Facilities 및 Subfab 장비의 스마트 제어
Subfab 시각화, 모니터링 및 제어
![Software IMS Smart Control of Facilities and Subfab Equipment Software IMS Smart Control of Facilities and Subfab Equipment](/uploads/media/500x335/09/10489-Software-IMS-Smart-Control-of-Facilities-and-Subfab-Equipment.jpg?v=2-0)
펌프, 냉각기, 히터, 저감 시스템과 같은 시설 장비는 제조 공정에 직접적인 영향을 미칠 수 있습니다. 시설 장비의 이탈을 모니터링하는 것은 항상 FabGuard® FDC 소프트웨어의 주요 기능 중 하나였습니다. FabGuard에서는 이 기능을 다음과 같이 대폭 강화했습니다:
- Facilities 장비의 상태를 직접 시각화할 수 있습니다.
- Facilities 장비의 실시간 데이터 보기 제공.
- 모터 및 밸브와 같은 시설 장비 구성 요소를 직접 제어할 수 있습니다.
- Facilities 장비의 실시간 제어를 통해 친환경 운영과 소모품 소비를 줄일 수 있습니다.
혜택
FabGuard Facilities 모니터링 및 제어의 가장 큰 장점은 팩토리의 필요에 따라 에너지 및 소모품 사용량을 관리할 수 있다는 점입니다. FabGuard는 사용량에 따라 장비를 자동으로 켜거나 끄고 친환경 작동 상태를 활성화할 수 있습니다. 이를 통해 팩토리는 전기 및 소모품 사용량을 줄여 비용을 크게 절감하고 환경을 고려한 제조를 할 수 있습니다.
또한, 장비 제조업체에 관계없이 하나의 통합된 사용자 디스플레이를 제공하기 때문에 더 이상 제조업체마다 다른 독점 모니터링 소프트웨어를 사용할 필요가 없습니다. FabGuard가 Subfab의 장비를 시각화, 분석 및 제어한다는 사실을 알기 때문에 팩토리는 각 제조 장비에 가장 적합한 장비를 구입하는 데 집중할 수 있습니다.
상태 시각화
FabGuard Web은 팹, 그룹 및 장비 레이아웃의 시각화를 제공합니다. 사용자는 장비 및 프로세스 관점에서 상태를 빠르게 확인할 수 있으며, 새로운 설비 관련 개선 사항으로 이제 설비 장비의 상태도 확인할 수 있습니다.
FabGuard는 세 가지 유형의 장비에 연결할 수 있습니다:
- 메인 펌프
- 부스터 펌프
- 저감 시스템
각 시설 장비는 FabGuard에서 독립적으로 시각화됩니다.
각 Facilities 장비는 구성 요소로 구성됩니다. 허용되는 구성 요소는 장비 유형에 따라 다릅니다. 표 1은 장비 유형별로 지원되는 구성 요소의 매트릭스를 보여줍니다.
장비/구성 요소 | 메인 펌프 | 부스터 펌프 | 저감 |
---|---|---|---|
제어 | X | X | X |
모터 | X | X | |
통합 부스터 | X | ||
게이트 밸브 | X | X | |
퍼지 밸브 | X | X | |
버너 | X | X | |
표 1: Facilities 장비 유형 및 지원되는 구성 요소 |
각 컴포넌트는 특정 상태에 있을 수 있습니다. 허용되는 상태는 컴포넌트 유형에 따라 다릅니다. 표 2는 각 컴포넌트에 허용되는 상태를 보여줍니다.
구성 요소 | 허용 상태 |
---|---|
제어 | 로컬, 원격 |
모터 | 끄기, 낮음, 켜기 |
내장 부스터 | 켜기, 끄기 |
게이트 밸브 | 끄기, 켜기 |
퍼지 밸브 | 끄기, 켜기 |
버너 | 끄기, 낮음 켜기, 중간 켜기, 높음 켜기 |
표 2: Facilities 장비 구성 요소별 허용 상태. |
![PumpStates PumpStates](/uploads/media/660x/06/10486-pumpstate.png?v=2-0)
![PumpStates](/media/10486/download/pumpstate.png?v=2)
Facilities 장비, 구성 요소 및 해당 상태의 구성은 FabGuard 수집 레시피에서 수행됩니다. 구성 요소 상태 외에도 FabGuard는 장비에 알람이 있는지 추적합니다. 알람이 있는 경우 시설 아이콘에 표시기가 추가됩니다(그림 1). 이러한 알람 상태는 장비에서 알람이 해결되면 자동으로 지워집니다. 또한 FabGuard는 데이터베이스에 시설 알람을 추가하여 기록 데이터, 사용자 알림 및 장비 차단을 볼 수 있습니다.
실시간 데이터 보기
FabGuard Facilities 기능은 Facilities 장비 지원 상태에 관심이 있는 공정/장비 엔지니어뿐만 아니라 시설 장비의 유지 관리 및 개선에 중점을 둔 Facilities 엔지니어를 위한 기능입니다. 시설 장비 문제를 조사할 때는 현재 데이터에 즉시 액세스하는 것이 중요합니다. FabGuard Web은 시설 장비 아이콘에서 바로 모든 시설 장비의 실시간 데이터를 직접 모니터링할 수 있습니다.
그림 2는 메인 펌프에 대한 설비 데이터의 예를 보여줍니다. 디스플레이에는 정의된 모든 구성 요소의 상태, 모든 장비 알람의 상태, 펌프 파라미터의 실시간 값이 표시됩니다. 이 정보는 5초마다 업데이트됩니다.
![PumpData PumpData](/uploads/media/294x/07/10487-PumpStates04.png?v=8-0)
![PumpData](/media/10487/download/PumpStates04.png?v=8)
Facilities 장비의 수동 제어
Facilities 장비의 현재 상태를 시각화할 뿐만 아니라, FabGuard는 장비 제어를 위한 휴먼 머신 인터페이스(HMI) 역할을 할 수 있습니다. 권한이 부여된 사용자는 각 장비 구성 요소를 켜고 끌 수 있습니다. 예를 들어, 사용자는 펌프 모터를 켜거나 끄고 펌프 밸브를 열거나 닫을 수 있습니다.
Facilities 장비 제어의 구성은 각 구성 요소의 상태 전환에 사용되는 명령을 정의하여 FabGuard I/O 하위 시스템에서 수행됩니다. 예를 들어 펌프가 모터를 켜고 끄는 명령을 지원하는 경우, 사용자는 각 명령에 대해 펌프에 전송해야 하는 메시지를 구성하는 두 개의 I/O Facilities 출력 채널을 정의할 수 있습니다. 그러면 FabGuard가 필요한 명령 목록을 자동으로 생성하고 FabGuard Web에서 이 목록을 사용할 수 있도록 합니다.
Facilities 장비 명령은 안전을 위해 특정 웹 브라우저에서 실행해야 합니다. 명령을 실행하려면 두 가지 일이 일어나야 합니다:
- 프로세스 툴 옆에 있는 전용 디스플레이가 Subfab의 전용 디스플레이로 제어를 전송합니다.
- 설비 사용자는 설비 장비 옆에 있는 전용 디스플레이에서 제어 명령을 실행해야 합니다.
첫 번째 요건은 프로세스/장비 엔진이 수동 제어를 위해 시설 시스템을 승인했음을 보장합니다. 두 번째 요건은 Facilities 장비에서 작업하는 사용자가 제어하는 장비와 물리적으로 배치되어 있어야 한다는 것입니다.
![PumpStates03 PumpStates03](/uploads/media/294x/04/10914-PumpStates03.png?v=1-0)
![PumpStates03](/media/10914/download/PumpStates03.png?v=1)
시설 장비 자동 제어
팩토리 장비와 통합된 FabGuard는 펌프 및 저감 시스템과 같은 Subfab 시스템에 대한 스마트 제어 기능을 제공하여 전기 및 소모품 사용량을 크게 줄일 수 있습니다. Subfab 장비의 통합 제어는 에너지 및 천연가스 절감을 위한 저감 시스템용 버너 제어, 전기 소비 및 퍼지 가스 사용을 줄이기 위한 유휴 펌프 제어 등 상당한 지속 가능성 이점을 제공합니다. Subfab에 FabGuard를 구현하면 저감/스크러버, 전원 공급 장치, 펌프, 화학물질 디스펜스 및 전달 시스템, 냉각기, 열 추적 등을 제어할 수 있습니다.
한 IDM 고객은 Subfab 시스템을 스마트하게 제어하여 천연 가스(연료), 물, 가스 및 기타 소모품과 같은 자원에 대해 무려 60%의 비용을 절감하는 데 성공했습니다. 이는 FabGuard의 조건 기반 소비 방법을 사용하여 Subfab 구성 요소의 작동을 제어함으로써 달성할 수 있었습니다. 이렇게 Fab과 Subfab을 간단하게 연결하면 소모품과 비용을 의미 있게 절감하는 데 필요한 정밀한 제어가 가능해집니다. 또한 WIP 스케줄링 시스템과의 통합을 통해 향후 로딩 및 요구 사항을 더 잘 이해할 수 있도록 개선할 수 있습니다.
![abatementIntegration abatementIntegration](/uploads/media/660x/05/10915-abatementIntegration.png?v=1-0)
![abatementIntegration](/media/10915/download/abatementIntegration.png?v=1)
지속적인 개발
FabGuard는 Facilities 엔지니어와 기술자를 위해 특별히 설계된 Facilities 장비의 시각화 및 제어 기능을 추가합니다. 향후 버전에 추가될 개선 사항 및 제어 기능은 다음과 같습니다:
- 장비 유형 목록에 냉각기 및 히터 추가
- 대규모 Facilities 모니터링에 특화된 FabGuard Web 보기
- 설비 중심 분석
- WIP 스케줄러와 통합 제어
Facilities 엔지니어와 기술자는 FabGuard를 통해 일반 공장 현장의 요구 사항과 관계없이 Subfab의 요구 사항에 집중할 수 있습니다.