핫 이온 게이지
Trigon™ BAG552
중간~초고진공 싱글게이지
![BPG552-Trigon BPG552-Trigon](/uploads/media/500x335/04/9174-BPG552-Trigon.png?v=1-0)
ACADEMY
산업 또는 제품 관련 무료 웨비나에 관심이 있으세요?
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Request
Your configuration has been successfully sent!
VacXplor Software
당사의 모듈식 사용자 소프트웨어인 VacXplor는 인피콘 트라이곤 게이지의 사용 경험을 향상시키기 위해 설계되었습니다. VacXplor는 통합 인터페이스, 동적 데이터 시각화 및 고급 사용자 지정 옵션을 제공하며, 설치 시 관리자 권한이 필요하지 않습니다.
![Icon - VacXplor 1 Icon - VacXplor 1](/uploads/media/294x/00/10810-Icon%20-%20VacXplor%201.png?v=2-0)
![Icon - VacXplor 1](/media/10810/download/Icon%20-%20VacXplor%201.png?v=2)
장점
- 넓은 UHV 및 HV 측정 범위를 위한 순수 베이야드-알퍼트 측정 시스템
- 베이야드-알퍼트 시스템용 필라멘트 2개
- 전기 부유 전류를 방지하기 위한 갈바닉 절연 전자 장치
- 에미션 스트림 전환 시 압력 급상승을 방지하는 슬라이딩 에미션 모드
- 탈착식 캘리브레이션 데이터 칩으로 인한 베이크 가능성 확장
- 셋포인트 릴레이
- 사용자 인터페이스가 있는 밝고 큰 OLED 디스플레이(90° 회전 가능)
- 아날로그 출력, RS232C 직렬 인터페이스, EtherCAT®
- VGC50x 컨트롤러 시리즈와 함께 사용 가능
- RoHS 준수
대표적인 어플리케이션
- 반도체 공정에서의 압력 측정
- 산업용 코팅
- 고진공에서 초고진공 범위의 시스템에 대한 일반 진공 측정 및 제어
사양
측정 범위 (공기, O2, CO, N2) | 5 × 10-10 … 2 × 10-2 mbar |
정확도 | |
1 × 10-8 … 2 × 10-2 mbar | ±15 측정값의 |
반복성 | 5% 측정값의, 10-8 … 2 × 10-2 mbar (10분 안정화 후) |
진공에 노출된 재료 | 스테인리스강, 니켈 도금, 하스텔로이, 유리, 이리듐, 산화 이트륨(Y2O3), 니켈, 텅스텐 |
파트 넘버
![BAG552 Ordering Information BAG552 Ordering Information](/uploads/media/660x/02/9692-BAG552%20Ordering%20Information_V01_Neu.png?v=1-0)
![BAG552 Ordering Information](/media/9692/download/BAG552%20Ordering%20Information_V01_Neu.png?v=1)
스페어 파트
파트 넘버 | 설명 |
352-420 | BAG552 스페어 센서 헤드, 25KF |
352-421 | BAG552 스페어 센서 헤드, 40CF |
다운로드
브로셔
3D 파일
Trigon 15DSUB,2SP,OLED,25KF
stp
•
1,8 MB
•
3D 파일
Trigon 15DSUB,2SP,OLED,40CF-R
stp
•
1,9 MB
•
3D 파일
Trigon 15DSUB,2SP,25KF
stp
•
3,4 MB
•
3D 파일
Trigon 15DSUB,2SP,40CF-R
stp
•
3,4 MB
•
3D 파일
Trigon 15DSUB,2SP,OLED,E-CAT,25KF
stp
•
4,5 MB
•
3D 파일
Trigon 15DSUB,2SP,OLED,E-CAT,40CF-R
stp
•
4,7 MB
•
3D 파일
Trigon 15DSUB,2SP,E-CAT,40CF-R
stp
•
6,2 MB
•
3D 파일
Trigon 15DSUB,2SP,E-CAT,25KF
stp
•
6,2 MB
•
3D 파일
제품은 다음 산업에서 사용됩니다