水晶モニター水晶
水晶モニター振動子
INFICON の振動子は正確さと信頼度を100%テストされています
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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振動子の質と寿命は蒸着速度や膜厚計測の正確性だけでなく、コントロールプロセスを上手く完成させることにも影響します。INFICONの水晶振動子には証明済みの品質と、幅広い原材料、作業、工場において何百万回とプロセスを成功させてきた信頼の実績があります。
当社の6MHz振動子はINFICONコントローラとモニターすべての機種にお使えいただけます。当社の5MHz振動子は他社製を含む5MHz機器のみに使えまえ、いくつかのINFICONの機器と互換性がありません。6MHzと5MHZの振動子は、ゴールド、シルバーまたは合金の電極を揃え、ニーズに応じてさまざまな種類のセットをご用意します。
NFICONのクリーンルーム水晶振動子パッケージは、パッケージから振動子を直接、小分けにすることが可能で、作業者の手間と汚染リスクを最小化します。振動子パッケージをさらにクリーンルーム用に適応させ、紙やフォームの梱包材を排除し、簡単にパッケージを積み上げ保管できるようにしました。
高頻度で振動子を使用する顧客向けの50個入りの新しいパックもございますのでお問い合わせください!
機能
- 5および6 MHz
- 金、銀(高温ロードでのプロセス用)、そしてストレス減のアルミ合金(誘電材料と半導体プロセスでのオプティカルコーティング用)
- 3つの便利なパッケージオプション: クリーンルーム適応ディスペンサー、フラットパックディスペンサーとコンパクトボックス
- あなた仕様のサイズと周波数に製造されるカスタマイズ振動子
品番
品番
INFICON クリスタル | |
6 MHz INFICON水晶振動子 | 直径0.550インチ(14mm)、10個入りパッケージ |
008-010-G10 | 6 MHz Gold, クリーンルーム対応ディスペンサー入り |
008-009-G10 | 6 MHz Silver, クリーンルーム対応ディスペンサー入り |
750-679-G1 | 6 MHz Alloy, クリーンルーム対応ディスペンサー入り |
750-1000-G10 | 6 MHz Gold, フラットパック・カルーセル・ディスペンサー入り |
750-1001-G10 | 6 MHz Silver, フラットパック・カルーセル・ディスペンサー入り |
750-1002-G10 | 6 MHz Alloy, フラットパック・カルーセル・ディスペンサー入り |
SPC-1093-G10 | 6 MHz Gold, コンパクトボックス入り |
750-1014-G10 | 6 MHz Silver, コンパクトボックス入り |
750-1015-G10 | 6 MHz Alloy, コンパクトボックス入り |
SPC-1157-G10 | 6 MHz Gold, THERMAL SHOCK, クリーンルーム対応ディスペンサー入り |
SPC-1194-G10 | 6 MHz Gold, THERMAL SHOCK, フラットパックカルーセルディスペンサー入り |
5 MHz INFICON水晶振動子 | 直径0.550インチ(14mm)、10個入りパッケージ |
750-225-G2 | 5 MHz Gold, クリーンルーム対応ディスペンサー入り |
750-226-G2 | 5 MHz Silver, クリーンルーム対応ディスペンサー入り |
750-678-G1 | 5 MHz Alloy, クリーンルーム対応ディスペンサー入り |
750-1005-G10 | 5 MHz Gold, フラットパック型カルーセルディスペンサー入り |
750-1006-G10 | 5 MHz Silver, フラットパック・カルーセル・ディスペンサー入り |
750-1007-G10 | 5 MHz Alloy, フラットパック・カルーセル・ディスペンサー入り |
750-1016-G10 | 5 MHz Gold, コンパクトボックス入り |
750-1017-G10 | 5 MHz Silver, シルバー、コンパクトボックス入り |
750-1018-G10 | 5 MHz Alloy, コンパクトボックス入り |
6MHz 水晶振動子 | 直径0.550インチ(14mm)、10個入りパッケージ |
マックステッククリスタルズ | |
0.550 in. (14 mm) 直径 | ほとんどのセンサーに対応(INFICON、Maxtek、Sigma、Sycon、など) |
103200-2 | 6 MHz水晶、ゴールド、5個入りボックス |
103204 | 5 MHzクリスタル、ゴールド、5個入りボックス |
103220 | 6 MHzクリスタル、ゴールド、カルーセル(10個入り |
103221 | 6 MHz 結晶、銀、10個入りカルーセル |
103240 | 6 MHz 結晶、合金、10個入りカルーセル |
103222 | 5 MHzクリスタル、ゴールド、10個入りカルーセル |
103223 | 5 MHz水晶振動子、銀、10個入りカルーセル |
0.550 in. (14mm)径-バルツァー | Balzersセンサーと互換性がある |
103207 | 5 MHz、銀、Balzersパターン、5個入りボックス |
103224 | 5 MHz水晶、Gold、Balzersパターン、10個入りカルーセル |
0.490 in. (12.5mm) 直径 | UlvacおよびSloanセンサーと互換性がある |
186201 | 5 MHz 0.490 in. 水晶、金、10個入りカルーセル |
186200 | 5 MHz 12.5 mm (0.490 in.) クリスタル、シルバー、10個入りカルーセル |
フィルテッククリスタルズ | |
6MHz センサークリスタル 14mm (0.550 in.) | |
QI8008NP | 6MHz ストレスリリーフアロイ パターンなし 10枚組 |
QI8009 | 6MHz AG 10枚組 |
QI8010 | 6MHz AU 10枚組 |
QI8010NP | 6MHz AU 無パターン 10枚組 |
QI8012 | 6MHz 長寿命ゴールド 10枚組 |
QI8008 | 6MHz 応力緩和合金 10枚組 |
QI8008F | 6MHz 特殊周波数ストレスリリーフ合金 10枚組ディスク |
QXT8008 | 6MHz 合金極限温度 10枚組 |
QXT8010 | 6MHz AU極低温用 10枚組 |
5MHz センサー水晶振動子 直径14mm(0.550インチ | |
QB104A | 5MHz合金 10枚組 |
QB104ANP | 5MHz 合金無パターン 10枚組 |
QB104G | 5MHz AU 10ディスク |
QB104S | 5MHz AG 10ディスク |
5MHz センサー水晶振動子 直径12.4mm(0.490インチ | |
QS3952 | 5MHz AUスローン 10枚組 |
QS3952GL | 5MHz 長寿命ゴールド10/ディスク |
QS3954 | 5MHz Alloy Sloan 10/ディスク |
ダウンロード
パンフレット
その他
Temperature Coefficient of Maxtek Monitor Crystals
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31,9 KB
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英語版
What Exactly is a Quartz Crystal
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689,1 KB
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英語版
Care and Handling of Quartz Crystals
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556,4 KB
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英語版
Effect of Electrode Material on Quartz Crystal Performance
pdf
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582,3 KB
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英語版
High Precision Sensor Crystal Line Technical Note
pdf
•
4,7 MB
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英語版
How a Thin Film Monitor Measures Thickness
pdf
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550,5 KB
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英語版
Maxtek Crystal Replacement
pdf
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45,6 KB
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英語版
Mg Sensitive OLED Crystal Application Note
pdf
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1,7 MB
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英語版