RF 감지 기술
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RF Sensing Technology
Sion™
플라즈마 처리 도중 아크가 발생되면 대상과 챔버가 손상되어 기판이 손상되고 입자가 생성됩니다
Sion™
- 기존 도구 세트에 쉽게 내장됨
- 비침습형 센서 설치
- 고속 데이터 수집(250 kHz)
- FabGuard로 통합 데이터 관리
RF 감지 기술
ADC100
ADC100 시스템은 실시간으로 플라즈마 아킹을 검출하기 위해 DC 발전기에 연결됩니다
ADC100
- FabGuard 센서 통합 및 분석 시스템을 통한 소프트웨어 통합
- 채널당 250kHz에서 데이터 수집
- 맞춤형 케이블은 대부분의 DC 발전기에 연결됩니다.
- 미리 정의된 분석 도구를 사용하여 아크를 빠르게 감지합니다.