가스 분석

질량 분석법

트랜스펙터 APX 다중 압력

다압 ALD/CVD 및 식각을 위한 고급 공정 전문가

트랜스펙터 APX 다중 압력

가혹한 공정 환경에서 수명이 연장되도록 코팅된 부품
다중 압력 샘플링 입구
10ppb 미만의 검출 한계
업계 최고의 펌핑 속도

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질량분석기

Transpector® APX ALD 단일 압력

단일 압력 ALD/CVD 및 에칭을 위한 고급 공정 전문가

Transpector® APX ALD 단일 압력

가혹한 화학 물질에서 수명을 연장하기 위해 코팅된 부품
고온 단일 압력 주입구
10ppb 미만의 검출 한계
업계 최고의 펌핑 속도

질량분석기

Transpector® XPR 3+

Extreme PVD 공정 모니터링 사중극자 질량분석기

TRANSPECTOR® XPR 3+ 잔류 가스 분석기

업계 최고의 최대 작동 압력
선택적 과압 차단 밸브 인터록
최대 100amu 스캔

질량분석기

Transpector® MPH

고성능 사중극자 질량분석기

TRANSPECTOR® MPH 잔류 가스 분석기

90년 다이내믹 레인지
업계 최고의 데이터 수집 속도
교환 가능한 센서 및 전자 장치
최대 300amu 스캔

질량분석기

Transpector® MPS

다목적 사중극자 질량분석기

Transpector® MPS

90년 다이내믹 레인지
교환 가능한 센서 및 전자 장치
선택적 연속 다이노드 전자 증배기
최대 200amu 스캔

질량분석기

Transpector® CPM 3

기준선에서 프로세스 압력까지 다양한 프로세스 모니터링

TRANSPECTOR® CPM 3 컴팩트 프로세스 모니터

이상적인 반도체 프로세스 모니터
다중 압력 샘플링 입구
1ppm 미만의 검출 한계
통합 차동 펌핑

질량분석기

Transpector® SPS

목표 압력 범위에서 프로세스 모니터링

TRANSPECTOR® SPS 잔류 가스 분석기

표적 고압 프로세스
단일 압력 샘플링 입구
1ppm 미만의 검출 한계
통합 차동 펌핑 시스템

질량분석기

QMG 700

QMG 700 Analytical Mass Spectrometer는 검출 장벽을 허물고 다음 단계의 혁신으로 프로세스를 추진합니다.

QMG 700

1-512 amu의 질량 범위 옵션
9 디케이드 이상의 동적 범위
매우 빠른 측정 속도: 0.125 ms/amu
MDPP < 10E-16 mbar

광학 가스 분석기

Augent® OPG550

INFICON Augent^® 광학 플라즈마 게이지는 진공 모니터링을 위한 소형 지능형 솔루션입니다.

Augen® OPG550

고속 누설 감지로 챔버 누설 테스트 가능
생산성 및 수율 증가
긴 수명, 필라멘트 연소 없음, 빠른 공기 유입 방지
공정 화학물질에 대한 내구성

광학 가스 분석기

Quantus® HP100

최첨단 반도체 제조 공정 및 기타 가스 분석 애플리케이션을 위한 실시간 누출 감지, 엔드포인트 감지 및 공정 모니터링을 제공합니다.

Quantus® HP100

1 토르에서 최대 450 토르까지 작동 범위
1ppm 미만의 우수한 검출 한계
장기적인 신뢰성: 펌프 불필요
KF25 연결을 사용한 간편한 설치

광학 가스 분석기

Quantus® LP100

중요한 프로세스 환경에 대한 실시간 누출 감지 및 끝점 감지 제공

INFICON QUANTUS® LP100 가스 분석기

10 mTorr ~ 1 Torr의 작동 범위
낮은 ppm 수준까지 뛰어난 검출 한계
장기적인 신뢰성: 펌프가 필요하지 않음
표준 KF25 연결을 사용한 손쉬운 설치

연소 분석기

FLUE-Mate®

연소 효율 최적화

FLUE-Mate®

효율, O₂, CO₂, CO 및 연도 가스 온도 측정값을 모두 한 화면에 표시합니다.
읽기 쉬운 백라이트 디스플레이
내장 압력계 및 호스 키트로 시스템 압력 모니터링
FLUE-Mate 모바일 앱을 사용하여 빠른 분석 보고서를 위한 QR 코드

가스 크로마토그래프

Micro GC Fusion® Gas Analyzer

Micro GC Fusion 기술은 신속한 온도 램핑과 모듈식 아키텍처를 통해 상당한 처리량 향상을 제공합니다

Micro GC Fusion 가스 분석기

분석 시간 최소화
가용성 극대화
라이센스 필요 없는 액세스
손쉬운 연결성

가스 크로마토그래프

Micro GC Fusion® External Sample Conditioner

시료 온도를 50°C(122°F) 이상으로 유지하면서 감압 기능을 모두 제공합니다.

Micro GC Fusion® External Sample Conditioner

Micro GC Fusion에 쉽게 부착
측면 도어가 있어 필터 교체가 용이
퀵 커넥트 피팅을 사용하여 샘플링이 용이합니다.
현장 샘플링을 위해 현장으로 가져갈 수 있음

가스 크로마토그래프

Micro GC Fusion® 사용자 인터페이스

Micro GC Fusion은 기존 소프트웨어에 비해 몇 가지 새로운 이점을 제공하는 웹 기반 사용자 인터페이스를 활용합니다. 각 기기에는 라이선스가 필요 없는 소프트웨어가 내장되어 있으므로 설치할 필요가 없습니다.

Micro GC Fusion® 사용자 인터페이스

운영 체제 독립적
라이선스 프리
모든 악기와 함께 제작
설치 불필요

질량분석기

Mobile Cart for Transpector® CPM

Transpector CPM이 모바일 문제 해결 도구가 되도록 허용

Mobile Cart for Transpector® CPM

필요한 곳에서 Transpector CPM을 얻을 수 있을 만큼 유연합니다.
좁은 공간에 맞는 작은 설치 공간
Transpector CPM을 실행하는 데 필요한 모든 것을 수용할 수 있는 완전한 시스템