강화된 사이클 타임
제품 소개와 이점
사이클 타임에 기여하는 각 로트에 대해, ECT는 각 상태 전환에 대한 초 단위의 상세한 상태 정보를 제공합니다. 팩토리 수준의 사이클 타임에서 개별 서브 상태까지 깊이 분석하여 제품이 대기 중인지, 보류 중인지, 디스패치되었는지, 차단되었는지, 또는 처리 중인지 확인할 수 있습니다.
ECT는 Cycle Time Analyzer (CTA)와 완벽하게 통합되어 있으며, 동적 사이클 타임 및 완료된 로트의 사이클 타임을 연구할 수 있는 도구를 제공합니다.
주요 기능
새로운 사이클 타임 상태를 통해 차단된 장비와 다운된 장비에 대한 가시성 향상
오랫동안 FPS Dynamic CTA와 Finished Lot CTA는 사이클 타임을 처리 시간, 대기 시간, 보류 시간으로 나누어 계산 및 시각화하는 기능을 제공해왔습니다. ECT에서는 사이클 타임이 새로운 상태인 디스패치 완료, 종료, 차단, 장비 다운으로 추가적으로 나누어집니다.
디스패치 완료는 로트가 선택/디스패치/장비에 등록된 후 처리 시작까지의 시간입니다.
종료는 로트의 처리가 완료된 후 다음 단계로 이동/완료/추적되기까지의 시간입니다.
차단은 로트가 대기 중이지만, 모든 허용된 장비들이 대기열 타이머, 레티클, 일시적 억제 등과 같은 이유로 인해 즉시 로트를 처리하지 못하는 상태를 의미합니다.
장비 다운은 로트가 대기 중이나 허용된 모든 장비가 다운된 상태입니다.
사이클 타임 상태에서 서브 상태로의 심층 분석
Enhanced Tool Performance (ETP) 모델을 사용해 E10 상태를 세부적인 서브 상태로 분할한 것과 같이, ECT에서는 사이클 타임 상태를 세부적인 서브 상태로 분할합니다. 사이클 타임 서브 상태의 예시는 다음과 같습니다.
- 처리 시간을 로트 시작부터 첫 번째 웨이퍼, 첫 번째 웨이퍼에서 마지막 웨이퍼, 마지막 웨이퍼에서 로트 종료까지로 나눔
- 보류 시간을 보류 그룹별로 나눔
- 대기 시간을 위치/이동/자동화 상태별로 나눔(예: 멀리 떨어짐, 카트로 이동 중, AMHS로 이동 중, 장비 근처 등)
- 도구 다운을 비계획, 계획, 엔지니어링 상태로 나눔
- 차단을 대기열 타이머, 레티클, 일시적 억제 등의 이유별로 나눔
후처리 사이클 타임을 분석하기 위한 서브 상태 사용 예시
사용자 그룹 미팅에서 가장 많이 논의된 주제 중 하나는 프로세스 종료와 언로드 사이의 시간을 어떻게 추적할 것인가에 대한 것이었습니다. 새로운 ECT 서브 상태를 사용하면, 프로세스 종료와 언로드 사이의 시간을 더욱 세분화하여 분석할 수 있습니다.
시나리오 1: 프로세스 종료 > 단계 완료 > 캐리어 언로드
이 시나리오에서는 프로세스 종료부터 단계 완료까지의 시간이 "포트에 여전히 있는 상태에서 종료"라는 사이클 타임 서브 상태에 포함됩니다. 단계 완료에서 캐리어 언로드까지의 시간은 "이전 장비의 포트에 있음"이라는 사이클 타임 서브 상태에 포함됩니다. "이전 장비의 포트에 있음" 시간은 다음 단계의 일부로 간주됩니다.
캐리어가 언로드될 때까지 이전 단계에 관련된 시간을 연장하는 것을 고려했으나, 이는 "전체 단계 사이클 타임은 단계 완료부터 단계 완료까지"라는 일반적인 가정을 반대하는 결과를 초래하게 됩니다.
시나리오 2: 프로세스 종료 > 캐리어 언로드 > 단계 완료
이 시나리오에서는 프로세스 종료부터 캐리어 언로드까지의 시간이 첫 번째 시나리오와 동일하게 "포트에 여전히 있는 상태에서 종료" 서브 상태에 포함됩니다. 이후 캐리어 언로드부터 단계 완료까지의 시간은 "장비에서 언로드 후 종료" 서브 상태에 포함됩니다. 이 두 서브 상태 모두 종료 상태에 속하며, 이 단계의 사이클 타임의 일부입니다.
