진공 게이지 및 컨트롤러
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![10086-TPG36x 10086-TPG36x](/uploads/media/323x215/06/10086-TPG36x.png?v=2-0)
프로세스 측정 및 데이터 기록을 위한 고급 컨트롤러입니다.
- 파라미터, 센서 또는 일반 설정을 조정하기 위한 사용하기 쉬운 도트 매트릭스 메뉴 인터페이스
- 디바이스 데이터의 원격 판독을 위한 선명하고 밝은 디스플레이
- 셋포인트 시각화 또는 시간 경과에 따른 압력 표시를 위한 막대 그래프
![9174-BPG552-Trigon 9174-BPG552-Trigon](/uploads/media/323x215/04/9174-BPG552-Trigon.png?v=1-0)
중간~초고진공 싱글게이지
- 넓은 UHV 및 HV 측정 범위를 위한 순수 베이야드-알퍼트 측정 시스템
- 베이야드-알퍼트 시스템용 필라멘트 2개
- 전기 부유 전류를 방지하기 위한 갈바닉 절연 전자 장치
- 압력 급상승을 방지하는 슬라이딩 에미션 모드
![9174-BPG552-Trigon 9174-BPG552-Trigon](/uploads/media/323x215/04/9174-BPG552-Trigon.png?v=1-0)
ATM - 초고진공 트리플게이지®
- 매우 넓은 측정 범위, 비용 절감 및 공간 절약을 위한 3 + 1 감지 요소
- 베이야드-알퍼트 시스템용 필라멘트 2개
- 안정적인 로드락 제어를 위한 10 Torr 이상의 가스 유형에 독립적인 압력 측정.
- 차압 측정으로 대기압 변화와 관련된 불확실성 제거
![9174-BPG552-Trigon 9174-BPG552-Trigon](/uploads/media/323x215/04/9174-BPG552-Trigon.png?v=1-0)
ATM - 초고진공 듀얼 게이지
- 넓은 측정 범위, 비용 절감 및 공간 절약을 위한 듀얼 게이지(2개의 감지 요소)
- 베이야드-알퍼트 시스템용 필라멘트 2개
- 필라멘트의 조기 파손을 방지하는 피라니 인터락 보호 기능
- 압력 급상승현상을 방지하는 슬라이딩 에미션 모드
![1114-Pirani-PSG5XX 1114-Pirani-PSG5XX](/uploads/media/323x215/04/1114-Pirani-PSG5XX.png?v=1-0)
INFICON 피라니 표준 게이지인 PSG500, PSG502-S, PSG510-S, PSG512-S에는 시장에서 제공되는 최첨단 디지털 피라니 기술이 적용되어 있습니다.
- 간단한 푸시 버튼 ATM 및 HV 조정
- 공간 절약형의 견고한 디자인
- 알루미늄 하우징
- 모든 방향으로 장착 가능
![1109-Pirani-PSG55X-PCG55X 1109-Pirani-PSG55X-PCG55X](/uploads/media/323x215/09/1109-Pirani-PSG55X-PCG55X.png?v=1-0)
Most advanced digital Pirani technology, compact size and the variety of features.
- Available with Tungsten (PSG550) or Nickel (PSG552) filament or with a fully ceramic coated (PSG554) sensor unit for highly corrosive applications
- Optional display, setpoints and digital interfaces
- Latest EtherCAT protocol Standard ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0
- Easy to exchange plug & play sensor element with on-board calibration data - guarantees high reproducibility and low cost of ownership
![1109-Pirani-PSG55X-PCG55X 1109-Pirani-PSG55X-PCG55X](/uploads/media/323x215/09/1109-Pirani-PSG55X-PCG55X.png?v=1-0)
INFICON 피라니 용량식 격막 진공계(PCG55x)는 INFICON 피라니 기술과 세라믹 용량식 격막 센서의 이점을 단일 제품에 결합하고 있습니다.
- 10 mbar 초과하는 가스 유형 독립적 – 모든 가스 혼합물을 안전하게 환기할 수 있음
- 대기에서의 높은 정확성 및 재현성 – 신뢰할 수 있고 신속한 대기압 탐지를 위해
- 다양한 장착 방향 – 공구 설계에서 자유로운 엔지니어링 제공
- 텅스텐(PCG550) 또는 니켈(PCG552) 필라멘트, 또는 부식성이 강한 적용개소를 위한 완전 세라믹 코팅(PCG554) 센서 장치와 함께 사용 가능
![1126-Gemini-MxG5xx 1126-Gemini-MxG5xx](/uploads/media/323x215/06/1126-Gemini-MxG5xx.png?v=1-0)
INFICON Gemini™ 전환형 마그네트론 진공 게이지는 모든 진공 측정 분야에 적용 가능한 장치입니다(진행 중).
- Long lifetime in harsh environments
- 혹독한 환경에서 긴 수명 유지
- 낮은 누출 자계
- 유지보수 필요 없음 - 교체 가능한 부속품
![1115-MPG40x 1115-MPG40x](/uploads/media/323x215/05/1115-MPG40x.png?v=1-0)
INFICON 전환형 마그네트론 피라니 게이지인 MPG400 및 MPG401은 5 x 10-9 mbar ~ 대기(3.8 x 10-9 Torr ~ 대기)를 측정합니다.
- 조합 게이지 – 전환형 마그네트론 및 Pirani
- 5 x 10-9 mbar ~ 대기의 광범위한 측정 범위
- 단선될 필라멘트 없음
- 뛰어난 점화 특성
![1127-MAG470 1127-MAG470](/uploads/media/323x215/07/1127-MAG470.png?v=1-0)
Inverted Magnetron Vacuum Gauge is for all ultra high vacuum applications, measurement range from 5x10-11 mbar
- Measurement range down to 5x10-11 mbar
- Extended version, sensor bakeout up to 250°C
- Excellent ignition properties
- Easy to clean
![1111-Augent-OPG550 1111-Augent-OPG550](/uploads/media/323x215/01/1111-Augent-OPG550.png?v=1-0)
INFICON Augent® 광학 플라즈마 게이지는 진공 모니터링을 위한 소형 지능형 솔루션입니다.
- 고속 누설 감지로 챔버 누설 테스트 가능
- 생산성 및 수율 증가
- 긴 수명, 필라멘트 연소 없음, 빠른 공기 유입 방지
- 공정 화학물질에 대한 내구성
![1124-Pirani-BAG402-BPG400-BPG402 1124-Pirani-BAG402-BPG400-BPG402](/uploads/media/323x215/04/1124-Pirani-BAG402-BPG400-BPG402.png?v=1-0)
INFICON 단일 베이어드-알퍼트 고온 이온 게이지인 BAG402는 5×10-10 mbar ~ 2.7×10-2 mbar(3.75×10-10 Torr ~ 5×10-2 Torr)의 광범위한 측정 범위를 다룹니다.
- 5×10-10 mbar ~ 2.7×10-2 mbar(3.75×10-10 Torr ~ 5×10-2 Torr)의 측정 범위
- 5%의 10-8 … 10-2 mbar의 공정 압력 범위에서 탁월한 반복성
- 과압을 감지하여 필라멘트가 조기 단선되지 않도록 보호
- 수명이 긴 2개의 산화이트륨 코팅 이리듐 필라멘트
![PBR-260 PBR-260](/uploads/media/323x215/07/8847-PBR-260.png?v=1-0)
ATM - 초고진공 고온 음극 게이지
다른 제조업체의 PBR 260 피라니/베이야드-알퍼트 핫 캐소드 게이지와 드롭인 호환 가능
- 파트너 번호 IGG27000은 PT R27 000과 일치합니다.
- 파트너 번호 IGG27001은 PT R27 001과 일치합니다.
- 파트너 번호 IGG27002는 PT R27 002와 일치합니다.
![1124-Pirani-BAG402-BPG400-BPG402 1124-Pirani-BAG402-BPG400-BPG402](/uploads/media/323x215/04/1124-Pirani-BAG402-BPG400-BPG402.png?v=1-0)
INFICON 베이어드-알퍼트 피라니 조합 게이지인 BPG400은 하나의 작은 장치에서 두 개의 게이지로 작동하여 5×10-10 mbar ~ 대기(3.8×10-10 ~ 대기)를 측정합니다.
- 5×10-10 mbar ~ 대기(3.8×10-10 Torr ~ 대기)의 매우 넓은 측정 범위
- 5%의 10-8 … 10-2 mbar의 공정 압력 범위에서 탁월한 반복성
- Pirani 인터록은 Bayard-Alpert 시스템의 조기 필라멘트 단선 및 고압 작동으로 인한 과도한 오염 방지
- 수명이 긴 산화이트륨 코팅 이리듐 필라멘트
![1124-Pirani-BAG402-BPG400-BPG402 1124-Pirani-BAG402-BPG400-BPG402](/uploads/media/323x215/04/1124-Pirani-BAG402-BPG400-BPG402.png?v=1-0)
INFICON 베이어드-알퍼트 피라니 조합 게이지인 BPG402-S는 하나의 작은 장치에서 5×10-10 ~ 대기(3.8×10-10 Torr ~ 대기)를 측정하며 두 게이지의 기능을 합니다.
- 5×10-10 mbar ~ 대기(3.8×10-10 Torr ~ 대기)의 매우 넓은 측정 범위
- 5%의 10-8 … 10-2 mbar의 공정 압력 범위에서 탁월한 반복성
- Pirani 인터록이 필라멘트의 조기 단선 방지
- 수명이 긴 2개의 산화이트륨 코팅 이리듐 필라멘트
![1143-BCG450 1143-BCG450](/uploads/media/323x215/03/1143-BCG450.png?v=1-0)
INFICON 바야드-알퍼트 피라니 커패시턴스 다이어프램 게이지 BCG450은 컴팩트하고 경제적인 단일 패키지에 세 가지 기술 이점을 결합하여 5 x 10-10 ~ 1,500mbar(3.75 x 10-10 ~ 1,125 Torr)의 공정 및 베이스 압력을 측정합니다.
- BCG450은 비용 및 장비 공간을 줄이고 진공 측정장치 설치 및 설정 복잡성 감소
- 10 Torr 넘는 가스 유형 독립 압력 측정으로 모든 가스 혼합물에 대해 보다 신뢰성 있는 로드록 제어 가능
- Pirani 인터록은 핫 필라멘트의 조기 단선 방지
- 자동 고진공 Pirani 조정으로 작업자 개입 감소
![1110-HPG400 1110-HPG400](/uploads/media/323x215/00/1110-HPG400.png?v=1-0)
INFICON 고압 고온 이온화 피라니 게이지인 HPG400은 2×10-6 mbar부터 대기(1.5×10-6 Torr ~ 대기)까지의 압력을 측정하는 소형의 경제적인 단일 패키지에 고압 고온 이온화 및 피라니 센서를 결합합니다.
- HPG400은 비용 및 장비 공간을 줄이고 진공 시스템 설치 및 설정 복잡성 감소
- 고압 고온 이온 게이지는 향상된 공정 제어를 위해 1×10-5 … 1 mbar의 정확하고 신뢰할 수 있는 압력 측정 제공
- 5×10-2 ~ 1 mbar의 사용자 선택형 고온 이온 배출 활성화
- Pirani 인터록은 핫 필라멘트의 조기 단선 방지
![1135-Pirani-PGE300 1135-Pirani-PGE300](/uploads/media/323x215/05/1135-Pirani-PGE300.png?v=1-0)
INFICON 피라니 게이지 강화 300(PGE300)은 자매 제품 중 크기가 더 큰 PGE500와 같이 시장에서 제공되는 최신 디지털 대류 강화 피라니 기술이 적용되어 있습니다.
- 대기에 가까운 넓은 측정 범위와 높은 정확도를 위해 대류 강화된 Pirani 기술
- 내장 디스플레이, 1개의 셋포인트 및 3개의 선택 가능한 아날로그 출력 신호가 있는 올인원 액티브 게이지
- 밝은 디지털 LED 디스플레이는 보정 및 작동 시 사용자 친화적으로 기능함
- 3개의 옵션 아날로그 출력 신호(사용자 선택 가능)
![1130-Pirani-PGE500-DeviceNet 1130-Pirani-PGE500-DeviceNet](/uploads/media/323x215/00/1130-Pirani-PGE500-DeviceNet.png?v=1-0)
INFICON PGE(Pirani Gauge Enhanced) DeviceNet 버전에는 최신 디지털 대류 강화 피라니 기술이 탑재되어 있습니다.
- 넓은 측정 범위와 대기압 근처에서 더 높은 정확도를 위한 대류 강화 피라니 기술
- 내장형 디스플레이, 2개의 셋포인트 및 디지털 DeviceNet 인터페이스가 있는 올인원 액티브 게이지
- 간단한 설정, 교정 및 작동을 위한 키패드가 있는 밝은 디지털 OLED 디스플레이
- 공장 사전 설정된 디스플레이 단위 또는 키패드를 통해 선택 가능
![1132-Pirani-PGE500 1132-Pirani-PGE500](/uploads/media/323x215/02/1132-Pirani-PGE500.png?v=1-0)
INFICON 피라니 게이지 강화 500(PGE500)은 시장에서 제공되는 최신 디지털 대류 강화 피라니 기술이 적용되어 있습니다.
- 대기에 가까운 넓은 측정 범위와 높은 정확도를 위해 대류 강화된 Pirani 기술
- 내장 디스플레이, 2개의 셋포인트, 4개의 아날로그 출력 신호 및 2개의 디지털 인터페이스가 있는 올인원 액티브 게이지
- 간편한 설정, 보정 및 작동을 위한 키패드가 있는 밝은 디지털 OLED 디스플레이
- 4개의 옵션 아날로그 출력 신호(사용자 선택 가능 3개, 기본 1개)
![1118-Pirani-PPG570 1118-Pirani-PPG570](/uploads/media/323x215/08/1118-Pirani-PPG570.png?v=1-0)
새로운 INFICON 피라니 피에조 컴비네이션 게이지(PPG550)는 사용 가능한 가장 진보된 MEMS( Microelctromechanical Systems) 센서 기술을 기반으로 합니다.
- 2 mbar 이상에서 가스 유형에 독립적 – 모든 가스로 안전한 벤팅 가능
- 대기압에서 높은 정확도 및 재현성 – 신뢰할 수 있고 빠른 압력 감지 다양한 장착 방향 – 장비 설계에서 엔지니어링 자유 제공 손쉬운 시스템 통합을 위한 선택 가능한 아날로그 출력 신호
![1118-Pirani-PPG570 1118-Pirani-PPG570](/uploads/media/323x215/08/1118-Pirani-PPG570.png?v=1-0)
새로운 INFICON Pirani Piezo 조합 게이지(PPG570)는 사용 가능한 가장 진보된 MEMS( Microelctromechanical Systems) 센서 기술을 기반으로 하며 PPG550 "ATM ~ 중진공" 게이지에도 사용됩니다.
- 2mbar 이상에서 독립적인 가스 유형 – 모든 가스 혼합물을 안전하게 배출할 수 있습니다.
- 대기에서 높은 정확도와 재현성 – 신뢰할 수 있고 빠른 기압 감지
- 대기압 측정
![1123-Pirani-BAG302 1123-Pirani-BAG302](/uploads/media/323x215/03/1123-Pirani-BAG302.png?v=1-0)
INFICON 단일 베이어드-알퍼트 고온 이온 게이지 BAG302는 1.3 × 10-9mbar ~ 6.7×10-2mbar(1 × 10-9 Torr ~ 5 × 10-2 Torr)의 광범위한 측정 범위를 다룹니다.
- 1.3 × 10-9 ~ 6.7×10-2mbar(1 × 10-9 ~ 5 × 10-2 Torr)의 광범위한 측정 범위
- 수명이 긴 2개의 표준 산화이트륨 코팅 이리듐 필라멘트
- 내장 디스플레이, 셋포인트, 아날로그 출력 신호 및 표준 통합 RS485 디지털 인터페이스가 있는 올인원 액티브 게이지
- 간편한 설정, 작동 및 프로그래밍을 위한 키패드가 있는 밝은 디지털 OLED 디스플레이
![1113-Porter-A3 1113-Porter-A3](/uploads/media/323x215/03/1113-Porter-A3.png?v=1-0)
큰 성능 , 작은 크기
- 뛰어난 스팬 안정성 - 가스 유형 독립적
- 알루미나 센서
- 동급 최소형 디자인
- 간단한 통합, 모든 방향 장착 가능
![1119-Sky%20CDG025D 1119-Sky%20CDG025D](/uploads/media/323x215/09/1119-Sky%20CDG025D.png?v=2-0)
산업 어플리케이션 , 온도 보상
- 100 mTorr ~ 1000 Torr의 전체 범위
- 전원을 켠 후 조기 안정화
- 대기압에서 빠르게 복원
- 내부식성 세라믹 센서
![1119-Sky%20CDG025D 1119-Sky%20CDG025D](/uploads/media/323x215/09/1119-Sky%20CDG025D.png?v=2-0)
혹독한 공정 어플리케이션, 온도 보상
- 100 mTorr ~ 1000 Torr의 전체 범위
- 전원을 켠 후 조기 안정화
- 대기압에서 빠르게 복원
- 내부식성 세라믹 센서
![1121-SKY-CDG025D-X3-4-20MA 1121-SKY-CDG025D-X3-4-20MA](/uploads/media/323x215/01/1121-SKY-CDG025D-X3-4-20MA.png?v=1-0)
전류 루프, 온도 보상
- 100mTorr … 1,000Torr의 풀 스케일 범위
- 전원을 켠 후 조기 안정화
- 대기압으로부터 빠른 복원
- 내부식성 세라믹 센서
![1125-SKY-CDG045D---45C 1125-SKY-CDG045D---45C](/uploads/media/323x215/05/1125-SKY-CDG045D---45C.png?v=1-0)
우수한 신호 안정성, 온도 제어
- CoO(소유 비용) 절감, 예열 속도 50% 증가, 에너지 효율적인 저전력 소비
- 간편한 통합, 다양한 규모, 플랜지 및 인터페이스, 2개의 설정점을 포함한 표준
- 손쉬운 하나의 누름 버튼 또는 원격 신호 제로 명령, 제로 오프셋 조정 가능
- 신속한 서비스 및 유지보수를 위한 진단 포트
![1128-SKY-CDG-100D-160D-200D 1128-SKY-CDG-100D-160D-200D](/uploads/media/323x215/08/1128-SKY-CDG-100D-160D-200D.png?v=3-0)
우수한 신호 안정성, 온도 제어
- CoO(소유 비용) 절감, 예열 속도 50% 증가, 에너지 효율적인 저전력 소비
- 간편한 통합, 다양한 규모, 플랜지 및 인터페이스, 2개의 설정점을 포함한 표준
- 손쉬운 하나의 누름 버튼 또는 원격 신호 제로 명령, 제로 오프셋 조정 가능
- 신속한 서비스 및 유지보수를 위한 진단 포트
![1128-SKY-CDG-100D-160D-200D 1128-SKY-CDG-100D-160D-200D](/uploads/media/323x215/08/1128-SKY-CDG-100D-160D-200D.png?v=3-0)
고온 어플리케이션, 온도 제어
- CoO(소유 비용) 절감, 예열 속도 50% 증가, 에너지 효율적인 저전력 소비
- 간편한 통합, 다양한 규모, 플랜지 및 인터페이스, 2개의 설정점을 포함한 표준
- 손쉬운 하나의 누름 버튼 또는 원격 신호 제로 명령, 제로 오프셋 조정 가능
- 신속한 서비스 및 유지보수를 위한 진단 포트
![1128-SKY-CDG-100D-160D-200D 1128-SKY-CDG-100D-160D-200D](/uploads/media/323x215/08/1128-SKY-CDG-100D-160D-200D.png?v=3-0)
고온 어플리케이션, 온도 제어
- CoO(소유 비용) 절감, 예열 속도 50% 증가, 에너지 효율적인 저전력 소비
- 간편한 통합, 다양한 규모, 플랜지 및 인터페이스, 2개의 설정점을 포함한 표준
- 손쉬운 하나의 누름 버튼 또는 원격 신호 제로 명령, 제로 오프셋 조정 가능
- 신속한 서비스 및 유지보수를 위한 진단 포트
![1112-Edge-CDG025D2-CDG045D2-CDG100D2 1112-Edge-CDG025D2-CDG045D2-CDG100D2](/uploads/media/323x215/02/1112-Edge-CDG025D2-CDG045D2-CDG100D2.png?v=1-0)
EtherCAT, 온도 보상
- 간편한 통합, EtherCAT, 광범위한 풀 스케일 및 플랜지, 2개의 설정 지점을 갖춘 표준
- 간단한 하나의 푸시 버튼 또는 원격 신호 제로 명령, 제로 오프셋 조정 가능
- 빠른 서비스 및 유지보수를 위한 진단 포트
- 내부식성 세라믹 센서
![1112-Edge-CDG025D2-CDG045D2-CDG100D2 1112-Edge-CDG025D2-CDG045D2-CDG100D2](/uploads/media/323x215/02/1112-Edge-CDG025D2-CDG045D2-CDG100D2.png?v=1-0)
작은 설치 공간 , 온도 제어
- 중요한 공구 공간을 절약하는 작은 크기
- 간편한 통합, EtherCAT, 다양한 규모 및 플랜지, 2개의 셋포인트가 있는 표준
- 손쉬운 하나의 누름 버튼 또는 원격 신호 제로 명령, 제로 오프셋 조정 가능
- 신속한 서비스 및 유지보수를 위한 진단 포트
![1112-Edge-CDG025D2-CDG045D2-CDG100D2 1112-Edge-CDG025D2-CDG045D2-CDG100D2](/uploads/media/323x215/02/1112-Edge-CDG025D2-CDG045D2-CDG100D2.png?v=1-0)
작은 설치 공간 , 온도 제어
- 중요한 공구 공간을 절약하는 작은 크기
- 간편한 통합, EtherCAT, 다양한 규모 및 플랜지, 2개의 셋포인트가 있는 표준
- 손쉬운 하나의 누름 버튼 또는 원격 신호 제로 명령, 제로 오프셋 조정 가능
- 신속한 서비스 및 유지보수를 위한 진단 포트
![1286-Stripe-CDGxxx 1286-Stripe-CDGxxx](/uploads/media/323x215/06/1286-Stripe-CDGxxx.png?v=1-0)
고속, 온도 제어
- 높은 생산성 – 2ms 미만의 응답 시간
- 유연한 통합 - EtherCAT 필드버스
- 긴 수명 - 입증된 세라믹 센서
- 재보정 필요 없음 – 연간 90ppm의 전체 범위 안정성
![1286-Stripe-CDGxxx 1286-Stripe-CDGxxx](/uploads/media/323x215/06/1286-Stripe-CDGxxx.png?v=1-0)
고속, 온도 제어
- 높은 생산성 – 2ms 미만의 응답 시간
- 유연한 통합 - EtherCAT 필드버스
- 긴 수명 - 입증된 세라믹 센서
- 재보정 필요 없음 – 연간 90ppm의 전체 범위 안정성
![1131-Cube-CDGsci 1131-Cube-CDGsci](/uploads/media/323x215/01/1131-Cube-CDGsci.png?v=1-0)
기준, 진정한 고정밀
- 진정한 고정밀 압력 측정 – 세라믹 기술
- 아주 안정적인 출력 – PTB에서 입증됨
- 유연한 통신 – 다양한 최신 인터페이스
- 모든 기능 통합 – 컨트롤러 필요 없음
![1134-Spot-CDS500D 1134-Spot-CDS500D](/uploads/media/323x215/04/1134-Spot-CDS500D.png?v=2-0)
OEM용 소형 센서,
- 높은 정확도를 제공하는 미니어처 센서
- 뛰어난 반복 가능성 및 장시간 안정성
- 사용자 지정 통합 및 보정을 위한 용접 가능한 피드스루 또는 공장 보정 센서의 통합을 위한 용접식 사용자 지정 플랜지
- SPI 인터페이스를 갖춘 센서 전자장치로 손쉬운 통합과 안전한 통신 가능
![1117-Spot-CDS530D 1117-Spot-CDS530D](/uploads/media/323x215/07/1117-Spot-CDS530D.png?v=1-0)
OEM용 소형 센서, 듀얼 센서
- 듀얼 미니어처 센서로 넓은 측정 범위에서 높은 정확도 제공
- 넓은 범위, 높은 정밀도
- 뛰어난 반복성 및 장기 안정성
![1141-VSA100 1141-VSA100](/uploads/media/323x215/01/1141-VSA100.png?v=1-0)
대기압에 대한 차압 - 진공 시스템용 안전 스위치
- 신뢰할 수 있고 저렴한 진공 스위치
- 긴 수명
- 견고한 디자인
- 간편한 통합 방식
![1142-VSC150A 1142-VSC150A](/uploads/media/323x215/02/1142-VSC150A.png?v=1-0)
조정 가능한 전기 스위칭 접점 이 있는 절대압 스위치
- 높은 스위칭 정확성(± 0.1 mbar)
- 안정적인 장기 작동 특성
- 견고한 내부식성 설계
![1116-VSA200 1116-VSA200](/uploads/media/323x215/06/1116-VSA200.png?v=1-0)
절대압 스위치 - 정확하고 신뢰할 수 있는 압력 감지
- IP 44 보호
- 무위상 접점을 가진 릴레이 출력
- 고정밀 온도 보상 센서
- 압력 범위 1×10-9 mbar … 2 bar
![1116-VSA200 1116-VSA200](/uploads/media/323x215/06/1116-VSA200.png?v=1-0)
차압 스위치 - 정확하고 신뢰할 수 있는 압력 감지
- 내부식성 전체 스테인레스강 설계
- 견고한 디자인, 청정실 규격
- 셋포인트가 공장에서 사전 설정되거나 현장에서 조정 가능하여 설치가 간편함
![1154-VGC50X 1154-VGC50X](/uploads/media/323x215/04/1154-VGC50X.png?v=2-0)
광범위한 INFICON 액티브 게이지와 호환 가능한 액티브 게이지 컨트롤러의 새로운 VGC50x 시리즈는 10⁻¹⁰ ~ 1500 mbar(10⁻¹⁰ ~ 1125 Torr)의 전체 압력 범위와 설정값 상태를 모니터링하고 데이터 로그를 기록할 수 있습니다.
- 도트 매트릭스 메뉴 안내식 디스플레이를 통한 파라미터, 센서 또는 일반 설정을 간편하게 작동
- 먼 거리 기기 판독을 위한 매우 밝고 또렷한 디스플레이
- 막대 그래프로 표시되는 설정값 또는 압력/시간 표시
![1133-Pirani-PGE050 1133-Pirani-PGE050](/uploads/media/323x215/03/1133-Pirani-PGE050.png?v=1-0)
VGC083 및 VGC031용 대류 강화 패시브 피라니 게이지
- 넓은 측정 범위와 대기압 근처에서 더 높은 정확도를 위한 대류 강화 피라니 기술
- 금도금된 텅스텐 필라멘트
- 기계적으로 견고하고 기계적 충격과 진동에 덜 민감함
- 다양한 플랜지 옵션 선택
![7707-BAG055_freigestellt 7707-BAG055_freigestellt](/uploads/media/323x215/07/7707-BAG055_freigestellt.png?v=4-0)
VGC083용 미니 핫 이온 베이야드-알퍼트 패시브 게이지 헤드
- 오랜 기간 신뢰성과 안정성이 입증된 게이지 헤드 디자인
- 컴팩트한 크기, 다양한 연결 플랜지 및 피팅 선택으로 드롭인 교체 가능
- 이중 산화 이트륨 코팅 이리듐 필라멘트 캐소드 어셈블리
- 전자 충격(EB) 가스 제거
![1136-BAG05X-UHV 1136-BAG05X-UHV](/uploads/media/323x215/06/1136-BAG05X-UHV.png?v=1-0)
INFICON 베이어드-알퍼트 패시브 진공 게이지 헤드 BAG050, BAG051, BAG052 및 BAG053은 INFICON 진공 게이지 컨트롤러 VGC083A 및 VGC083B와 함께 사용하도록 설계되어 있습니다.
- 믿을 수 있고 입증된 게이지 헤드 설계
- 대부분의 누드 고온 이온 게이지 헤드에 대해 드롭인
- 광범위한 방출 전류(100 μA ~ 10 mA)
- 단일/이중 산화이트륨 코팅 이리듐 및 이중 텅스텐 필라멘트 음극 어셈블리와 함께 사용 가능
![IRG080 IRG080](/uploads/media/323x215/04/9244-IRG080%20Exhibition%20Rendering.png?v=1-0)
이온화 진공 측정기의 새로운 표준.
- 고진공 및 초고진공 범위에서 높은 측정 정확도가 요구되는 어플리케이션을 위해 개발되었습니다.
- ISO/TS 6737에 따른 전극 시스템 구성
- 불확실성이 적고 예측 가능한 상대 가스 감도로 모든 가스 종에 대한 진정한 압력 제공
![1139-VGC031 1139-VGC031](/uploads/media/323x215/09/1139-VGC031.png?v=1-0)
PGE050용 단일 채널 컨트롤러
- 1.3×10-4에서 최대 1333 mbar까지 넓은 측정 범위를 표시하고 제어합니다.
- 간단한 설정 및 작동을 위한 키패드가 있는 밝은 디지털 OLED 디스플레이
- 사용자가 선택할 수 있는 4개의 아날로그 출력 신호, 2개의 셋 포인트 릴레이
- RS232/RS485 디지털 인터페이스
![1140-VGC083 1140-VGC083](/uploads/media/323x215/00/1140-VGC083.png?v=1-0)
새로운 INFICON 진공 게이지 컨트롤러 VGC083은 패시브 게이지 헤드 BAG05x 및 PGE050과 함께 2개의 PGE050 게이지와 1개의 BAG05x 게이지를 고정적으로 결합하여 사용하도록 설계되어 있습니다.
- 소프트키를 사용하는 파라미터, 센서 또는 일반 설정을 위한 특수 OLED 디스플레이로 작동이 간편함
- 먼 거리 진공 압력 판독을 위한 매우 밝고 또렷한 LED 디스플레이
- 사용자가 임의의 게이지에 할당할 수 있는 3개의 아날로그 출력
- 게이지 헤드 유형에 따라 게이지 컨디셔닝을 위한 가스 제거 전자 충격 가공 또는 I2R 저항 가열
![7704-VGC094 7704-VGC094](/uploads/media/323x215/04/7704-VGC094.png?v=3-0)
VGC094는 진공 공정 측정, 제어 및 데이터 로그를 위한 최고의 솔루션입니다.
- 원거리에서도 1×10-11~1000 mbar의 진공 모니터링 및 제어 모니터를 위한 완벽한 솔루션
- 밝고 선명한 화면
- 셋포인트 또는 압력 및 시간 보기가 포함된 막대 그래프 디스플레이
- 파라미터, 센서 또는 일반 설정을 위한 직관적이고 안내식 메뉴를 통한 간단한 센서 작동
![7711-IM540 7711-IM540](/uploads/media/323x215/01/7711-IM540.png?v=1-0)
Versatile hot cathode ionization passive gauge controller
- IE414(베이야드-알퍼트) 및 IE514(추출기) 핫 캐소드 이온화 게이지의 작동 지원
- PSG5xx(피라니), PCG55x(피라니-커패시턴스 다이어프램) 및 CDG(커패시턴스 다이아프램) 액티브 게이지 라인에서 2개의 액티브 게이지를 연결하여 작동할 수 있습니다.
- 파라미터, 센서 또는 일반 설정을 위한 메뉴 안내 디스플레이로 간단한 조작 가능
![1153-VGD500 1153-VGD500](/uploads/media/323x215/03/1153-VGD500.png?v=1-0)
INFICON CDG 제품 라인에 연결하여 4자리 디스플레이 제공
- 4자릿수 디스플레이로 판독이 쉬움
- 대형 10 mm 액티브 LED 디스플레이 -
먼 거리 및 광범위한 게이지 각도에서 판독 가능 - 인라인 플러그 설계
- 15핀 D-Sub, 추가 전원 연결 없음