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FabGuard IPM 기초 교육
16 10월 2024 | 18:00 - 19:00
16 10월 2024 | 19:00 - 20:00
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위치
온라인
언어
한국어
발표자
김세현
소요 시간
60분
웨비나 정보
Fabguard IPM (integrated process monitor) 는 Residual Gas Analyzer 를 조작하기 위한 강력한 프로그램 입니다. 프로그램을 처음 사용해보시는 분들을 위해 Fabguard IPM Basic Training 에서는 RGA에 관한 사용법과 data를 해석하는 방법위주로 다음의 내용이 진행될 예정입니다.
교육 내용 :
1. Sensor online 방법
2. RGA 기본 조작 방법
3. RGA leak check 및 Tune calibration 방법
4. Recipe 제작 및 변경 방법
5. Data 확인 방법
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