계측 샘플링의 진화

Metrology Sampling Optimizer(MSO)는 시간 또는 백분율 규칙을 사용하여 기준 계측 샘플링을 처리하도록 설계되었습니다. 기준 샘플링 외에도, 이벤트 기반 샘플링을 처리하기 위한 규칙을 구성할 수 있습니다. 이벤트 규칙은 특정 장비의 다운 또는 품질 이벤트 이후에 위험 로트를 샘플링하도록 보장합니다. 시간, 백분율, 이벤트 샘플링 이 세 가지 경우에 대해 MSO는 샘플링 계획을 최적화하여 독립적이거나 부가적인 샘플링을 방지합니다. 이 최적화는 모든 샘플링 규칙을 충족하기 위해 필요한 로트 수를 최소화합니다.

파일럿 고객과의 협력으로 인해 개발팀은 어플리케이션을 빠르게 개선할 수 있었습니다.

• 샘플링 범위 대시보드의 새로운 기능을 통해 제품 위험에 대한 빠른 조사 및 이해를 제공합니다.
• UI 업데이트를 통해 규칙 관리가 빠르고 쉬워졌습니다.
• 새로운 팩토리 시나리오가 코어 로직 업데이트에 포함되어 고객의 요구를 충족합니다.
• 적응형 샘플링을 통해 팩토리 요구에 따라 샘플링을 조정할 수 있습니다.

샘플링 계획의 주요 목표 중 하나는 어떤 장비도 과소 샘플링되지 않도록 하는 것입니다. 샘플링 범위 대시보드를 위해 두 가지 매개변수가 개발되어 엔지니어가 도구별로 허용 가능한 위험 수준을 설정할 수 있도록 합니다.

• 위험에 처한 로트 수
• 위험에 처한 웨이퍼 수
• 탐지 시간

이러한 제한은 진단이 쉬운 색상(빨강, 노랑, 초록)을 사용하여 대시보드에 표시되며, 허용 가능한 한계를 벗어난 장비나 모듈을 강조합니다. 사용자는 샘플링 비율을 조정하여 장비가 과소 또는 과대 샘플링되지 않도록 할 수 있습니다.

규칙 구성 UI의 개선사항은 규칙 생성 및 편집 과정을 단순화하는 데 중점을 두고 있습니다. 주요 디자인 변경으로 인해 깨끗하고 명확한 레이아웃이 구현되었습니다. 추가 기능으로 프로세스 단계를 계측과 연결할 때 쉽게 검색할 수 있도록 했습니다.

다음의 코어 로직 개선사항은 새로운 샘플링 사례를 처리하기 위해 개발되었습니다:

태그 조건 – 모든 로트가 처리 장비를 통과할 때 태그 지정이 허용되는 것은 아닙니다. 일부 로트는 계측 단계에서 레시피가 없습니다. 다른 로트는 특정 제품이나 로트 유형으로, 절대 샘플링해서는 안 됩니다. 태그 조건 기능은 규칙 조건이 충족되었을 때 샘플링이 허용되는 로트를 시스템에 알려줍니다.

연결된 계측 – 사용자는 연결된 계측 단계에서 동일한 로트가 태그 지정되도록 할 수 있습니다. 가장 일반적인 예는 동일한 로트가 전/후 측정을 위해 태그 지정되도록 하는 것입니다.

MES 액션 한계 – 규칙에 한계가 추가되어 로트가 샘플링되고 계측 데이터가 수신되도록 합니다. 샘플링 조건이 충족되지 않고 MSO가 측정할 자재를 찾지 못하는 경우, 이러한 한계는 MSO가 MES와의 상호작용을 통해 팩토리가 위험을 지속적으로 증가시키는 것을 방지합니다 (예: 장비를 오프라인 상태로 전환).

FabGuard® FDC와의 통합을 통한 빠른 학습

MSO와 FabGuard FDC의 통합을 통해 고장 감지 기능을 신속하게 향상시킬 수 있는 능력이 제공됩니다. 고장이 감지되면 MSO는 해당하는 잘못된 계측 결과가 있는지 확인하기 위해 계측 측정을 강제합니다. 잘못된 계측 결과가 있었지만 고장 감지 신호가 없었던 경우, 해당 정보는 엔지니어링 팀에 제공되어 고장이 감지되지 않은 이유를 조사하고 감지 또는 센서화를 향상시킬 수 있는 영역을 식별할 수 있습니다. 두 제품의 조합은 독립적으로는 불가능했던 새로운 학습을 가능하게 할 것입니다.

스캔 결과 및 계측 WIP 관리에 기반한 적응형 샘플링

MSO는 스캔 결과에 기반한 적응형 샘플링 비율을 추가하고, 계측 단계에서 용량 제한 시나리오에 대한 활성 WIP 큐 관리를 처리함으로써 지속적으로 개선될 것입니다.