진공 게이지 및 컨트롤러

인피콘은 산업 공정에서 진공 레벨을 정밀하게 측정하고 모니터링할 수 있도록 설계된 광범위한 진공 측정기 및 컨트롤러를 제공합니다. 당사의 첨단 계측기는 정확한 실시간 데이터를 제공하여 다양한 응용 분야에서 신뢰할 수 있는 공정 제어와 효율성을 보장합니다

제품 유형
전체 압력 게이지 진공 스위치 진공 게이지 컨트롤러
측정 범위(mbar)
1 E-5 … atm 1 E-9 … 1 E-3 1 E-9 … atm
정확도 (%)
< 0.05 0.05 - 0.2 > 0.2 - 1 > 1 - 5 > 5 - 15 > 15
디지털 인터페이스
EtherCAT PROFINET DeviceNet PROFIBUS DP Ethernet
산업
냉난방 공조 산업 제조 진공 코팅 보안 에너지 반도체 IDM 및 파운드리 반도체 장비 제조업체 디스플레이 제약 및 의료 모빌리티 및 자동차 연구 및 학계 분석 기기 배터리
9174-BPG552-Trigon
핫 이온 게이지
Trigon™ BAG552

중간~초고진공 싱글게이지

Trigon™ BAG552
  • 넓은 UHV 및 HV 측정 범위를 위한 순수 베이야드-알퍼트 측정 시스템
  • 베이야드-알퍼트 시스템용 필라멘트 2개
  • 전기 부유 전류를 방지하기 위한 갈바닉 절연 전자 장치
  • 압력 급상승을 방지하는 슬라이딩 에미션 모드
9174-BPG552-Trigon
핫 이온 게이지
Trigon™ BCG552

ATM - 초고진공 트리플게이지®

Trigon™ BCG552
  • 매우 넓은 측정 범위, 비용 절감 및 공간 절약을 위한 3 + 1 감지 요소
  • 베이야드-알퍼트 시스템용 필라멘트 2개
  • 안정적인 로드락 제어를 위한 10 Torr 이상의 가스 유형에 독립적인 압력 측정.
  • 차압 측정으로 대기압 변화와 관련된 불확실성 제거
9174-BPG552-Trigon
핫 이온 게이지
Trigon™ BPG552

ATM - 초고진공 듀얼 게이지

Trigon™ BPG552
  • 넓은 측정 범위, 비용 절감 및 공간 절약을 위한 듀얼 게이지(2개의 감지 요소)
  • 베이야드-알퍼트 시스템용 필라멘트 2개
  • 필라멘트의 조기 파손을 방지하는 피라니 인터락 보호 기능
  • 압력 급상승현상을 방지하는 슬라이딩 에미션 모드
1114-Pirani-PSG5XX
Pirani Gauges
PSG5xx

INFICON 피라니 표준 게이지인 PSG500, PSG502-S, PSG510-S, PSG512-S에는 시장에서 제공되는 최첨단 디지털 피라니 기술이 적용되어 있습니다.

PSG50x & PSG51x
  • 간단한 푸시 버튼 ATM 및 HV 조정
  • 공간 절약형의 견고한 디자인
  • 알루미늄 하우징
  • 모든 방향으로 장착 가능
1109-Pirani-PSG55X-PCG55X
Pirani Gauges
PSG55x

Most advanced digital Pirani technology, compact size and the variety of features.

PSG55x
  • Available with Tungsten (PSG550) or Nickel (PSG552) filament or with a fully ceramic coated (PSG554) sensor unit for highly corrosive applications
  • Optional display, setpoints and digital interfaces
  • Latest EtherCAT protocol Standard ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0
  • Easy to exchange plug &amp; play sensor element with on-board calibration data - guarantees high reproducibility and low cost of ownership
1109-Pirani-PSG55X-PCG55X
Pirani Gauges
PCG55X

INFICON 피라니 용량식 격막 진공계(PCG55x)는 INFICON 피라니 기술과 세라믹 용량식 격막 센서의 이점을 단일 제품에 결합하고 있습니다.

PCG55x
  • 10 mbar 초과하는 가스 유형 독립적 – 모든 가스 혼합물을 안전하게 환기할 수 있음
  • 대기에서의 높은 정확성 및 재현성 – 신뢰할 수 있고 신속한 대기압 탐지를 위해
  • 다양한 장착 방향 – 공구 설계에서 자유로운 엔지니어링 제공
  • 텅스텐(PCG550) 또는 니켈(PCG552) 필라멘트, 또는 부식성이 강한 적용개소를 위한 완전 세라믹 코팅(PCG554) 센서 장치와 함께 사용 가능
1126-Gemini-MxG5xx
Cold Cathode Gauges
Gemini® MxG5xx

INFICON Gemini® 전환형 마그네트론 진공 게이지는 모든 진공 측정 분야에 적용 가능한 장치입니다(진행 중).

GEMINI® MXG5XX ATM~초고진공 게이지
  • Long lifetime in harsh environments
  • 혹독한 환경에서 긴 수명 유지
  • 낮은 누출 자계
  • 유지보수 필요 없음 - 교체 가능한 부속품
1115-MPG40x
Cold Cathode Gauges
MPG40X

INFICON 전환형 마그네트론 피라니 게이지인 MPG400 및 MPG401은 5 x 10-9 mbar ~ 대기(3.8 x 10-9 Torr ~ 대기)를 측정합니다.

MPG40X ATM~초고진공 게이지
  • 조합 게이지 – 전환형 마그네트론 및 Pirani
  • 5 x 10-9 mbar ~ 대기의 광범위한 측정 범위
  • 단선될 필라멘트 없음
  • 뛰어난 점화 특성
1111-Inficon_Aurora-Titelseite_Update_R
광학 가스 분석 및 총 압력 측정을 위한 듀얼 게이지
Augent® OPG550

INFICON Augent® 광학 플라즈마 게이지는 진공 모니터링을 위한 소형 지능형 솔루션입니다. 

Augen® OPG550
  • 고속 누설 감지로 챔버 누설 테스트 가능 
  • 생산성 및 수율 증가 
  • 긴 수명, 필라멘트 연소 없음, 빠른 공기 유입 방지 
  • 공정 화학물질에 대한 내구성
1124-Pirani-BAG402-BPG400-BPG402
Hot Ionization Gauges
BAG402

INFICON 단일 베이어드-알퍼트 고온 이온 게이지인 BAG402는 5×10-10 mbar ~ 2.7×10-2 mbar(3.75×10-10 Torr ~ 5×10-2 Torr)의 광범위한 측정 범위를 다룹니다.

BAG402 중간~초고진공 게이지
  • 5×10-10 mbar ~ 2.7×10-2 mbar(3.75×10-10 Torr ~ 5×10-2 Torr)의 측정 범위
  • 5%의 10-8 … 10-2 mbar의 공정 압력 범위에서 탁월한 반복성
  • 과압을 감지하여 필라멘트가 조기 단선되지 않도록 보호
  • 수명이 긴 2개의 산화이트륨 코팅 이리듐 필라멘트
PBR-260
핫 이온 게이지
PBR 260

ATM - 초고진공 고온 음극 게이지

PBR 260

다른 제조업체의 PBR 260 피라니/베이야드-알퍼트 핫 캐소드 게이지와 드롭인 호환 가능

  • 파트너 번호 IGG27000은 PT R27 000과 일치합니다.  
  • 파트너 번호 IGG27001은 PT R27 001과 일치합니다.
  • 파트너 번호 IGG27002는 PT R27 002와 일치합니다.
1124-Pirani-BAG402-BPG400-BPG402
핫 이온 게이지
BPG400 ATM~초고진공 게이지

INFICON 베이어드-알퍼트 피라니 조합 게이지인 BPG400은 하나의 작은 장치에서 두 개의 게이지로 작동하여 5×10-10 mbar ~ 대기(3.8×10-10 ~ 대기)를 측정합니다.

BPG400
  • 5×10-10 mbar ~ 대기(3.8×10-10 Torr ~ 대기)의 매우 넓은 측정 범위
  • 5%의 10-8 … 10-2 mbar의 공정 압력 범위에서 탁월한 반복성
  • Pirani 인터록은 Bayard-Alpert 시스템의 조기 필라멘트 단선 및 고압 작동으로 인한 과도한 오염 방지
  • 수명이 긴 산화이트륨 코팅 이리듐 필라멘트
1124-Pirani-BAG402-BPG400-BPG402
핫 이온 게이지
BPG402-Sx

INFICON 베이어드-알퍼트 피라니 조합 게이지인 BPG402-S는 하나의 작은 장치에서 5×10-10 ~ 대기(3.8×10-10 Torr ~ 대기)를 측정하며 두 게이지의 기능을 합니다.

BPG402-SX
  • 5×10-10 mbar ~ 대기(3.8×10-10 Torr ~ 대기)의 매우 넓은 측정 범위
  • 5%의 10-8 … 10-2 mbar의 공정 압력 범위에서 탁월한 반복성
  • Pirani 인터록이 필라멘트의 조기 단선 방지
  • 수명이 긴 2개의 산화이트륨 코팅 이리듐 필라멘트
1143-BCG450
Hot Ionization Gauges
BCG450 ATM~초고진공 트리플 게이지

INFICON 바야드-알퍼트 피라니 커패시턴스 다이어프램 게이지 BCG450은 컴팩트하고 경제적인 단일 패키지에 세 가지 기술 이점을 결합하여 5 x 10-10 ~ 1,500mbar(3.75 x 10-10 ~ 1,125 Torr)의 공정 및 베이스 압력을 측정합니다.

BCG450 ATM~초고진공 트리플 게이지
  • BCG450은 비용 및 장비 공간을 줄이고 진공 측정장치 설치 및 설정 복잡성 감소
  • 10 Torr 넘는 가스 유형 독립 압력 측정으로 모든 가스 혼합물에 대해 보다 신뢰성 있는 로드록 제어 가능
  • Pirani 인터록은 핫 필라멘트의 조기 단선 방지
  • 자동 고진공 Pirani 조정으로 작업자 개입 감소
1110-HPG400
Hot Ionization Gauges
HPG400

INFICON 고압 고온 이온화 피라니 게이지인 HPG400은 2×10-6 mbar부터 대기(1.5×10-6 Torr ~ 대기)까지의 압력을 측정하는 소형의 경제적인 단일 패키지에 고압 고온 이온화 및 피라니 센서를 결합합니다.

HPG400 ATM~고진공 게이지
  • HPG400은 비용 및 장비 공간을 줄이고 진공 시스템 설치 및 설정 복잡성 감소
  • 고압 고온 이온 게이지는 향상된 공정 제어를 위해 1×10-5 … 1 mbar의 정확하고 신뢰할 수 있는 압력 측정 제공
  • 5×10-2 ~ 1 mbar의 사용자 선택형 고온 이온 배출 활성화
  • Pirani 인터록은 핫 필라멘트의 조기 단선 방지
1135-Pirani-PGE300
Pirani Gauges
PGE300 ATM ~ 중진공 게이지

INFICON 피라니 게이지 강화 300(PGE300)은 자매 제품 중 크기가 더 큰 PGE500와 같이 시장에서 제공되는 최신 디지털 대류 강화 피라니 기술이 적용되어 있습니다.

PGE300 ATM ~ 중진공 게이지
  • 대기에 가까운 넓은 측정 범위와 높은 정확도를 위해 대류 강화된 Pirani 기술
  • 내장 디스플레이, 1개의 셋포인트 및 3개의 선택 가능한 아날로그 출력 신호가 있는 올인원 액티브 게이지
  • 밝은 디지털 LED 디스플레이는 보정 및 작동 시 사용자 친화적으로 기능함
  • 3개의 옵션 아날로그 출력 신호(사용자 선택 가능)
1130-Pirani-PGE500-DeviceNet
피라니 게이지
PGE500 - DeviceNet

INFICON PGE(Pirani Gauge Enhanced) DeviceNet 버전에는 최신 디지털 대류 강화 피라니 기술이 탑재되어 있습니다. 

PGE500 - DeviceNet
  • 넓은 측정 범위와 대기압 근처에서 더 높은 정확도를 위한 대류 강화 피라니 기술 
  • 내장형 디스플레이, 2개의 셋포인트 및 디지털 DeviceNet 인터페이스가 있는 올인원 액티브 게이지 
  • 간단한 설정, 교정 및 작동을 위한 키패드가 있는 밝은 디지털 OLED 디스플레이 
  • 공장 사전 설정된 디스플레이 단위 또는 키패드를 통해 선택 가능 
1132-Pirani-PGE500
Pirani Gauges
PGE500 - RS485/ Analog

INFICON 피라니 게이지 강화 500(PGE500)은 시장에서 제공되는 최신 디지털 대류 강화 피라니 기술이 적용되어 있습니다.

PGE500 ATM ~ 중진공 게이지
  • 대기에 가까운 넓은 측정 범위와 높은 정확도를 위해 대류 강화된 Pirani 기술
  • 내장 디스플레이, 2개의 셋포인트, 4개의 아날로그 출력 신호 및 2개의 디지털 인터페이스가 있는 올인원 액티브 게이지
  • 간편한 설정, 보정 및 작동을 위한 키패드가 있는 밝은 디지털 OLED 디스플레이
  • 4개의 옵션 아날로그 출력 신호(사용자 선택 가능 3개, 기본 1개)
1118-Pirani-PPG570
피라니 게이지
PPG550

새로운 INFICON 피라니 피에조 컴비네이션 게이지(PPG550)는 사용 가능한 가장 진보된 MEMS( Microelctromechanical Systems) 센서 기술을 기반으로 합니다. 

PPG550
  • 2 mbar 이상에서 가스 유형에 독립적 – 모든 가스로 안전한 벤팅 가능 
  • 대기압에서 높은 정확도 및 재현성 – 신뢰할 수 있고 빠른 압력 감지 다양한 장착 방향 – 장비 설계에서 엔지니어링 자유 제공 손쉬운 시스템 통합을 위한 선택 가능한 아날로그 출력 신호 
1118-Pirani-PPG570
피라니 게이지
PPG570

새로운 INFICON Pirani Piezo 조합 게이지(PPG570)는 사용 가능한 가장 진보된 MEMS( Microelctromechanical Systems) 센서 기술을 기반으로 하며 PPG550 "ATM ~ 중진공" 게이지에도 사용됩니다. 

PPG570
  • 2mbar 이상에서 독립적인 가스 유형 – 모든 가스 혼합물을 안전하게 배출할 수 있습니다.
  • 대기에서 높은 정확도와 재현성 – 신뢰할 수 있고 빠른 기압 감지
  •  대기압 측정
1123-Pirani-BAG302
Hot Ionization Gauges
BAG302

INFICON 단일 베이어드-알퍼트 고온 이온 게이지 BAG302는 1.3 × 10-9mbar ~ 6.7×10-2mbar(1 × 10-9 Torr ~ 5 × 10-2 Torr)의 광범위한 측정 범위를 다룹니다.

BAG302 중간 ~ 초고진공 게이지
  • 1.3 × 10-9 ~ 6.7×10-2mbar(1 × 10-9 ~ 5 × 10-2 Torr)의 광범위한 측정 범위
  • 수명이 긴 2개의 표준 산화이트륨 코팅 이리듐 필라멘트
  • 내장 디스플레이, 셋포인트, 아날로그 출력 신호 및 표준 통합 RS485 디지털 인터페이스가 있는 올인원 액티브 게이지
  • 간편한 설정, 작동 및 프로그래밍을 위한 키패드가 있는 밝은 디지털 OLED 디스플레이
1113-Porter-A3
커패시턴스 마노메타
Porter® CDG020D

큰 성능 , 작은 크기

Porter® CDG020D
  • 뛰어난 스팬 안정성 - 가스 유형 독립적
  • 알루미나 센서
  • 동급 최소형 디자인
  • 간단한 인테그레이션, 모든 방향 장착 가능
1119-Sky%20CDG025D
커패시턴스 마노메타
SKY® CDG025D

산업 어플리케이션 , 온도 보상

SKY® CDG025D
  • 100 mTorr ~ 1000 Torr의 전체 범위
  • 전원을 켠 후 조기 안정화
  • 대기압에서 빠르게 복원
  • 내부식성 세라믹 센서
1119-Sky%20CDG025D
커패시턴스 마노메타
SKY® CDG025D-X3

혹독한 공정 어플리케이션, 온도 보상

SKY® CDG025D-X3
  • 100 mTorr ~ 1000 Torr의 풀스케일
  • 전원을 켠 후 조기 안정화
  • 대기압에서 빠르게 복원
  • 내부식성 세라믹 센서
1121-SKY-CDG025D-X3-4-20MA
커패시턴스 마노메타
SKY® CDG025D-X3, 4-20mA

전류 루프, 온도 보상

SKY® CDG025D-X3 4-20mA
  • 100mTorr … 1,000Torr의 풀 스케일 범위
  • 전원을 켠 후 조기 안정화
  • 대기압으로부터 빠른 복원
  • 내부식성 세라믹 센서
1125-SKY-CDG045D---45C
커패시턴스 마노메타
SKY® CDG045D

우수한 신호 안정성, 온도 제어

SKY® CDG045D
  • CoO(소유 비용) 절감, 예열 속도 50% 증가, 에너지 효율적인 저전력 소비
  • 간편한 통합, 다양한 규모, 플랜지 및 인터페이스, 2개의 설정점을 포함한 표준
  • 손쉬운 하나의 누름 버튼 또는 원격 신호 제로 명령, 제로 오프셋 조정 가능
  • 신속한 서비스 및 유지보수를 위한 진단 포트
1128-SKY-CDG-100D-160D-200D
커패시턴스 마노메타
SKY® CDG100D

우수한 신호 안정성, 온도 제어

SKY® CDG100D
  • CoO(소유 비용) 절감, 예열 속도 50% 증가, 에너지 효율적인 저전력 소비
  • 간편한 통합, 다양한 규모, 플랜지 및 인터페이스, 2개의 설정점을 포함한 표준
  • 손쉬운 하나의 누름 버튼 또는 원격 신호 제로 명령, 제로 오프셋 조정 가능
  • 신속한 서비스 및 유지보수를 위한 진단 포트
1112-Edge-CDG025D2-CDG045D2-CDG100D2
커패시턴스 마노메타
Edge® CDG025D2

EtherCAT, 온도 보상

Edge® CDG025D2
  • 간편한 통합, EtherCAT, 광범위한 풀 스케일 및 플랜지, 2개의 설정 지점을 갖춘 표준
  • 간단한 하나의 푸시 버튼 또는 원격 신호 제로 명령, 제로 오프셋 조정 가능
  • 빠른 서비스 및 유지보수를 위한 진단 포트
  • 내부식성 세라믹 센서
1112-Edge-CDG025D2-CDG045D2-CDG100D2
커패시턴스 마노메타
Edge® CDG045D2

작은 설치 공간 , 온도 제어

Edge® CDG045D2
  • 중요한 공구 공간을 절약하는 작은 크기
  • 간편한 통합, EtherCAT, 다양한 규모 및 플랜지, 2개의 셋포인트가 있는 표준
  • 손쉬운 하나의 누름 버튼 또는 원격 신호 제로 명령, 제로 오프셋 조정 가능
  • 신속한 서비스 및 유지보수를 위한 진단 포트
1112-Edge-CDG025D2-CDG045D2-CDG100D2
커패시턴스 마노메타
Edge® CDG100D2

작은 설치 공간 , 온도 제어

Edge® CDG100D2
  • 중요한 공구 공간을 절약하는 작은 크기
  • 간편한 통합, EtherCAT, 다양한 규모 및 플랜지, 2개의 셋포인트가 있는 표준
  • 손쉬운 하나의 누름 버튼 또는 원격 신호 제로 명령, 제로 오프셋 조정 가능
  • 신속한 서비스 및 유지보수를 위한 진단 포트
1286-Stripe-CDGxxx
커패시턴스 마노메타
Stripe® CDG045Dhs

고속, 온도 제어

Stripe® CDG045Dhs
  • 높은 생산성 – 2ms 미만의 응답 시간
  • 유연한 통합 - EtherCAT 필드버스
  • 긴 수명 - 입증된 세라믹 센서
  • 재보정 필요 없음 – 연간 90ppm의 전체 범위 안정성
1286-Stripe-CDGxxx
커패시턴스 마노메타
Stripe® CDG100Dhs

고속, 온도 제어

Stripe® CDG100Dhs
  • 높은 생산성 – 2ms 미만의 응답 시간
  • 유연한 통합 - EtherCAT 필드버스
  • 긴 수명 - 입증된 세라믹 센서
  • 재보정 필요 없음 – 연간 90ppm의 전체 범위 안정성
1134-Spot-CDS500D
커패시턴스 마노메타
Spot™ CDS500D

OEM용 소형 센서,

Spot™ CDS500D
  • 높은 정확도를 제공하는 미니어처 센서
  • 뛰어난 반복 가능성 및 장시간 안정성
  • 사용자 지정 통합 및 보정을 위한 용접 가능한 피드스루 또는 공장 보정 센서의 통합을 위한 용접식 사용자 지정 플랜지
  • SPI 인터페이스를 갖춘 센서 전자장치로 손쉬운 통합과 안전한 통신 가능
1117-Spot-CDS530D
커패시턴스 마노메타
Spot™ CDS530D

OEM용 소형 센서, 듀얼 센서

Spot™ CDS530D
  • 듀얼 미니어처 센서로 넓은 측정 범위에서 높은 정확도 제공
  • 넓은 범위, 높은 정밀도 
  • 뛰어난 반복성 및 장기 안정성 
1141-VSA100
진공 스위치
VSA100A

대기압에 대한 차압 - 진공 시스템용 안전 스위치

VSA100A
  • 신뢰할 수 있고 저렴한 진공 스위치
  • 긴 수명
  • 견고한 디자인
  • 간편한 통합 방식
1142-VSC150A
진공 스위치
VSC150A

조정 가능한 전기 스위칭 접점 이 있는 절대압 스위치

VSC150A
  • 높은 스위칭 정확성(± 0.1 mbar)
  • 안정적인 장기 작동 특성
  • 견고한 내부식성 설계
1116-VSA200
진공 스위치
VSA200 Absolute Switch

절대압 스위치 - 정확하고 신뢰할 수 있는 압력 감지

VSA200 절대압 스위치
  • IP 44 보호
  • 무위상 접점을 가진 릴레이 출력
  • 고정밀 온도 보상 센서
  • 압력 범위 1×10-9 mbar … 2 bar
1116-VSA200
진공 스위치
VSD200

차압 스위치 - 정확하고 신뢰할 수 있는 압력 감지

VSD200
  • 내부식성 전체 스테인레스강 설계
  • 견고한 디자인, 청정실 규격
  • 셋포인트가 공장에서 사전 설정되거나 현장에서 조정 가능하여 설치가 간편함
1154-VGC50X
Vacuum Gauge Controller
VGC50X VACUUM 게이지 컨트롤러

광범위한 INFICON 액티브 게이지와 호환 가능한 액티브 게이지 컨트롤러의 새로운 VGC50x 시리즈는 10⁻¹⁰ ~ 1500 mbar(10⁻¹⁰ ~ 1125 Torr)의 전체 압력 범위와 설정값 상태를 모니터링하고 데이터 로그를 기록할 수 있습니다.

VGC50X VACUUM 게이지 컨트롤러
  • 도트 매트릭스 메뉴 안내식 디스플레이를 통한 파라미터, 센서 또는 일반 설정을 간편하게 작동
  • 먼 거리 기기 판독을 위한 매우 밝고 또렷한 디스플레이
  • 막대 그래프로 표시되는 설정값 또는 압력/시간 표시
VGC094
진공 게이지 컨트롤러
VGC094

VGC094는 진공 공정 측정, 제어 및 데이터 로그를 위한 최고의 솔루션입니다.

VGC094
  • 원거리에서도 1×10-11~1000 mbar의 진공 모니터링 및 제어 모니터를 위한 완벽한 솔루션
  • 밝고 선명한 화면
  • 셋포인트 또는 압력 및 시간 보기가 포함된 막대 그래프 디스플레이
  • 파라미터, 센서 또는 일반 설정을 위한 직관적이고 안내식 메뉴를 통한 간단한 센서 작동
7705-PSG01X
Pirani Gauges
PSG01x

VGC094용 피라니 패시브 게이지 헤드

PSG010, PSG017 & PSG018
  • 엘라스토머(PSG010) 또는 금속 밀폐형(PSG017, PSG018) 설계
  • 지정된 높은 측정 정확도 및 반복성
  • 최대 100°C(PSG010)/250°C(PSG017, PSG018)의 베이크 아웃 온도
  • 최대 106Gy의 전리방사선 내성(PSG017, PSG018)
1133-Pirani-PGE050
Pirani Gauges
PGE050

VGC083 및 VGC031용 대류 강화 패시브 피라니 게이지

PGE050
  • 넓은 측정 범위와 대기압 근처에서 더 높은 정확도를 위한 대류 강화 피라니 기술
  • 금도금된 텅스텐 필라멘트
  • 기계적으로 견고하고 기계적 충격과 진동에 덜 민감함
  • 다양한 플랜지 옵션 선택
7708-MAG084
저온 캐소드 게이지
MAG084

게이지 헤드 MAG084는 진공 게이지 컨트롤러 VGC094와 함께 작동하도록 설계된 고유한 자기장 내성 역마그네트론 냉음극 게이지입니다. 

MAG084
  • 강한 외부 자기장에서도 작동을 지속하도록 개발됨
  • 역 마그네트론 원리에 기반한 안정적이고 검증된 게이지 헤드 설계
  • 혁신적인 이중 이온화 챔버 원리
  • 230°C까지 베이킹 가능
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Hot Ionization Gauges
BAG055

VGC083용 미니 핫 이온 베이야드-알퍼트 패시브 게이지 헤드

BAG055
  • 오랜 기간 신뢰성과 안정성이 입증된 게이지 헤드 디자인
  • 컴팩트한 크기, 다양한 연결 플랜지 및 피팅 선택으로 드롭인 교체 가능
  • 이중 산화 이트륨 코팅 이리듐 필라멘트 캐소드 어셈블리
  • 전자 충격(EB) 가스 제거
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핫 이온 게이지
BAG05x

INFICON 베이어드-알퍼트 패시브 진공 게이지 헤드 BAG050, BAG051, BAG052 및 BAG053은 INFICON 진공 게이지 컨트롤러 VGC083A 및 VGC083B와 함께 사용하도록 설계되어 있습니다.

BAG05X
  • 믿을 수 있고 입증된 게이지 헤드 설계
  • 대부분의 누드 고온 이온 게이지 헤드에 대해 드롭인
  • 광범위한 방출 전류(100 μA ~ 10 mA)
  • 단일/이중 산화이트륨 코팅 이리듐 및 이중 텅스텐 필라멘트 음극 어셈블리와 함께 사용 가능
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핫 이온 게이지
IE414, IE514

IM540용 음극 이온화 패시브 게이지 헤드

IE414, IE514
  • 개별적으로 보정된 감지 시스템으로 인한 높은 측정 정확도
  • 교체 가능한 캐소드
  • 최대 400°C의 극한 고온 베이크 아웃
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진공 게이지 컨트롤러
TPG36x

프로세스 측정 및 데이터 기록을 위한 고급 컨트롤러입니다.

TPG36x
  • 파라미터, 센서 또는 일반 설정을 조정하기 위한 사용하기 쉬운 도트 매트릭스 메뉴 인터페이스
  • 디바이스 데이터의 원격 판독을 위한 선명하고 밝은 디스플레이
  • 셋포인트 시각화 또는 시간 경과에 따른 압력 표시를 위한 막대 그래프
1138-PGD500
진공 게이지 컨트롤러
PGD500

비용 효율적인 압력 모니터링 솔루션.

PGD500
  • 사용자 선택 가능한 측정 단위(Pa, mbar 또는 Torr)
  • 패널 또는 19인치 랙에 쉽게 장착할 수 있는 컴팩트한 벤치 탑 모델 디자인
  • 게이지의 0~10V 출력 신호를 PLC 또는 차트 레코더에서 사용할 수 있습니다.
  • 자유롭게 조정 가능한 하나의 셋 포인트
IRC081
진공 게이지 컨트롤러
IRC081

이온 레퍼런스 게이지 컨트롤러 IRC081과 사용자 인터페이스는 표준화된 이온 레퍼런스 게이지 IRG080에 대한 작동 및 디스플레이 인터페이스입니다.

IRC081
  • 정확한 진공 압력 측정을 위한 작동 및 디스플레이 솔루션
  • 모든 IRG080 게이지 파라미터 세트에서 사용자 제어 가능
  • 5개의 전위차계를 사용한 간단한 수동 조작
  • USB-B 포트를 통해 PC에 사용자 인터페이스 연결
1139-VGC031
Vacuum Gauge Controller
VGC031

PGE050용 단일 채널 컨트롤러

VGC031
  • 1.3×10-4에서 최대 1333 mbar까지 넓은 측정 범위를 표시하고 제어합니다.
  • 간단한 설정 및 작동을 위한 키패드가 있는 밝은 디지털 OLED 디스플레이
  • 사용자가 선택할 수 있는 4개의 아날로그 출력 신호, 2개의 셋 포인트 릴레이
  • RS232/RS485 디지털 인터페이스
7711-IM540
Vacuum Gauge Controller
IM540

Versatile hot cathode ionization passive gauge controller

IM540
  • IE414(베이야드-알퍼트) 및 IE514(추출기) 핫 캐소드 이온화 게이지의 작동 지원
  • PSG5xx(피라니), PCG55x(피라니-커패시턴스 다이어프램) 및 CDG(커패시턴스 다이아프램) 액티브 게이지 라인에서 2개의 액티브 게이지를 연결하여 작동할 수 있습니다.
  • 파라미터, 센서 또는 일반 설정을 위한 메뉴 안내 디스플레이로 간단한 조작 가능
1153-VGD500
Vacuum Gauge Controller
VGD500

INFICON CDG 제품 라인에 연결하여 4자리 디스플레이 제공

VGD500
  • 4자릿수 디스플레이로 판독이 쉬움
  • 대형 10 mm 액티브 LED 디스플레이 -
    먼 거리 및 광범위한 게이지 각도에서 판독 가능
  • 인라인 플러그 설계
  • 15핀 D-Sub, 추가 전원 연결 없음
필터 (1)

산업 공정을 위한 신뢰할 수 있는 고성능 진공 측정기

인피콘은 포괄적인 진공 게이지, 압력 게이지 및 진공 센서를 통해 산업용 진공 모니터링을 위한 고성능 솔루션을 제공합니다. 당사의 계기는 산업 공정에서 진공 레벨을 정확하게 측정하고 디지털 진공 모니터링을 통해 실시간 데이터를 제공합니다.

인피콘의 제품은 높은 안정성, 중요 공정에 대한 신뢰할 수 있는 측정, 시스템 가동 중단 시간 감소 및 운영 효율성 향상을 제공합니다.

인피콘의 진공 기술을 통해 산업체는 진공에 의존하는 공정에서 최적의 성능을 유지하고 고품질의 결과를 보장할 수 있습니다. 인피콘은 원활한 통합과 맞춤형 설치 지원을 통해 경쟁사의 진공 측정기에서 인피콘으로 전환할 때 가동 중단 시간을 최소화하여 중요한 프로세스를 중단하지 않고 원활하게 전환할 수 있도록 보장합니다.