り
750-1015-G106 MHz Alloy, コンパクトボックス入り
SPC-1157-G106 MHz Gold, THERMAL SHOCK, クリーンルーム対応ディスペンサー入り
SPC-1194-G106 MHz Gold, THERMAL SHOCK, フラットパックカルーセルディスペンサー入り
5 MHz INFICON水晶振動子直径0.550インチ(14mm)、10個入りパッケージ
750-225-G25 MHz Gold, クリーンルーム対応ディスペンサー入り
750-226-G25 MHz Silver, クリーンルーム対応ディスペンサー入り
750-678-G15 MHz Alloy, クリーンルーム対応ディスペンサー入り
750-1005-G105 MHz Gold, フラットパック型カルーセルディスペンサー入り
750-1006-G105 MHz Silver, フラットパック・カルーセル・ディスペンサー入り
750-1007-G105 MHz Alloy, フラットパック・カルーセル・ディスペンサー入り
750-1016-G105 MHz Gold, コンパクトボックス入り
750-1017-G105 MHz Silver, シルバー、コンパクトボックス入り
750-1018-G105 MHz Alloy, コンパクトボックス入り
6MHz 水晶振動子直径0.550インチ(14mm)、10個入りパッケージ
  
マックステッククリスタルズ 
0.550 in. (14 mm) 直径ほとんどのセンサーに対応(INFICON、Maxtek、Sigma、Sycon、など)
103200-26 MHz水晶、ゴールド、5個入りボックス
1032045 MHzクリスタル、ゴールド、5個入りボックス
1032206 MHzクリスタル、ゴールド、カルーセル(10個入り
1032216 MHz 結晶、銀、10個入りカルーセル
1032406 MHz 結晶、合金、10個入りカルーセル
1032225 MHzクリスタル、ゴールド、10個入りカルーセル
1032235 MHz水晶振動子、銀、10個入りカルーセル
0.550 in. (14mm)径-バルツァーBalzersセンサーと互換性がある
1032075 MHz、銀、Balzersパターン、5個入りボックス
1032245 MHz水晶、Gold、Balzersパターン、10個入りカルーセル
0.490 in. (12.5mm) 直径UlvacおよびSloanセンサーと互換性がある
1862015 MHz 0.490 in. 水晶、金、10個入りカルーセル
1862005 MHz 12.5 mm (0.490 in.) クリスタル、シルバー、10個入りカルーセル
  
フィルテッククリスタルズ 
 6MHz センサークリスタル 14mm (0.550 in.)
QI8008NP6MHz ストレスリリーフアロイ パターンなし 10枚組   
QI8009      6MHz AG 10枚組  
QI8010  6MHz AU 10枚組
QI8010NP 6MHz AU 無パターン 10枚組
QI80126MHz 長寿命ゴールド 10枚組 
QI80086MHz 応力緩和合金 10枚組 
QI8008F 6MHz 特殊周波数ストレスリリーフ合金 10枚組ディスク 
QXT8008   6MHz 合金極限温度 10枚組
QXT8010 6MHz AU極低温用 10枚組   
  
 5MHz センサー水晶振動子 直径14mm(0.550インチ
QB104A 5MHz合金 10枚組 
QB104ANP   5MHz 合金無パターン 10枚組 
QB104G  5MHz AU 10ディスク
QB104S 5MHz AG 10ディスク 
  
 5MHz センサー水晶振動子 直径12.4mm(0.490インチ
QS3952 5MHz AUスローン 10枚組     
QS3952GL5MHz 長寿命ゴールド10/ディスク 
QS3954   5MHz Alloy Sloan 10/ディスク
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