핫 이온 게이지

PBR 260

ATM - 초고진공 고온 음극 게이지

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인피콘 PBR 260은 하나의 컴팩트한 장치에서 두 개의 게이지로 작동하는 콤비네이션 게이지입니다. 주요 측정 원리는 베이야드-알퍼트 원리에 따른 핫 캐소드 게이지이며, 피라니 열전도도 측정 원리에 의해 완성되고 지원됩니다. 피라니/베이야드-알퍼트 핫 캐소드 콤비네이션 게이지 PBR 260은 UHV 범위(5×10^-10) mbar부터 대기압 범위(1000 mbar)까지 측정합니다. PBR 260의 주요 장점 중 하나는 결합 기술, 동일한 아날로그 출력 신호 및 전기 인터페이스 사용 덕분에 다른 제조업체의 PBR 260 게이지와 호환성이 떨어진다는 점입니다. 그 결과 설치, 설정 및 프로세스 통합이 더 간단해집니다. 피라니/베이야드-알퍼트 핫 캐소드 콤비네이션 게이지 PBR 260은 시장에서 가장 경제적이고 신뢰할 수 있는 기본 압력 측정을 위한 솔루션을 제공합니다.

장점

피라니/베이야드-알퍼트 핫 캐소드 콤비네이션 측정기 PBR 260은 단 하나의 소형 측정 장치로 저진공부터 초고진공 범위의 일반 진공 측정 및 제어를 제공합니다.
플랜지 크기: DN 25 ISO-KF, DN 40 CF-R, DN 40 ISO-KF
최대 압력은 불활성 기체와 55°C 미만의 온도에 적용됩니다.
프로세스 범위 10-8 ~ 10-2 mbar에서 높은 정확도, 뛰어난 반복성
피라니 센서에 의해 자동으로 제어되는 베이어드-알퍼트 센서 ON/OFF
수명이 긴 산화 이트륨 코팅 이리듐 필라멘트
RoHS 준수

다른 제조업체의 PBR 260 피라니/베이야드-알퍼트 핫 캐소드 게이지와 드롭인 호환 가능

파트너 번호 IGG27000은 PT R27 000과 일치합니다.
파트너 번호 IGG27001은 PT R27 001과 일치합니다.
파트너 번호 IGG27002는 PT R27 002와 일치합니다.

일반적인 어플리케이션

반도체 및 분석 공정 환경에서의 일반 압력 측정
광학 및 기타 산업용 코팅 공정

사양서

최대 측정 범위. 최소 측정 범위.	mbar mbar	1000 5·10^-10

베이크 아웃 온도	°C	150 (전자 제품 제거)

정확도: 10^-8 ~ 10^-2 mbar	측정값의 %	15

반복성: 10^-8 ~ 10^-2 mbar	측정값의 %	5

필라멘트(음극)		이트리아 코팅된 이리듐

진공에 노출되는 재료		Cu, W, 유리, NiFe, Mo, 스테인리스강, NiCr

최대 압력.	bar	2

전체 사양 다운로드

파트 넘버

스페어 파트

파트 넘버	설명
IGG27000	PBR 260 DN 25 ISO-KF
IGG27001	PBR 260 DN 40 ISO-KF
IGG27002	PBR 260 DN 40 CF-R

파트 넘버	설명
IN846517-T	Spare sensor head PBR 260, DN 25 ISO-KF
IN846518-T	Spare sensor head PBR 260, DN 40 ISO-KF
IN846519-T	Spare sensor head PBR 260, DN 40 CF-R