공장에서 조사 도구로 사용되는 FabTime®

한 프로세스 엔지니어가 특정 5X 도구 세트가 모든 레시피를 실행하기에 동등하게 자격이 있다고 IE 관리자에게 알렸습니다. 그러나 IE 관리자는 이러한 도구와 관련된 결정을 내리기 전에 이 진술의 정확성을 독립적으로 확인하고자 합니다. IE는 빠르게 답을 얻기 위해 FabTime을 찾습니다.

FabTime 내에는 도구가 모든 레시피를 실행할 자격이 있는지 확인할 수 있는 다양한 옵션이 있습니다. 관련 보고서를 검색하고 필요한 정보를 표시하도록 사용자 지정할 수 있습니다. 또는 지속적으로 사용하는 기존 보고서가 있는 경우 대시보드 중 하나에서 쉽게 액세스할 수 있어 검증 프로세스를 간소화할 수 있습니다.

이 경우 IE는 도구별 생산 시간당 이동 횟수 보고서를 활용할 수 있습니다. 검토 결과, IE는 시간당 웨이퍼 이동 횟수가 더 많은 도구 5XStep02를 도구 중 확실한 리더로 식별했습니다. 이러한 격차로 인해 IE는 실제로는 도구의 품질이 동등하지 않다고 생각할 수 있습니다.

도구 간의 생산 불균형을 더욱 면밀히 조사하기 위해 IE 관리자는 도구 상태 간트 차트를 사용할 수 있습니다. 이 차트는 각 도구 상태 트랜잭션에 대한 도구별 경과 시간을 보여줍니다. 5X 도구를 필터링하고 적절한 기간을 적용한 후 이 차트를 분석하면 5XStep01이 5XStep02보다 가용성이 더 높지만 여전히 후자의 생산 시간당 이동 수가 더 많다는 것을 알 수 있습니다.

이 5배 도구 세트를 더 자세히 조사하기 위해 IE는 이동 로트 목록 차트로 이동할 수 있습니다. 이 차트는 도구 전반의 시간당 이동 횟수 분포를 시각화합니다. 데이터 분포에 대한 즉각적인 투명성을 위해 IE는 이 차트를 박스 플롯으로 변환할 수 있으며, 이는 FabTime에서 몇 번의 클릭만으로 간단하게 수행할 수 있습니다. FabTime 박스 플롯에는 히스토그램도 포함되며, 이 경우 5XStep02의 이중 모드 분포, 즉 간단히 말해 데이터에서 눈에 띄는 두 그룹(히스토그램의 두 피크)을 IE에 표시합니다. 시간당 16개(UPH) 정도로 클러스터링된 5XStep01과 달리 5XStep02의 분포는 변동이 심합니다.

이러한 보고서를 분석한 결과, IE는 이 5X 도구 세트가 모든 레시피를 실행하기에 적합하지 않다는 것을 자신 있게 확인할 수 있었습니다. 보고서 하나만 있어도 이러한 결론을 내릴 수 있었겠지만, 이러한 보고서를 작성하고 분석하는 데 몇 분밖에 걸리지 않았기 때문에 결론을 더욱 확고히 할 수 있었습니다. 다른 스텝퍼의 일일 움직임을 나란히 비교하는 스파크라인 차트를 만드는 등 IE가 이 문제를 더 깊이 탐구할 수 있는 방법은 훨씬 더 많았습니다.

또한, 5X 툴에 대한 결론을 도출한 IE는 이후 FabTime을 사용하여 5XStep02가 다른 툴보다 빠르게 실행되는 이유에 대한 후속 질문을 해결할 수 있습니다. IE는 스택 파레토 차트를 사용하여 5XStep01과 5XStep02의 제품별 동작을 비교하여 차이를 설명할 수 있습니다. 이 차트는 도구가 동일한 제품 세트를 실행하고 있지 않음을 IE에 보여주며, 차트의 눈에 띄는 빨간색 부분은 5XStep01이 모든 제품 ASIC3을 실행했음을 나타냅니다.